一种制备三氟化氮气体的电解装置制造方法及图纸

本申请涉及三氟化氮制备的领域，更具体地说，它涉及一种制备三氟化氮的电解装置

【技术实现步骤摘要】
一种制备三氟化氮气体的电解装置


[0001]本申请涉及三氟化氮制备的领域，更具体地说，它涉及一种制备三氟化氮的电解装置
。

技术介绍

[0002]随着电子工业的迅猛发展，三氟化氮
(Nitrogen Trifluoride
，简称
NF3)
作为一种气体在电子工业有很广泛重要的应用
。
制备
NF3气体的主要方法为熔融盐电解法，阳极为镍阳极，电解液为
NH4F
·
xHF
熔融盐，电解温度为
90℃
～
140℃
，阳极产生
NF3，阴极产生
H2。
[0003]为防止阳极产生的
NF3与阴极产生的
H2混合，发生反应甚至爆炸，工业化生产
NF3电解槽结构有两个特征：一是使用裙结构，利用电解液液位和裙将电解槽内部区域分为阳极液相区域
、
阳极气相区域
、
阴极液相区域和阴极气相区域，二是当
NF3、H2分别从阳极板和阴极板脱离...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种制备三氟化氮气体的电解装置，其特征在于：包括内部设有空腔的槽体
、
盖设于槽体上的槽盖
(1)、
阳极
(5)、
裙
(6)
；阳极
(5)
与槽盖
(1)
的底壁固定连接，裙
(6)
位于阳极
(5)
和槽体内壁之间；槽底从下往上依次设有阴极
‑
槽底绝缘密封垫
(9)、
阴极法兰
(8)
；阳极
(5)
的顶部固定连接有阳极导电柱
(2)
，阳极导电柱
(2)
远离阳极
(5)
的一端伸出槽盖
(1)
；阳极
(5)
和槽盖
(1)
之间设有阳极
‑
盖间绝缘密封垫
(3)
；槽体的内侧壁作为阴极，槽体内的空腔用于装电解液
。2.
根据权利要求1所述的一种制备三氟化氮气体的电解装置，其特征在于：所述槽盖
(1)
上还设有阳极扫氮口
(12)、
阳极出气口
(13)、
阳极压差口
(14)、
电解液补加口
(15)、
液位检测口
(16)
；阳极扫氮口
(12)、
阳极出气口
(13)、
阳极压差口
(14)、
电解液补加口

【专利技术属性】
技术研发人员：马毅斌，王斌，郝春辉，马朝选，鲁毅，王永迪，胡阳，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：