【技术实现步骤摘要】
本技术属于扫描电镜测试装置，特别涉及一种用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台。
技术介绍
1、扫描电子显微镜(sem)，作为一种新型的微观形貌观察仪器，因具有高分辨率、高放大倍数、景深长等优点，被广泛应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造等研究领域。sem可用来观察薄膜、箔材、粉料、块状物体的表面及截面的细微结构，对于锂电材料的改性、机理的研究及体系的优化具有重要的作用。
2、目前用于观察样品表面和截面的样品台是独立的，样品量多时，反复切换样品台，会严重影响测试效率。每次进样时，需要抽真空维持舱室的真空度，且若材料不导电时，还需使用离子溅射仪进行喷金处理，导致资源的浪费及成本的增加。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题，提出了一种检测效率高的、可夹持样品进行截面观察的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台。
2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，包括底座，所述的底座上方设有两个呈六面体...
【技术保护点】
1.一种用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，包括底座(1)，其特征在于，所述的底座(1)上方设有两个呈六面体形状的样品座(2)，样品座(2)上表面呈四边形状，且两个样品座(2)水平移动拼合后呈六棱柱状，在样品座(2)与底座(1)之间设有水平调位机构(3)。
2.根据权利要求1所述的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的水平调位机构(3)包括两根设置在底座(1)上互相平行且悬空固定的滑杆(31)，所述的样品座(2)通过滑动结构(32)与滑杆(31)相连。
3.根据权利要求2所述的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，其特...
【技术特征摘要】
1.一种用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，包括底座(1)，其特征在于，所述的底座(1)上方设有两个呈六面体形状的样品座(2)，样品座(2)上表面呈四边形状，且两个样品座(2)水平移动拼合后呈六棱柱状，在样品座(2)与底座(1)之间设有水平调位机构(3)。
2.根据权利要求1所述的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的水平调位机构(3)包括两根设置在底座(1)上互相平行且悬空固定的滑杆(31)，所述的样品座(2)通过滑动结构(32)与滑杆(31)相连。
3.根据权利要求2所述的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的滑动结构(32)包括套设在滑杆(31)上的滑套(33)，所述的样品座(2)两侧分别与滑套(33)相连。
4.根据权利要求3所述的用于观察样品表面及截面的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的样品座(2)上穿设有支撑杆(4)，所述的支撑杆(4)两端分别与两根滑杆(31)上的滑套(33)相连。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：张丽丽，王秋实，蒋治亿，冯群翔，刘岩岩，周佳源，
申请(专利权)人：江苏天合储能有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。