一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器制造技术

本发明专利技术涉及一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器，属于半导体器件光滤波技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器


[0001]本专利技术属于半导体器件光滤波
，特别是指一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器
。

技术介绍

[0002]伴随着虚拟现实
、
人工智能
、
大数据
、
海量视频及物联网等技术的不断兴起，对通信系统提出了低成本
、
大带宽和高速率的发展需求
。
在过去几十年里，微电子芯片支撑着通信产业的发展，但其面临着能耗过大
、
散热困难
、
量子隧穿效应导致的绝缘失效
、
高频段损耗急剧增大及易受电磁干扰等问题，越来越难以满足上述发展需求
。
因此，全光互联通信系统在业内得到越来越多的关注
。
[0003]光子集成技术可以将光子器件
、
电子器件和光电器件
(
包括激光器
、
调制器
、
光波导器件
、
探测器<br/>、
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器，其特征在于，包括：衬底
(1)
；位于衬底之上的埋氧层
(2)
；位于埋氧之上，通过刻蚀形成的脊波导
(3)
，用于光传输；位于脊波导之上的包层
(4)
，用于保护波导并隔离波导和电极；位于包层之上的热光电极
(5)
，用于产生热量，该热量传递到波导中，会引起波导有效折射率的改变，从而补偿工艺误差造成的谐振峰偏移，实现滤波通带中心可调
。2.
根据权利要求1所述的一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器，其特征在于，所述衬底
(1)
的材料为硅，埋氧层
(2)
的材料为二氧化硅
。3.
根据权利要求1所述的一种热光可调谐并具有平顶型输出响应的三阶微环滤波器，其特征在于，所述脊波导
(3)
的材料是单晶铌酸锂薄膜；其中，单晶铌酸锂薄膜的其厚度为
500nm
，脊波导的刻蚀深度为
240
～
280nm
，脊波导的宽度为
1.0
～
1.4
μ
m
；脊波导
(3)
的刻蚀结构包括：输入光波导
(6)、
直通输出光波导
(7)、
上载输入光波导
(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁跃迪，马向，于文琦，李少波，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十四研究所，
类型：发明
国别省市：