【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子设备
，特别涉及真空镀膜机油扩散泵的冷却系统，可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。
技术介绍
在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可进行镀 膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工 作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。用于实验室真空镀膜的冷却系统通常采用两种方式一种是真空镀膜设备直接与 自来水管连接，水管中的水通过自压进入真空镀膜设备冷却系统，经过镀膜设备冷却用后 的水通入实验室排水管道；另一种是采用有制冷功能的制冷机冷却设备，冷却装置需有定 量的去离子水。冷却设备具有制冷功能，可以对水进行强制降温处理，可以保证使用的水处 于某一设定的温度。使用时冷却设备中一定温度的水进入真空镀膜设备的需要散热降温 部分，完成降温任务后进入冷却设备，制冷机对返回的水进行强制降温。前一种方式无外设 冷却设备，使用方便，但水的浪费极大；后一种方式水的用量少，反复循环使用，没有水的浪 费，但有外设制冷装置，制冷机由室内设备与室外机组成，制冷设备复杂，同时专用的制冷 机由于要使用大...
【技术保护点】
一种真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统，包括：循环水存储容器、水流回路管道、水泵、真空镀膜设备以及控制水阀，其特征在于循环水存储容器采用两个水箱，该一号水箱底端出水管道ａ依次经过第一水阀（１）、第一水泵Ｍ１和第二水阀（２），连接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道ｂ连接到二号水箱底端出水管道ｃ，形成排水管路，一号水箱的进水管道ｆ依次经过第四水阀（４）和第二水泵Ｍ↓［２］，连接到二号水箱的底端出水管道ｄ，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道ｅ经过第三水阀（３）连接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张显，曹全喜，陈启超，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]
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