【技术实现步骤摘要】
一种晶体加工用快速烘干装置
[0001]本技术涉及晶体加工
,具体为一种晶体加工用快速烘干装置
。
技术介绍
[0002]晶体板在加工前需要进行清洗,使晶体板洁净,而后才能投入使用;但是,清洗后的晶体板必须干燥后才能使用
。
晶体板在清洗后如果是自然晾干则需要消耗大量的时间,因此大多数加工企业采用烘干设备对晶体板进行烘干
。
[0003]中国专利公告号
CN108759341A
中公开了一种晶体加工烘干装置,待烘干晶体板放置在放置架上,晶体板上的水滴在重力作用下流向放置架底部,放置架的底部设置供水流穿过的通孔,因此水滴穿过通孔最终流向托板上,避免了上层晶体板的水滴滴落在下层晶体板上,从而避免了晶体板之间的相互影响,进而提高干燥效率
。
[0004]上述申请中的晶体加工装置在使用时,水滴会在重力的影响下滴落在集水槽的顶部,因此在后续烘干的过程中,集水槽内部未排出的水滴会被烘干,从而形成水蒸气,加重了烘干箱内部的空气湿度,从而延长了烘干的时间
。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供了一种晶体加工用快速烘干装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶体加工用快速烘干装置,包括烘干仓和门板,所述门板安装于烘干仓的内部,所述烘干仓的内部安装有放置组件,所述烘干仓的顶部安装有烘干组件
。
[0007]所述放置组件由引水单元和活动单元组 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种晶体加工用快速烘干装置,包括烘干仓
(1)
和门板
(2)
,所述门板
(2)
安装于烘干仓
(1)
的内部,其特征在于:所述烘干仓
(1)
的内部安装有放置组件
(3)
,所述烘干仓
(1)
的顶部安装有烘干组件
(4)
;所述放置组件
(3)
由引水单元和活动单元组成,引水单元位于烘干仓
(1)
的内部,活动单元位于烘干仓
(1)
的内部
。2.
根据权利要求1所述的一种晶体加工用快速烘干装置,其特征在于:引水单元包括内空板
(301)、
镂空板
(302)、
管道
(303)、
引出管
(304)
和连接管
(305)
,所述内空板
(301)
安装于烘干仓
(1)
的内部,所述镂空板
(302)
固定连接于内空板
(301)
的内部,所述管道
(303)
固定连接于内空板
(301)
的底部,所述引出管
(304)
安装于管道
(303)
的外壁,所述连接管
(305)
安装于引出管
(304)
的内壁
。3.
根据权利要求2所述的一种晶体加工用快速烘干装置,其特征在于:所述管道
(303)
的顶端与内空板
(301)
连通,所述管道
(303)
远离内空板
(301)
的一端与连接管
(305)
的一端固定连接,所述连接管
(305)
的外壁与引出管
(304)
【专利技术属性】
技术研发人员:张胜涛,赵丽丽,
申请(专利权)人:哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司,
类型:新型
国别省市:
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