【技术实现步骤摘要】
本申请涉及一种单晶太阳能电池制备设备，属于太阳能电池。
技术介绍
1、太阳能电池是通过在硅片中形成pn结，然后在两侧形成相应的钝化、减反以及电极结构，目前主流的晶体硅太阳能电池生产工艺中，扩散是核心工序，在硅片表面形成均匀的高质量的pn结是电池效率提升的关键，也是工艺追求的目标。目前，常规生产的扩散工艺是在管式的扩散炉内，通过液态磷源(或硼源)的挥发，在硅片表面沉积磷原子(或硼原子)，然后进行向硅片体内扩散，制造形成pn结。利用该方法进行扩散，工艺简单，成本较低，但是由于受到硅片表面绒面形貌、扩散进出舟、温差、气流等因素的影响，扩散结很难做到均匀。
2、目前异质结太阳能电池发展也很迅速，在各个方面进行降本，hjt的制造成本逐渐向perc、topcon电池接近，很多公司选择hjt这一技术路线，hjt路线不需要使用扩散，并且hjt太阳能电池无法承受高温，目前的电池路线无法兼容，因此目前的设备投资面对的选择是非此即彼的，另外，激光设备在太阳能电池领域应用也很广泛，例如选择性发射极的制备、激光切割等，另外也有很多公司采用激光烧结方式...
【技术保护点】
1.一种单晶太阳能电池制备设备，包括薄膜层形成系统、激光系统、加热系统以及传输部件，其特征在于：
2.如权利要求1所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述薄膜层通过化学气相沉积的方式形成。
3.如权利要求1所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光照射的位置与硅片表面栅线位置相同。
4.如权利要求1至3中任一项所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光在同一电池片上照射的能量由小逐渐增大，再由大逐渐变小。
5.如权利要求4所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光的能量峰值在所述硅片经...
【技术特征摘要】
1.一种单晶太阳能电池制备设备，包括薄膜层形成系统、激光系统、加热系统以及传输部件，其特征在于：
2.如权利要求1所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述薄膜层通过化学气相沉积的方式形成。
3.如权利要求1所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光照射的位置与硅片表面栅线位置相同。
4.如权利要求1至3中任一项所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光在同一电池片上照射的能量由小逐渐增大，再由大逐渐变小。
5.如权利要求4所述的单晶太阳能电池制备设备，其特征在于，所述线激光的能量峰值在所述硅片经过腔体所...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱洪强，孙孪鸿，周海龙，张俊巍，李怡洁，王威，刘泽柯，
申请(专利权)人：苏州腾晖光伏技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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