【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制备四甲基氢氧化铵化工，尤其涉及一种四甲基氢氧化铵的生产系统。
技术介绍
1、四甲基氢氧化铵，简称tmah，是一种重要的有机碱。其为与苛性碱同等强度的强碱，加热分解后不会残留任何物质，尤其是不会残留可导电的离子物质，因而被广泛应用于电子工业领域。其常被用作集成电路版的清洗、刻蚀、抛光试剂，也可以作为硅橡胶、硅树脂和硅油等有机硅产品的合成催化剂。随着大规模集成电路的不断发展，对于四甲基氢氧化铵的需求量日益增多。
2、目前，四甲基氢氧化铵的生产方法主要有沉淀法、离子交换树脂法、加成法、离子膜法和离子膜电解法等。其中，采用沉淀法生产四甲基氢氧化铵，存在生产成本高、产品纯度不高等缺点；采用离子交换树脂法生产四甲基氢氧化铵，在预处理和再生过程中，会消耗大量高纯酸碱，同时产生大量废酸废碱，从而对环境造成严重污染，同时，树脂用量大，生产成本高；采用加成法生产四甲基氢氧化铵，需要在高压密闭环境中进行，中间产物很不稳定，副产物较多，产品纯度低，后期提纯处理困难；离子膜法生产四甲基氢氧化铵，存在离子交换速度慢，产品中杂质离子含量高
【技术保护点】
1.一种四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：包括电解池、通过离子交换膜将电解池隔离开的一个阳极池和多个阴极池、为所述阳极池提供阳极原料液的阳极进液管、为所述阴极池提供阴极原料液的阴极进液管；
2.根据权利要求1所述的四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：通过离子交换膜将电解池隔离开的一个阳极池和两个阴极池，所述阴极池包括分别可与所述阳极池进行离子交换的第一阴极池和第二阴极池；
3.根据权利要求2所述的四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：在所述阳极池内插设有阳极电极，在两个阴极池内分别插设有阴极电极；
4.根据权利要求2所述的四甲...
【技术特征摘要】
1.一种四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：包括电解池、通过离子交换膜将电解池隔离开的一个阳极池和多个阴极池、为所述阳极池提供阳极原料液的阳极进液管、为所述阴极池提供阴极原料液的阴极进液管；
2.根据权利要求1所述的四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：通过离子交换膜将电解池隔离开的一个阳极池和两个阴极池，所述阴极池包括分别可与所述阳极池进行离子交换的第一阴极池和第二阴极池；
3.根据权利要求2所述的四甲基氢氧化铵的生产系统，其特征在于：在所述阳极池内插设有阳极电极，在两个阴极...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘颂军，孙炜，冯亚楠，贾成林，郭双环，秦龙，孟鹏，杨杰，于文达，赵鹏，郭金，王玉彬，孙巧云，
申请(专利权)人：信联电子材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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