【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密微致动器，特别是涉及一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器。
技术介绍
1、多层陶瓷电容器(mlcc)元件是由多层陶瓷材料组成，具有体积小、价格低廉、电容范围大、esl和esr小、频率响应好等优点。近年来的研究表明，多层陶瓷电容器具有很好的微致动特性，即对多层陶瓷电容器施加具有直流偏置的驱动电压，多层陶瓷电容器表现出较大的逆压电效应，进而产生一定的输出位移，并且输出位移和驱动电压之间表现出良好的线性和极低的迟滞。上述现象使多层陶瓷电容致动器能够运用在微驱动和微操纵领域，例如在高精度和高分辨率的定位与运动场合，多层陶瓷电容致动器能够提供微位移驱动。
2、目前在微位移驱动
中比较常见的是压电陶瓷式致动器，压电陶瓷式的微位移致动器具有功率密度高、输出力大、体积小结构紧凑等优点，然而由于压电材料的固有特性，在高电场下输入电压和输出位移之间存在较大的非线性和迟滞现象大大地限制了在定位系统中的性能。
3、图1所示为现有技术中单个多层陶瓷电容器的结构示意图，单个多层陶瓷电容在其厚度的d33方向产生的...
【技术保护点】
1.一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，包括n个多层陶瓷电容器，n为正整数，其特征在于：n个多层陶瓷电容器分为m个电容器组，每个电容器组含有s个多层陶瓷电容器，m、s均为正整数，且s＝n/m，同一电容器组中的s个多层陶瓷电容器逐层堆叠，且同一侧的电极并联连接，相邻两个多层陶瓷电容器粘结固定连接，不同电容器组逐层堆叠并依次串联连接，最上层的电容器组的顶端、最下层的电容器组的底端以及相邻两个电容器组之间均粘结固定连接有氧化铝陶瓷片。
2.根据权利要求1所述的一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，其特征在于：同一电容器组中的s个多层陶瓷电容器的两侧...
【技术特征摘要】
1.一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，包括n个多层陶瓷电容器，n为正整数，其特征在于：n个多层陶瓷电容器分为m个电容器组，每个电容器组含有s个多层陶瓷电容器，m、s均为正整数，且s＝n/m，同一电容器组中的s个多层陶瓷电容器逐层堆叠，且同一侧的电极并联连接，相邻两个多层陶瓷电容器粘结固定连接，不同电容器组逐层堆叠并依次串联连接，最上层的电容器组的顶端、最下层的电容器组的底端以及相邻两个电容器组之间均粘结固定连接有氧化铝陶瓷片。
2.根据权利要求1所述的一种基于多层陶瓷电容器的堆栈式精密微致动器，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯志华，陈建，冯梓涵，许涛，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：
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