一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，它包括以下步骤：

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法


：
[0001]本专利技术涉及陶瓷加工设备相关
，更具体地说涉及一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法
。

技术介绍

：
[0002]氧化铝
(Al2O3)
陶瓷具有耐磨损
、
耐腐蚀
、
绝缘性能强等优异特性，现已广泛应用于轴承
、
密封
、
电子元器件等领域，但也是一种硬脆材难加工材料
。
[0003]为获得高表面质量的氧化铝陶瓷零件，若采用传统磨削加工技术，材料去除效率高，但是其脆性断裂机械去除机理会导致大量微裂纹
、
破碎
、
凹坑
、
擦伤等表面缺陷和损伤的产生，表面质量低下；若采用研磨抛光加工技术，可获得较好的表面质量，表面缺陷和损伤少，但是材料去除效率低，时间成本高
。

技术实现思路

：
[0004]本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：它包括以下步骤：
(1)、
配置粗加工磨削液
(1)
和化学机械磨削液
(2)
；
(2)、
将待加工的工件
(100)
放置在粗磨加工磨料盘
(10)
上进行磨削，同时，将粗加工磨削液
(1)
滴落到粗磨加工磨料盘
(10)
上；同时，采用多个油石小块
(3)
对粗磨加工磨料盘
(10)
进行修整加工；
(3)、
将步骤
(2)
完成的工件
(100)
放置到结构化磨料盘
(20)
上进行磨削，磨削的同时，将化学机械磨削液
(2)
滴落到结构化磨料盘
(20)
的顶面上，同时，采用多个对应的油石小块
(3)
对结构化磨料盘
(20)
进行修整加工
。2.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：所述粗磨加工磨料盘
(10)
的顶面为平面，磨料粒径为
50
至
80
μ
m。3.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：所述粗加工磨削液
(1)
采用去离子水和碳酸钠配制，碳酸钠的质量分数为4％至8％
。4.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：所述粗磨加工磨料盘
(10)
的左部上方设有粗加工修整基盘
(11)
，粗加工修整基盘
(11)
的底面固定有多个油石小块
(3)
，油石小块
(3)
的底面与粗磨加工磨料盘
(10)
的顶面相接触，粗磨加工磨料盘
(10)
的右部上方设有工件加载盘
(12)
，工件加载盘
(12)
的底面安装有待加工的工件
(100)
，工件
(100)
的底面紧贴粗磨加工磨料盘
(10)
的右部顶面，工件
(100)
的工件端面与粗磨加工磨料盘
(10)
之间的接触压力为
20
至
40KPa
，工件
(100)
的转速和粗磨加工磨料盘
(10)
的转速保持一致为
100
至
200rpm
；粗加工修整基盘
(11)
的油石小块
(3)
的磨料粒径为
80
至
150
μ
m。5.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：粗加工磨削液
(1)
流量为
30
至
40mL/min
，加工时间为1到
2min。6.
根据权利要求1所述的一种氧化铝陶瓷零件的两阶段化学机械磨削加工方法，其特征在于：所述结构化磨料盘
(20)

【专利技术属性】
技术研发人员：姚蔚峰，张玉辉，蔡湾湾，俞春兰，尹良良，梁浙辉，张鹏炜，董海锋，
申请(专利权)人：浙江五洲新春集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：