二氧化硅玻璃多孔体及其制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种在不进行机械加工的情况下得到具有耐清洗性的喷淋板的技术。本发明专利技术涉及一种二氧化硅玻璃多孔体，其具有多个气泡，上述多个气泡包含非连通气泡和连通气泡，利用压汞法求出的上述气泡的平均气泡直径为10μm～150μm。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及二氧化硅玻璃多孔体及其制造方法。

技术介绍

1、半导体设备的制造工序包含蚀刻工序、cvd(化学气相沉积，chemical vapordeposition)工序，这些工序中的源气体的供给通常使用喷淋板。

2、喷淋板例如通过对由玻璃、陶瓷构成的板状部件利用机械加工形成大量的直管状贯通孔来制作。贯通孔以直径为几百μm～几mm左右的方式形成。

3、然而，如上所述的基于机械加工的贯通孔的形成存在如下问题：除了加工难度高、加工中喷淋板破损的可能性高以外，还容易导致成本变高。

4、因此，例如，如专利文献1那样，提出了在不进行机械加工的情况下形成贯通孔的喷淋板。

5、专利文献1中公开了一种由非晶二氧化硅的多孔体构成的喷淋板。通过制备包含平均粒径为20～100μm且上述平均粒径的±50％的范围内的二氧化硅粒子的浆料，并对其进行成型、煅烧而得到一种作为不完全烧结体的多孔体，其邻接的二氧化硅粒子彼此的至少1处的接触长度为该二氧化硅粒子的粒径的1/15～3/4，且具有平均气孔径为5μm～25μm的连通孔。

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【技术保护点】

1.一种二氧化硅玻璃多孔体，其具有多个气泡，

2.根据权利要求1所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，使用孔径分析仪即Perm-Porometer求出的气体透过系数为0.01μm2～10μm2。

3.根据权利要求1或2所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，利用BET法求出的比表面积为0.01m2/g～0.1m2/g。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，堆积密度为0.3g/cm3～2g/cm3。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，锂Li、铝Al、铬Cr、锰Mn、镍Ni、铜Cu、钛Ti、钴Co、锌Zn...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种二氧化硅玻璃多孔体，其具有多个气泡，

2.根据权利要求1所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，使用孔径分析仪即perm-porometer求出的气体透过系数为0.01μm2～10μm2。

3.根据权利要求1或2所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，利用bet法求出的比表面积为0.01m2/g～0.1m2/g。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的二氧化硅玻璃多孔体，其中，堆积密度为0.3g/cm3～2g/cm3。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的二氧化硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木寿弥，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：