【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压电驱动装置、移动工作台及机器人。
技术介绍
1、近年来，开发了一种利用压电元件的振动的压电驱动装置。作为这样的压电驱动装置，例如在专利文献1公开了一种压电驱动装置，其具有：两个驱动部，通过两个压电致动器起动；以及弹簧部，将驱动部的前端向被驱动部件施压。两个驱动部和弹簧部与框架连结，框架为使用螺栓固定于作为基座的基部框架并能够调整对被驱动部件施压的施力的构造。
2、专利文献1：日本特表2019-510457号公报
技术实现思路
1、但是，专利文献1中记载的压电驱动装置存在如下技术问题，即，螺栓因来自压电致动器的发热而在轴向上膨胀，螺栓的轴力下降，导致螺栓与基部框架的摩擦力下降，弹簧部的施力下降。
2、压电驱动装置具备：振动部，具有压电元件；基座；螺栓，将所述振动部固定于所述基座；以及垫片，配置在所述螺栓的头部与所述基座之间，且所述垫片的线膨胀系数比所述振动部的线膨胀系数大。
3、移动工作台具备：上述记载的压电驱动装置；工作台，通过所述压电驱动装置移动；以及基部，固定所述压电驱动装置。
4、机器人具备上述记载的移动工作台和机械臂，所述移动工作台连接到所述机械臂的前端。
【技术保护点】
1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
6.一种移动工作台，其特征在于，具备：
7.一种机器人，其特征在于，具备：
【技术特征摘要】
1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，
4.根据权利要求...
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