一种单晶炉保温节流装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及单晶炉领域，公开了一种单晶炉保温节流装置

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉保温节流装置


[0001]本专利技术属于单晶炉
，具体为一种单晶炉保温节流装置
。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备；单晶拉晶是硅片制造中最重要的一环，由于生产工艺的需要，氩气成为单晶炉拉晶的必备保护气体
。
[0003]如公开号为
CN101319351B
中公开专利技术的一种单晶炉，其包括：设于单晶炉的坩埚支持器下方和单晶炉底部的排气口之间的气流导向装置；该气流导向装置为碗形，其包括：设于气流导向装置底部中央的中轴孔
、
设于所述中轴孔两侧的一对电极孔
、
以及设于中轴孔两侧并与单晶炉的排气口相对的通气孔；单晶炉的石墨中轴穿过气流导向装置的中轴孔，单晶炉的一对电极柱分别穿过电极孔，单晶炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于单晶炉的保温筒与发热体之间
。
[0004]该专利中的单晶炉和大多单晶炉一样，进气方式是直接进气，因此造成氩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶炉保温节流装置，包括单晶炉
(1)
，其特征在于：所述单晶炉
(1)
的内部中间位置设置有坩埚
(11)
，所述坩埚
(11)
的内部设置连接有单晶硅
(15)
，所述单晶硅
(15)
的外侧设置有热屏
(8)
，所述热屏
(8)
的上方设置有内层导气罩
(4)
，所述单晶炉
(1)
的内部顶端设置连接有保温盖板
(6)
，所述保温盖板
(6)
的顶端外侧设置有外层导气罩
(3)
，所述外层导气罩
(3)
将所述内层导气罩
(4)
包裹在其内侧
。2.
如权利要求1所述的一种单晶炉保温节流装置，其特征在于：所述外层导气罩
(3)
的高度约为
455mm
，所述内层导气罩
(4)
的高度约为
160mm,
所述外层导气罩
(3)
和所述内层导气罩
(4)
与所述保温盖板
(6)
之间呈一定倾斜角度设置
。3.
如权利要求1所述的一种单晶炉保温节流装置，其特征在于：所述外层导气罩
(3)
和所述内层导气罩
(4)
填充在所述保温盖板
(6)
与炉盖之间且将大部分空间所填充并减小氩气的循环空间
。4.
如权利要求1所述的一种单晶炉保温节流装置，其特征在于：通过调整所述外层导气罩
(3)
和所述内层导气罩
...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅志斌，刘之文，佟兴雪，傅欣，张坚，简晖，郭广，刘明，郭海腾，
申请(专利权)人：安徽阜兴新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：