机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于特种加工领域，公开了一种机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置与方法

【技术实现步骤摘要】
机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置与方法


[0001]本专利技术涉及特种加工
，涉及一种机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置与方法
。

技术介绍

[0002]超快激光刻蚀加工技术是一种高精度的加工技术，采用超高能量密度
(
大于
10
12
W/cm2)、
超短脉宽
(
皮秒
、
飞秒量级
)
的激光束对材料表面进行加工可实现微米
/
纳米级的加工精度
。
此外，由于超快激光具有
"
超强
"、"
超快
"
的特点，加工后几乎不产生热效应，实现
"
冷加工
"。
不仅如此，超快激光刻蚀加工技术还具有非接触式加工
、
高效率和无污染等优点，在航空航天
、
医学
、
环保和微电子等领域得到了广泛应用
。
超快激光刻蚀技术结合智能多轴驱动的机械臂可实现大尺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置，其特征在于，所述的机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置包括机械臂装置
(1)、
导光臂
(2)、
法向位移平台
(3)
和同轴视觉测距系统
(4)
；所述的机械臂装置
(1)
通过计算机编程控制其运动轨迹，所述的导光臂
(2)
安装在机械臂装置
(1)
的前端，所述的法向位移平台
(3)
安装在导光臂
(2)
的前端，所述的同轴视觉测距系统
(4)
安装在法向位移平台
(3)
上实现同轴视觉测距系统
(4)
的法向位置调整；所述的同轴视觉测距系统
(4)
包括反射镜
(6)、
双色镜
a(7)、
双色镜
b(8)、
激光测距仪
(9)、CCD
相机
(10)
和
X
‑
Y
轴扫描振镜
(11)
；所述的反射镜
(6)、
双色镜
a(7)
和双色镜
b(8)
平行布置，双色镜
a(7)
位于中间；导光臂
(2)
发出的刻蚀激光束位于反射镜
(6)
的斜前方；所述的激光测距仪
(9)
和
CCD
相机
(10)
分别位于双色镜
a(7)
和双色镜
b(8)
的斜前方，且导光臂
(2)
发出的刻蚀激光束
、
激光测距仪
(9)
发射的测距激光束和
CCD
相机
(10)
发出的
CCD
相机测量信号的方向平行；所述的
X
‑
Y
轴扫描振镜
(11)
位于双色镜
b(8)
的斜前方，包括
X
轴振镜
(12)、Y
轴振镜
(13)、X
轴电机
(14)
和
Y
轴电机
(15)
；所述的
X
轴电机
(14)
与
X
轴振镜
(12)
连接，用于调整
X
轴振镜
(12)
的位置；所述的
Y
轴电机
(15)
与
Y
轴振镜
(13)
连接，用于调整
Y
轴振镜
(13)
的方向；通过机械臂装置
(1)、
法向位移平台
(3)
以及
X
轴电机
(14)
和
Y
轴电机
(15)
的调整，使同轴视觉测距系统
(4)
发出的刻蚀激光束
、
测距激光束以及
CCD
相机测量信号与待加工零件
(5)
上的特征点保持垂直
。2.
根据权利要求1所述的机械臂超快激光刻蚀同轴视觉测距对中校准装置，其特征在于，所述的双色镜
a(7)
和双色镜
b(8)
对不同波长的光折射
、
反射率不同；所述的双色镜
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟建，王琛瑞，刘艳梅，贾大炜，史吉鹏，
申请(专利权)人：沈阳飞机工业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：