【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子特种气体产品分析检测，尤其涉及一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统和方法。
技术介绍
1、氘代氨在集成电路先进制造中主要用于成膜原料，在14纳米及以下纳米制程工艺线作为成膜试剂可使成膜具有更好的阶梯覆盖率。随着14纳米及以下先进工艺的发展，市场潜能逐步提升，氘代氨在使用过程中产生的氘可以用来制作氮化硅和氧氮化硅的钝化薄层，有较重分子质量的氘可以增加特定的晶体管寿命。
2、工业生产的氘代氨存在一定量的n2、o2、ar、co、co2和cd4等杂质，杂质的存在会严重影响其使用功能，因此杂质含量的测定与分析是十分重要的，根据检测结果来判断物质的纯度以此检验氘代氨产品的是否合格。然而目前为止还未见关于氘代氨杂质分析的检测。因此，建立简单、准确、快速、可靠的分析方法对于生产控制及产品质量控制具有十分重要的意义。
技术实现思路
1、本专利技术目的在于提供一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统和方法，用于检测该氘代氨产品的杂质含量是否达到了实用标准，为氘代氨产品的检验提供了...
【技术保护点】
1.一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，包括通过管路连通的切换阀系统、进样系统、色谱柱系统、放空系统、载气系统和检测系统；
2.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀和第四切换阀设置实线和虚线两种不同通路状态，所述第一切换阀②号口与第二切换阀①号口管路连通，第二切换阀⑥号口与第三切换阀⑤号口管路连通。
3.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第一切换阀上的①号口连通有样品进口，第一切换阀的③号口和⑩号口之间连通的管路上...
【技术特征摘要】
1.一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，包括通过管路连通的切换阀系统、进样系统、色谱柱系统、放空系统、载气系统和检测系统；
2.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀和第四切换阀设置实线和虚线两种不同通路状态，所述第一切换阀②号口与第二切换阀①号口管路连通，第二切换阀⑥号口与第三切换阀⑤号口管路连通。
3.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第一切换阀上的①号口连通有样品进口，第一切换阀的③号口和⑩号口之间连通的管路上设置有第一定量环，第一切换阀的⑤号口和⑨号口之间连通有第一色谱柱，第一切换阀的⑧号口连通有第一放空管，第一切换阀的⑦号口连通有第一载气，第一切换阀的④号口连通有第二载气。
4.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第二切换阀的②号口连通有样品出口，第二切换阀的③号口和⑩号口之间连通的管路上设置有第二定量环，第二切换阀的⑤号口和⑨号口之间连通有第三色谱柱，第二切换阀的⑧号口连通有第二放空管，第二切换阀的⑦号口连通有第三载气，第二切换阀的④号口连通有第四载气，第一切换阀的②号口与第二切换阀的①号口管路连通。
5.根据权利要求1所述的一种用于氘代氨产品中杂质的分析检测系统，其特征在于，所述第三切换阀的①号口还和③号...
【专利技术属性】
技术研发人员：何硕，花莹曦，姚冰洁，付志杰，吴昊俣，韩士全，郭花花，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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