一种双激光束去除金属材料的方法及应用技术

本发明专利技术公开了一种双激光束去除金属材料的方法，采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序的预热激光束和去除激光束，使预热激光束和去除激光束聚焦于金属材料的同一位置，且通过光程差实现了时空域能量分布的调制，重复扫描待去除区域的金属材料实现选择性去除。本发明专利技术还公开了其在半导体器件的金属电极失效区域修复的应用。通过时间调制的双激光束对金属材料进行选择性去除，限制了去除过程中热效应的集中累积和扩散，避免了单激光束去除过程中对金属材料附着基底的热影响所产生的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光加工的，具体涉及一种双激光束去除金属材料的方法及应用。

技术介绍

1、采用金属材料的半导体元器件的电极结构，其失效的处理及修复具有重要的意义。举例来说，太阳能是世界上最丰富、最清洁及可持续发展的天然能源，太阳能光伏发电相应得到了广泛应用。受到室外环境影响将加速光伏组件的老化，导致光伏组件失效，废旧太阳能电池板的数量正在逐年增加。目前硅是太阳能电池的主导材料，核心部件为晶硅太阳能电池片。晶硅太阳能电池片主要由减反射层、p-n结、晶硅、银栅及金属铝/银涂层组成。目前针对废旧晶硅太阳能电池片的处理主要是通过化学方式回收硅、银及铝材料。通过强酸强碱对废旧太阳能电池片进行浸出，不仅工艺复杂，而且对环境十分不友好。如何修复太阳能电池是亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本专利技术针对现有技术存在的不足，提供一种双激光束去除金属材料的方法及应用。

2、为了实现以上目的，本专利技术的技术方案为：

3、一种双激光束去除金属材料的方法，采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序的预热激光束和去除激光束，使预热激光束和去除激光束聚焦于金属材料的同一位置，其中预热激光束到达所述位置的光程为L1，去除激光束到达所述位置的光程为L2，L2＞L1；所述脉冲激光重复扫描待去除区域的金属材料实现去除。

2.根据权利要求1所述的双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：通过调控L1和L2之间的光程差，使所述预热激光束和去除激光束到达所述位置的时间间隔为0.5～1.5个脉冲宽度。

3.根据权利要求1所述的双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：使激光器发射的...

【技术特征摘要】

1.一种双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序的预热激光束和去除激光束，使预热激光束和去除激光束聚焦于金属材料的同一位置，其中预热激光束到达所述位置的光程为l1，去除激光束到达所述位置的光程为l2，l2＞l1；所述脉冲激光重复扫描待去除区域的金属材料实现去除。

2.根据权利要求1所述的双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：通过调控l1和l2之间的光程差，使所述预热激光束和去除激光束到达所述位置的时间间隔为0.5～1.5个脉冲宽度。

3.根据权利要求1所述的双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：使激光器发射的原始激光束通过分束镜分为所述预热激光束及去除激光束，所述预热激光束及去除激光束经过不同数量的反射镜反射后，先后通过合束镜及聚焦镜聚焦于所述金属材料的同一位置。

4.根据权利要求1所述的双激光束去除金属材料的方法，其特征在于：在去除过程中，同步施加压缩空气辅助去...

【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，燕天阳，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：