【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学测量，尤其涉及一种稳像调整装置。
技术介绍
1、在euv成像仪光学稳像试验中，需要两个反射镜，一个光管、一套成像仪、导行镜及其他结构件组成一套可调整各光学元件相对位置的装置，能够实现光路调整，将光管、反射镜调整至所要求的位置，完成稳像试验。为了使各光学、机械零件准确的调整到要求方位姿态，所设计的装置应满足如下要求：1.稳像调整装置应经济性好，轻量化好；2.稳像调整装置应小体积化，避免遮挡关键光学元件的光路；3.反射镜安装在调整装置的镜座结构件中，应保证反射镜的面形精度；4.稳像调整装置在安装后保证较高的稳定性；5.稳像调整装置应在工作要求范围内可调整。
2、在试验工作中，通常采购光学精密产品，但在有的场合下现有产品型号无法满足试验条件，定制产品周期较长且价格昂贵，往往产品本身重量大搬运困难。如果采购定制产品，大多存在成本高昂、结构复杂、易遮挡光路的问题。
3、基于上述技术问题，本领域的技术人员亟需研发一种低成本、便捷搬运、不阻挡光路，可以使反射镜保持某一角度并固定，且不会受过大应力挤压而产生变形的稳像调整装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种低成本、便捷搬运、不阻挡光路，可以使反射镜保持某一角度并固定，且不会受过大应力挤压而产生变形的稳像调整装置。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、本专利技术的一种稳像调整装置，该调整装置包括：
4、第一底座组件和第二底座组件，所述第一
5、反射镜支撑组件，其连接在所述第一底座组件上并通过所述第一底座组件实现升降；
6、所述第二底座组件上连接有光管，所述光管通过所述第二底座组件实现升降，安装后的所述反射镜支撑组件呈现斜角以使不同高度的成像仪和导行镜均能够射入光管的光；
7、该调整装置还包括：
8、对向安装在所述反射镜支撑组件上的两套反射镜组件。
9、进一步的，所述第一底座组件和所述第二底座组件的结构相同，且所述第一底座组件包括底座和升降台；其中，
10、所述底座的底面预留孔位与所述气浮台连接，所述底座的顶部预留孔位与所述升降台连接。
11、进一步的，所述反射镜支撑组件包括支撑基板；以及
12、通过螺钉安装在所述支撑基板下端的第一楔形块和第二楔形块，所述第一楔形块和所述第二楔形块的底部均连接于所述升降台上，且所述第一楔形块和所述第二楔形块的高度不同以使安装后呈现斜角。
13、进一步的，所述第一楔形块和所述第二楔形块的安装面均设有长孔、在与所述升降台和所述支撑基板连接时均能够在长孔方向进行调整以使所述反射镜组件能够平移。
14、进一步的，所述反射镜组件包括调整垫；以及
15、连接于所述调整垫上端的转接座，所述反射镜组件通过所述转接座与所述反射镜支撑组件相连；
16、连接在所述转接座上部的工型盘；
17、连接在所述工型盘远离所述转接座一端的反射镜镜座，所述工型盘和所述反射镜镜座均安装在水平方向；其中，
18、所述反射镜镜座上安装有镜座端盖、内部设有直压板和弯压板；
19、安装在所述反射镜镜座中的反射镜，所述光管中发出的光路分别射入两个所述反射镜中、并通过所述反射镜射入所述成像仪中。
20、进一步的，所述反射镜镜座设有三处凸台面与所述反射镜侧面接触以为所述反射镜提供支撑，且反射镜镜座与所述反射镜之间设有间隙。
21、进一步的，所述反射镜镜座上设有多个注胶孔以使所述反射镜镜座和所述反射镜侧面胶接。
22、优选的，所述直压板和所述弯压板均使用聚酰亚胺材料制成。
23、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种稳像调整装置，具有以下有益效果：
24、本专利技术的一种稳像调整装置结构简单，经济性好，底座组件高度可调，使光管、反射镜组件达到所需的高度位置；反射镜支撑组件，可以使两反射镜间平行光路倾斜，解决入光的导行镜和成像仪不同高度的问题；反射镜组件可以使反射镜反射光管的光同时又能够使光管的光覆盖到导行镜入光孔，并拥有镜体保护的结构能够实现悬臂的组件有较高的稳定性以及对镜体的保护能力；
25、本专利技术的稳像调整装置体积小，不遮挡关键光学元件的光路，可保证反射镜的刚度与面形精度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种稳像调整装置，其特征在于，该调整装置包括：
2.根据权利要求1所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述第一底座组件(1)和所述第二底座组件(8)的结构相同，且所述第一底座组件(1)包括底座(11)和升降台(12)；其中，
3.根据权利要求2所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述反射镜支撑组件(2)包括支撑基板(21)；以及
4.根据权利要求3所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述第一楔形块(22)和所述第二楔形块(23)的安装面均设有长孔、在与所述升降台(12)和所述支撑基板(21)连接时均能够在长孔方向进行调整以使所述反射镜组件(3)能够平移。
5.根据权利要求1所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述反射镜组件(3)包括调整垫(31)；以及
6.根据权利要求5所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述反射镜镜座(38)设有三处凸台面与所述反射镜(36)侧面接触以为所述反射镜(36)提供支撑，且反射镜镜座(38)与所述反射镜(36)之间设有间隙。
7.根据权利要求5所述的一种稳像调整装置，其特征在
8.根据权利要求5所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述直压板(35)和所述弯压板(37)均使用聚酰亚胺材料制成。
...【技术特征摘要】
1.一种稳像调整装置，其特征在于，该调整装置包括：
2.根据权利要求1所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述第一底座组件(1)和所述第二底座组件(8)的结构相同，且所述第一底座组件(1)包括底座(11)和升降台(12)；其中，
3.根据权利要求2所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述反射镜支撑组件(2)包括支撑基板(21)；以及
4.根据权利要求3所述的一种稳像调整装置，其特征在于，所述第一楔形块(22)和所述第二楔形块(23)的安装面均设有长孔、在与所述升降台(12)和所述支撑基板(21)连接时均能够在长孔方向进行调整以使所述反射镜组件(3)能够平移。
【专利技术属性】
技术研发人员：时英钟，门树东，李朝辉，黄斌，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。