具有限位功能的行星盘及石墨托盘制造技术

本公开提供了一种具有限位功能的行星盘及石墨托盘，属于半导体制备技术领域。该行星盘包括：圆盘件和圆环件；圆盘件包括基盘和支撑盘，基盘与支撑盘同轴相连，且基盘的外径大于基盘的外径，基盘的外边缘朝向支撑盘的一面具有第一倒角；圆环件包括限位环和装配环，限位环与装配环同轴相连，装配环背向限位环的一面具有第二倒角，第二倒角与第一倒角相匹配。本公开能够有效的提高衬底的受热均匀性，进而保证了制备出的外延片的片内波长均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本公开属于半导体制备，特别涉及一种具有限位功能的行星盘及石墨托盘。

技术介绍

1、微型发光二极管(micro light emitting diode，micro led)，具有分辨率高，色彩饱和度大、响应速度快等优点，在显示领域、光通信领域、生物领域和医疗领域等实现了广泛的应用。

2、在相关技术中，微型发光二极管在制备过程中，需要使用金属有机化学气相沉积设备来制备外延片。石墨托盘是金属有机化学气相沉积设备中的重要部件，其中配置有多个行星盘，通过行星盘承托衬底，以便于在衬底上生长外延层，从而得到外延片。行星盘包括圆盘件和圆环件，圆环件位于圆盘件的外边缘处，用于对放置在圆环件上的衬底进行限位。

3、然而，为了便于机械臂将圆环件装配至圆盘件的外边缘处，圆环件的内径要大于圆盘件的外径，也即圆环件的内边缘与圆盘件的外边缘之间存在一定的活动空间，导致圆环件在装配至圆盘件之后，容易出现一定的偏移，进而导致衬底外边缘不同部位与圆环件之间的距离不同，存在受热不均的问题。

技术实现思路

<p>1、本公开实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；

2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，或者，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为圆倒角。

3.根据权利要求2所述的行星盘，其特征在于，当所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，所述第一倒角(111)的斜面与所述基盘(110)朝向所述支撑盘(120)的一面之间的夹角为20°～50°。

4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)的内边缘与所述限位环...

【技术特征摘要】

1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；

2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，或者，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为圆倒角。

3.根据权利要求2所述的行星盘，其特征在于，当所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，所述第一倒角(111)的斜面与所述基盘(110)朝向所述支撑盘(120)的一面之间的夹角为20°～50°。

4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)的内边缘与所述限位环(210)的内边缘平齐。

5.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)朝向所述限位环(210)的一面与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈张笑雄，薛涛，王群，龚逸品，王江波，
申请(专利权)人：华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：