【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体基板容器领域，尤其涉及一种具有支撑件和托盘的基板容器。
技术介绍
1、随着半导体基板(如晶片)尺寸增大，形成在基板上的电路的密度也增大，且这样的电路更容易因微粒及其他污染物而产生缺陷。还有，随着基板尺寸的增大，基板重量和基板容器尺寸均相对增加。因此，当基板和容器相互碰撞时，微粒因碰撞而生成的机率提高。随着基板尺寸和重量增大，基板容器的支撑稳定度也必须作相对应的强化。为了降低大尺寸基板容器的污染风险，有必要对基板容器进行改良。
2、此外，现有基板容器与载台设备的承载界面之间的摩擦面积过大，造成基板容器与承载界面之间存在过度的黏着，这会影响着装载和卸载基板容器的顺畅度。因此，若在无法改动现有载台设备设计的情况下，有必要对基板容器进行改良。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种基板容器，改良后的基板容器，能够显著降低因基板和容器相互碰撞时产生的颗粒，降低了大尺寸基板容器的污染风险，同时基板容器的支撑稳定度也大大提升，更加稳固。
2、本专利技术提...
【技术保护点】
1.一种基板容器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述夹持位置使所述内凹表面用于至少限制一个所述基板的一上缘，所述承载面支撑所述基板的底部，用以固定支持所述基板。
3.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述夹持位置使所述内凹表面用于限制所述基板的上下表面，所述承载面支撑所述基板的底部，用以固定支持所述基板。
4.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述内凹表面由一第一斜面和一第二斜面衔接而成，所述第一斜面和所述第二斜面界定一内凹夹角。
5.如权利要求4所述的基板容器，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种基板容器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述夹持位置使所述内凹表面用于至少限制一个所述基板的一上缘，所述承载面支撑所述基板的底部，用以固定支持所述基板。
3.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述夹持位置使所述内凹表面用于限制所述基板的上下表面，所述承载面支撑所述基板的底部，用以固定支持所述基板。
4.如权利要求1所述的基板容器，其特征在于，所述内凹表面由一第一斜面和一第二斜面衔接而成，所述第一斜面和所述第二斜面界定一内凹夹角。
5.如权利要求4所述的基板容器，其特征在于，两个相邻的所述凸肋分别为一上凸肋和一下凸肋，所述上凸肋的一底部、所述下凸肋的一顶部及所述内凹表面构成所述槽。...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭乾，庄家和，沈恩年，李国华，吕俊明，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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