【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
电子级硅微粉有两类,一类是电子级结晶型硅微粉,一类是电子级熔融型硅微粉(中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10675-2002——电子及电器工业用二氧化硅微粉)。 电子级硅微粉可应用于集成电路、电子元件的塑封料,环氧浇注料、灌封料,附加值高,市场 前景好。目前制备电子级结晶型硅微粉的方法主要有两大类化学合成法,天然石英粉碎、 提纯法。化学合成法成本较高;以天然石英为原料制备电子级结晶型硅微粉需提纯,而目前 已公开的提纯法普遍采用磁选、氢氟酸酸洗提纯,酸洗将会对环境产生污染。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是针对上述现有技术提出一种电子级结晶型硅微粉的制 备方法,用天然粉石英为原料无酸超声波清洗提纯法制备电子级结晶型硅微粉,成本低,且 不会造成对环境的酸污染。本专利技术为解决上述提出的问题所采用的解决方案为电子级结晶型硅微粉的制备 方法,其特征在于包括有以下步骤1)粉碎用机械方法粉碎天然粉石英,获得不同粒径的硅微粉;2)搅拌清洗将粉碎后的硅微粉投入搅拌桶中,加入蒸馏水和硅酸钠调浆、搅拌、 沉淀、去水,反复上述清洗步骤三至四次,其 ...
【技术保护点】
电子级结晶型硅微粉的制备方法,其特征在于包括有以下步骤:1)粉碎:用机械方法粉碎天然粉石英,获得不同粒径的硅微粉;2)搅拌清洗:将粉碎后的硅微粉投入搅拌桶中,加入蒸馏水和硅酸钠调浆、搅拌、沉淀、去水,反复上述清洗步骤三至四次,其中以重量计所述的硅微粉∶蒸馏水=35~25∶65~75,硅微粉∶硅酸钠=100∶1~1.5;3)超声波清洗:将搅拌清洗后所得的硅微粉,加去离子水调浆、搅拌、沉淀、去水,反复上述清洗步骤两次,搅拌、沉淀过程中使用超声波震荡,其中以重量计所述的硅微粉∶去离子水=35~25∶65~75;4)最后将步骤3)超声波清洗所得硅微粉经烘干,即获得电子级结晶型硅微粉。
【技术特征摘要】
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