使用横向激发薄膜体声谐振器的用于6GHz WI-FI的滤波器制造技术

技术编号：39982846 阅读：19 留言：0更新日期：2024-01-09 01:39

一种6GHz Wi‑Fi带通滤波器包括梯形滤波器电路，该梯形滤波器电路具有两个或更多个并联横向激发薄膜体声谐振器(XBAR)和两个或更多个串联XBAR。两个或更多个并联XBAR中的每一个包括具有大于或等于310nm的LN等效厚度的膜片，并且两个或更多个串联XBAR中的每一个包括具有小于或等于305nm的LN等效厚度的膜片。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及使用声波谐振器的射频滤波器，并且具体地涉及用于通信设备的滤波器。

技术介绍

1、射频(rf)滤波器是一种被配置为通过某些频率并阻止其他频率的双端口设备，其中“通过”意味着以相对较低的信号损耗进行传输，并且“阻止”意味着阻塞或大幅度衰减。被滤波器通过的频率的范围被称为滤波器的“通带”。被这样的滤波器阻止的频率的范围被称为滤波器的“阻带”。典型的rf滤波器具有至少一个通带和至少一个阻带。对通带或阻带的具体要求取决于具体应用。例如，“通带”可以被定义为滤波器的插入损耗优于定义值(例如，1db、2db或3db)的频率范围。“阻带”可以被定义为滤波器的抑制大于定义值(例如，20db、30db、40db或更大，取决于应用)的频率范围。

2、rf滤波器在通过无线链路传输信息的通信系统中使用。例如，rf滤波器可以在蜂窝基站的rf前端、移动电话和计算设备、卫星收发器和地面站、iot(物联网)设备、膝上型计算机和平板计算机、定点无线电链路、以及其他通信系统中找到。rf滤波器也用于雷达及电子和信息战争系统。

3、rf滤波器通常需要许多设计权衡，以针对每个特定应用实现性能参数(例如，插入损耗、抑制、隔离、功率处理、线性度、尺寸和成本)之间的最佳折衷。特定的设计和制造方法以及增强措施可以同时有益于这些要求中的一项或多项。

4、无线系统中的rf滤波器的性能增强可以对系统性能具有广泛影响。rf滤波器的改进可以发挥作用以提供系统性能改进，例如，更大的单元尺寸、更长的电池寿命、更高的数据速率、更大的网络容量、更低的成

5、用于目前的通信系统的高性能rf滤波器通常包含声波谐振器，该声波谐振器包括表面声波(saw)谐振器、体声波(baw)谐振器、薄膜体声波谐振器(fbar)、以及其他类型的声谐振器。然而，这些现有技术并不非常适合于在针对未来通信网络所提出的更高频率和带宽下使用。

6、对更宽的通信信道带宽的需求将不可避免地导致更高频率的通信频带的使用。用于移动电话网络的无线电接入技术已经被3gpp(第3代合作伙伴计划)标准化。用于第5代移动网络的无线电接入技术在5g nr(新无线电)标准中定义。5g nr标准定义了几个新的通信频带。这些新的通信频带中的两个是使用从3300mhz至4200mhz的频率范围的n77和使用从4400mhz至5000mhz的频率范围的n79。频带n77和频带n79两者使用时分复用(tdd)，使得在频带n77和/或频带n79中操作的通信设备使用相同的频率进行上行链路传输和下行链路传输两者。用于频带n77和频带n79的带通滤波器必须能够处理通信设备的发射功率。在5ghz和6ghz处的wifitm频带也需要高频率和宽带宽。5g nr标准还定义了具有在24.25ghz和40ghz之间的频率的毫米波通信频带。

7、横向激发薄膜体声谐振器(xbar)是一种用于微波滤波器的声谐振器结构。xbar在题为“transversely excited film bulk acoustic resonator”的专利us10，491，291中进行了描述。xbar谐振器包括至少部分地设置在薄浮动层或膜片上的叉指换能器(idt)，该薄浮动层或膜片是单晶压电材料层，或包括单晶压电材料层。idt包括从第一母线延伸的第一组平行指状物和从第二母线延伸的第二组平行指状物。第一组平行指状物和第二组平行指状物是交错的。施加到idt的微波信号在压电膜片中激发剪切主声波。xbar谐振器提供非常高的机电耦合和高频能力。xbar谐振器可以用于包括带阻滤波器、带通滤波器、双工器和多路复用器的各种rf滤波器。xbar很好地适合用于针对频率在3ghz以上的通信频带的滤波器。

技术实现思路

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【技术保护点】

1.一种6GHz Wi-Fi带通滤波器，包括：

2.根据权利要求1所述的滤波器，其中

3.根据权利要求1所述的滤波器，其中

4.根据权利要求1所述的滤波器，其中

5.根据权利要求4所述的滤波器，其中

6.根据权利要求4所述的滤波器，其中

7.根据权利要求6所述的滤波器，其中

8.根据权利要求4所述的滤波器，其中

9.根据权利要求8所述的滤波器，其中

10.一种6GHz Wi-Fi带通滤波器，包括：

11.根据权利要求10所述的滤波器，其中

12.根据权利要求10所述的滤波器，其中

13.根据权利要求10所述的滤波器，其中

14.根据权利要求10所述的滤波器，其中

15.根据权利要求4所述的滤波器，其中

16.根据权利要求6所述的滤波器，其中

17.根据权利要求4所述的滤波器，其中

18.根据权利要求8所述的滤波器，其中

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种6ghz wi-fi带通滤波器，包括：