【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产加工，尤其涉及一种切割装置。
技术介绍
1、在半导体物理气相沉积工艺的生产加工过程中，经常会用到钽环和钛环等环形工件，而该环形工件在加工时，经常需要进行锯断处理，使其呈开口状，以方便后续的加工。
2、现有技术中，环形工件的虽然可以通过加工中心的数控机床进行铣削加工，但是铣断处需要保留厚度较小的薄片，以避免薄片飞出而划伤环形工件表面。所留有的薄片需要通过两个工作人员配合操作，才能对固定在夹具上的环形工件进行锯断，且环形空间的断开处还需要覆盖净化布进行保护。
3、上述环形工件的锯断过程操作繁琐，当环形工件数量较多时，该过程所耗费时间较多，导致在大批量的环形工件加工过程中费时费力。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种切割装置，解决了现有技术中大批量的环形工件在据断加工过程中由于操作繁琐而导致的费时费力的问题。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种切割装置，其包括：
4、固定板；
5、安装组件，设置于所述固定板，所述安装组件具有用于放置切割刀具的切割缝；
6、固定盘，设置于所述固定板并位于所述安装组件下方；以及
7、夹持组件，设置于所述固定盘并与所述固定盘相对设置，所述夹持组件与所述固定盘之间形成与所述切割缝对应且用于夹持环形工件的夹持空间。
8、可选地，所述夹持组件包括夹持板和至少两个间隔分布的夹持杆，所述夹持杆一端与所述固定盘连接，所述夹
9、可选地，所述夹持杆远离所述固定盘的一端螺纹连接有固定螺母，所述固定螺母能与所述夹持板远离所述固定盘的一侧抵紧。
10、可选地，所述夹持板靠近所述环形工件的一侧设有保护垫。
11、可选地，所述切割装置还包括：
12、限位组件，设置于所述固定盘并能与所述环形工件的边缘抵接。
13、可选地，所述限位组件包括：
14、限位条，一端设置于所述固定盘，所述限位条沿所述环形工件的宽度方向延伸；以及
15、限位块，可拆卸连接于所述限位条远离所述固定盘的一端，所述限位块能与所述环形工件的边缘抵接。
16、可选地，所述限位组件还包括：
17、限位螺钉，穿设于所述限位条并与所述限位块螺纹连接。
18、可选地，所述限位组件沿所述环形工件的周向间隔分布多个。
19、可选地，所述固定盘与所述固定板可拆卸连接。
20、可选地，所述安装组件包括：
21、两个相对设置的安装块，均设置于所述固定板并位于所述环形工件上方，两个所述安装块之间形成所述切割缝。
22、本技术的有益效果：
23、通过将环形工件放置在夹持空间内，利用夹持组件和固定盘对环形工件进行夹持固定，再将刀具放入切割缝内并与环形工件抵紧，此时只需要一个工作人员拉动刀具即可对环形工件进行切割加工。以此该切割装置在使用时，仅需要一个操作人员即可快速完成对环形工件的夹持固定以及切割等操作，使得对环形工件的加工效率有效提高，从而有利于在大批量环形工件的加工中达到省时省力的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种切割装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，所述夹持组件(4)包括夹持板(41)和至少两个间隔分布的夹持杆(42)，所述夹持杆(42)一端与所述固定盘(3)连接，所述夹持杆(42)的另一端穿过所述环形工件(6)并与所述环形工件(6)的内壁抵接，所述夹持板(41)套设于所述夹持杆(42)，所述夹持板(41)与所述固定盘(3)相对设置以形成所述夹持空间，且所述夹持板(41)与所述固定盘(3)的相对两侧面能分别与所述环形工件(6)的两侧面抵紧。
3.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，所述夹持杆(42)远离所述固定盘(3)的一端螺纹连接有固定螺母(43)，所述固定螺母(43)能与所述夹持板(41)远离所述固定盘(3)的一侧抵紧。
4.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，所述夹持板(41)靠近所述环形工件(6)的一侧设有保护垫。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述切割装置还包括：
6.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)包括：
7.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)还包括：
8.根据权利要求5所述的切割装置，其特征在于，所述限位组件(5)沿所述环形工件(6)的周向间隔分布多个。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述固定盘(3)与所述固定板(1)可拆卸连接。
10.根据权利要求1至4中任一项所述的切割装置，其特征在于，所述安装组件(2)包括：
...【技术特征摘要】
1.一种切割装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，所述夹持组件(4)包括夹持板(41)和至少两个间隔分布的夹持杆(42)，所述夹持杆(42)一端与所述固定盘(3)连接，所述夹持杆(42)的另一端穿过所述环形工件(6)并与所述环形工件(6)的内壁抵接，所述夹持板(41)套设于所述夹持杆(42)，所述夹持板(41)与所述固定盘(3)相对设置以形成所述夹持空间，且所述夹持板(41)与所述固定盘(3)的相对两侧面能分别与所述环形工件(6)的两侧面抵紧。
3.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，所述夹持杆(42)远离所述固定盘(3)的一端螺纹连接有固定螺母(43)，所述固定螺母(43)能与所述夹持板(41)远离所述固定盘(3)的一侧抵紧。
...【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，闻人立艇，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。