一种光掩基板坯片切割工装制造技术

本实用新型专利技术属于光掩膜基板生产设备技术领域，尤其涉及一种光掩基板坯片切割工装

【技术实现步骤摘要】
一种光掩基板坯片切割工装


[0001]本技术属于光掩膜基板生产设备
，尤其涉及一种光掩基板坯片切割工装
。

技术介绍

[0002]光掩膜基板坯片是通过利用石英玻璃槽沉改型形成，石英玻璃通过槽沉改型形成方形结构，之后再利用切割机切割成片状
。
[0003]目前，在切割坯片时，将坯片放置在底部的工作台上，工作台为铁质，利用两相吸的磁体夹住坯片底部，之后夹住坯片的磁体再固定在工作台上，或者，利用胶水蜂蜡等将坯片的底部粘接固定在工作台上，之后对坯片进行剖切，但是这种安装固定的方式，会由于坯片较大，在切割过程中存在水吸的影响，切割时，前后两片吸力较大，石英玻璃会由于应力过大造成裂纹的影响，进而，对光掩基板坯片的质量造成一定损坏
。

技术实现思路

[0004]本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种光掩基板坯片切割工装，用于解决光掩基板坯片在切割过程中容易损坏的问题
。
[0005]本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种光掩基板坯片切割工装，其包括：
[0006]工作台，其上安装有相对设置的支撑架，用于夹持工件；
[0007]两切割装置，对称布置于所述工件两侧，所述切割装置包括：收放卷机构
、
切割轮组件及切割线，所述切割轮组件布置在所述收放卷机构靠近所述工件一侧，所述切割线依次绕卷于所述收放卷机构
、
切割轮组件及另一侧的所述切割轮组件和收放卷机构，两侧所述切割轮组件上下移动，以带动所述切割线剖分所述工件
。
[0008]相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：
[0009]在工作台上利用相对设置的支撑架夹持住工件，支撑架能够向上延伸支撑住整个工件的两面，支撑架与工作台固定安装，避免了固定工件底部容易因应力造成的损伤，之后利用两侧的切割装置对工件进行切割，一侧收放卷机构进行收卷，另一侧收放卷机构进行放卷，通过切割轮组件上下移动完成对工件的切割
。
[0010]进一步地，所述工作台包括：基座，其上安装有导轨；
[0011]安装台，滑动连接于所述导轨上，所述基座内部安装有第一驱动机构，以驱动所述安装台在所述导轨上往复移动；
[0012]垫块，夹置于所述安装台与所述工件之间
。
[0013]进一步地，所述安装台上间隔开设有若干安装槽，所述支撑架底部间隔设置有若干腰形连接孔，所述腰形连接孔通过紧固件与所述安装槽连接
。
[0014]进一步地，所述切割轮组件包括：竖槽，其中滑动连接有滑座；
[0015]第二驱动机构，安装于所述竖槽中，以驱动所述滑座上下滑动；
[0016]切割轮，安装于所述滑座上
。
[0017]进一步地，所述滑座上设置有出水头，所述出水头上连通有挠性喷管，所述挠性喷管自由端对准所述切割线接触所述工件处
。
[0018]进一步地，两所述切割轮组件顶部安装有出水排管，所述出水排管底部间隔设置有一排与所述切割线相对的出水口
。
[0019]进一步地，所述收放卷机构包括：收卷筒，所述收卷筒一端连接有主轴电机，用于驱动所述收卷筒旋转；
[0020]收卷架，其底部安装有滑轨，所述收卷架一端连接有排线电机，用于驱动所述收卷架沿所述滑轨往复移动，所述收卷筒转动连接于所述收卷架上
。
[0021]进一步地，所述切割装置还包括位于所述收放卷机构与所述切割轮组件之间的张力控制组件，所述切割线依次绕经所述收放卷机构
、
张力控制组件及切割轮组件
。
[0022]进一步地，所述张力控制组件上游安装有用于限位所述切割线的纠偏轮组
。
[0023]进一步地，所述张力控制组件包括：所述切割线依次绕经的第一过渡轮
、
张力轮及第二过渡轮，所述张力轮的轴上连接有张力臂
。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0025]图1为本技术具体实施例的整体结构示意图
。
[0026]图2为图1中收放卷机构的整体结构示意图
。
[0027]附图标记：
[0028]1、
工作台；
2、
支撑架；
3、
工件；
[0029]101、
基座；
102、
导轨；
103、
安装台；
104、
垫块；
[0030]4、
切割装置；
[0031]401、
收放卷机构；
402、
切割轮组件；
403、
切割线；
[0032]4011、
收卷筒；
4012、
主轴电机；
4013、
收卷架；
4014、
滑轨；
4015、
排线电机；
[0033]4021、
竖槽；
4022、
滑座；
4023、
切割轮；
[0034]5、
安装槽；
6、
腰形连接孔；
[0035]7、
出水头；
8、
挠性喷管；
[0036]9、
出水排管；
10、
出水口；
[0037]11、
第一过渡轮；
12、
张力轮；
13、
第二过渡轮；
[0038]14、
纠偏轮组；
[0039]15、U
型风琴防护罩；
16、
一字型风琴防护罩
。
具体实施方式
[0040]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述
。
以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用
新型的保护范围
。
[0041]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义
。
[0042]在本申请的描述中，需要理解的是，术语
ꢀ“
上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0043]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光掩基板坯片切割工装，其特征在于，包括：工作台，其上安装有相对设置的支撑架，用于夹持工件；两切割装置，对称布置于所述工件两侧，所述切割装置包括：收放卷机构
、
切割轮组件及切割线，所述切割轮组件布置在所述收放卷机构靠近所述工件一侧，所述切割线依次绕卷于所述收放卷机构
、
切割轮组件及另一侧的所述切割轮组件和收放卷机构，两侧所述切割轮组件上下移动，以带动所述切割线剖分所述工件
。2.
根据权利要求1所述的光掩基板坯片切割工装，其特征在于，所述工作台包括：基座，其上安装有导轨；安装台，滑动连接于所述导轨上，所述基座内部安装有第一驱动机构，以驱动所述安装台在所述导轨上往复移动；垫块，夹置于所述安装台与所述工件之间
。3.
根据权利要求2所述的光掩基板坯片切割工装，其特征在于，所述安装台上间隔开设有若干安装槽，所述支撑架底部间隔设置有若干腰形连接孔，所述腰形连接孔通过紧固件与所述安装槽连接
。4.
根据权利要求1所述的光掩基板坯片切割工装，其特征在于，所述切割轮组件包括：竖槽，其中滑动连接有滑座；第二驱动机构，安装于所述竖槽中，以驱动所述滑座上下滑动；切割轮，安装于所述滑座上
。5.
根据权利要求4所述的光掩基板坯片切割工装，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢孔江，高运周，陈汝彬，
申请(专利权)人：扬州神光光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：