【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及线切割机，具体是涉及一种具有夹持线头功能的多线切割机。
技术介绍
1、多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。
2、线切割机的布线装置中，收线轮上的钢线在使用完后或放线轮上的钢线缠绕过多的情况下需要更换新线轮，更换时，需要将与张力臂连接的旧钢线剪断，更换新线轮，将其上的钢线线头重新与张力臂上的钢线线头连接，由于线切割机上没有地方固定钢线的线头，工作人员只能使用胶带将线头粘在线切割机的外壳上，新线轮安装好以后将线头取下相互连接。
3、专利cn105269697b公开了一种多线切割机用滑轮，提供的一种多线切割机用滑轮，凸柱上设有支撑部，支撑部上套设有轮体，位于外盖上的限位部将轮体限位在滑轮本体与外盖之间，固定于套筒部上的转环通过柔性丝与定位件上的操作部连接，转动转环即可带动所有的定位件旋转，从而使得限位部缩入凹槽内，失去对轮体的限位作用...
【技术保护点】
1.具有夹持线头功能的多线切割机，包括切割装置、布线装置、气体装置、冷却装置、砂浆罐以及壳体，其特征在于，位于所述布线装置一侧的线切割机壳体上设有夹持装置，所述夹持装置通过螺栓与线切割机可拆卸连接，夹持装置包括沿水平方向设置的芯轴、沿竖直方向设置在所述芯轴上的弹性夹片、用于推动所述弹性夹片的气缸以及用于防尘的防尘罩，所述弹性夹片一端与所述芯轴固定连接，弹性夹片另一端与芯轴滑动连接，所述防尘罩由外防尘罩和内防尘罩组成，且位于弹性夹片外侧，外防尘罩与弹性夹片固定的一侧固定连接，内防尘罩与弹性夹片活动的一侧固定连接，外防尘罩套设于内防尘罩外侧并与其滑动连接，防尘罩上设有用于
【技术特征摘要】
1.具有夹持线头功能的多线切割机，包括切割装置、布线装置、气体装置、冷却装置、砂浆罐以及壳体，其特征在于，位于所述布线装置一侧的线切割机壳体上设有夹持装置，所述夹持装置通过螺栓与线切割机可拆卸连接，夹持装置包括沿水平方向设置的芯轴、沿竖直方向设置在所述芯轴上的弹性夹片、用于推动所述弹性夹片的气缸以及用于防尘的防尘罩，所述弹性夹片一端与所述芯轴固定连接，弹性夹片另一端与芯轴滑动连接，所述防尘罩由外防尘罩和内防尘罩组成，且位于弹性夹片外侧，外防尘罩与弹性夹片固定的一侧固定连接，内防尘罩与弹性夹片活动的一侧固定连接，外防尘罩套设于内防尘罩外侧并与其滑动连接，防尘罩上设有用于钢线插入的窗口；
2.如权利要求1所述的具有夹持线头功能的多线切割机，其特征在于，所述弹性夹片包括若干个弹性材质的圆台，该若干个圆台均以轴向沿水平方向的方式设置在芯轴上，且若干个圆台之间以大圆面对大圆面相连接，小圆面对小圆面的方式连接，所述夹钢线处为相邻两个所述圆台的小圆面之间所形成的v槽。
3.如权利要求1所述的具有夹持线头功能的多线切割...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰正东，马玉怀，芮阳，徐慶晧，王黎光，曹启刚，魏瑶，陈元寿，殷效财，田建兵，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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