一种刚柔耦合二维运动平台制造技术

本发明专利技术公开一种刚柔耦合二维运动平台，包括基座

【技术实现步骤摘要】
一种刚柔耦合二维运动平台


[0001]本专利技术涉及柔性运动平台，具体涉及一种刚柔耦合二维运动平台
。

技术介绍

[0002]大行程高精度运动平台在半导体封装等领域有着广泛应用
。
为综合兼顾大行程和高精度两方面要求，宏微复合运动平台被普遍用于上述大行程高精度运动平台的设计
。
在典型的宏微复合运动平台中，基于柔性较链可以有效的解决摩擦死区问题，在不提高成本的前提下，有大幅度提高定位精度的优点，因此微动平台往往会采用基于柔性较链的设计方案
。
[0003]现有的二维运动平台，例如申请公布号为
CN111102442A
的专利技术申请公开的一种紧凑型刚柔耦合平台连接结构及其构成的多轴运动平台，该多轴运动平台包括上层平台
、
下层平台
、
运动检测元件和驱动装置，上层平台的上层平台基座设计成刚柔耦合结构且安装到下层平台导轨上
。
上述二维运动平台虽然能够实现多自由度运动，灵活地搭建出所需的多自由度高精度运动平台，但是同时存在以下的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种刚柔耦合二维运动平台，其特征在于，包括基座
、
一体刚柔耦合平台以及二维驱动机构；所述一体刚柔耦合平台包括刚性框架
、X
向耦合组件以及
Y
向耦合组件；所述刚性框架通过复合滑动结构设置在基座上，所述复合滑动结构设有两个相互垂直的自由度；所述刚性框架内设有第一安装腔体；所述
X
向耦合组件包括
X
向平台和
X
向柔性铰链片，所述
X
向平台和
X
向柔性铰链片均设置在第一安装腔体内，所述
X
向柔性铰链片设有两组且对称地设置在刚性框架的内侧壁和
X
向平台的外侧壁之间；所述
X
向平台内设有第二安装腔体；所述
Y
向耦合组件包括
Y
向平台和
Y
向柔性铰链片，所述
Y
向平台和
Y
向柔性铰链片均设置在第二安装腔体内，所述
Y
向柔性铰链片设有两组且对称地设置在
X
向平台的内侧壁和
Y
向平台的外侧壁之间；所述
X
向柔性铰链片水平延伸的方向与
Y
向柔性铰链片水平延伸的方向垂直；所述二维驱动机构包括
X
向驱动机构和
Y
向驱动机构，所述
X
向驱动机构包括
X
向定子和
X
向动子，所述
X
向定子固定在基座上；所述
X
向动子与
X
向平台固定连接；所述
Y
向驱动机构包括
Y
向定子和
Y
向动子，所述
Y
向定子固定在基座上；所述
Y
向动子与
Y
向平台固定连接
。2.
根据权利要求1所述的刚柔耦合二维运动平台，其特征在于，所述复合滑动结构包括
X
向滑动结构和
Y
向滑动结构，所述
X
向滑动结构包括
X
向滑块和
X
向导轨；所述
Y<...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁镨匀，杨志军，王一杰，朱凯，
申请(专利权)人：佛山市华道超精科技有限公司，
类型：发明
国别省市：