【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物理量传感器以及惯性测量装置等。
技术介绍
1、在专利文献1中，公开了一种对z方向的加速度进行检测的物理量传感器。在该物理量传感器中公开了：多个第一电极的1个沿着第一方向的第一电极的长度比第一导电部的沿着第一方向的第一导电部的长度短。并且，在该物理量传感器公开了：多个第二电极中的1个沿着第一方向的第二电极的长度比第二导电部的沿着第一方向的第二导电部的长度短。
2、专利文献1：日本特开2021-032819号公报
技术实现思路
1、在专利文献1所公开的物理量传感器中，当向不是作为检测对象的z轴方向的梳齿电极长度方向施加加速度时，会产生与向检测轴方向施加加速度时相同的跷跷板动作，从而存在其他轴灵敏度增加的不良情况。
2、本公开的一个方式涉及一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器对所述第三方向上的物理量进行检测，其特征在于，所述物理量传感器包括：固定部，其被固定于基板；支承梁，其一端与所述固定部连接，所述支承梁沿着所述第二方向设置；可动体，其与所述支承梁的另一端连接；以及第一固定电极组，其设置于所述基板，配置于所述支承梁的所述第一方向，所述可动体具有：第一连结部，其与所述支承梁的另一端连接，从所述支承梁向所述第一方向延伸；第一基部，其与所述第一连结部连接，沿着所述第二方向设置；以及第一可动电极组，其设置于所述第一基部，与所述第一固定电极组在所述第二方向上对置，在设所述可动体在所述第三方向上的重心位
3、另外，本公开的其他方式涉及惯性测量装置，该惯性测量装置包括：上述所记载的物理量传感器；以及控制部，其基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器对所述第三方向上的物理量进行检测，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的物理量传感器，其特征在于，
9.根据权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
10.一种惯性测量装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种物理量传感器，在设相互正交的3个方向为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器对所述第三方向上的物理量进行检测，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权...
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