一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统，涉及车间洁净度检测技术领域，包括在运动轮带动下运动的运动底盘，且固定座在驱动机构驱动下向下运动以顶起运动底盘，且固定座连接有向上延伸的滑动顶杆，所述运动底盘上设置有带推压板的清理连杆，且清理连杆连接有配合挡住透光镜头的弹性清理板，且滑动顶杆和清理连杆间连接有第一弹性连接件，所述运动轮通过传动转轴

【技术实现步骤摘要】
一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统


[0001]本专利技术涉及车间洁净度检测
，具体为一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统
。

技术介绍

[0002]洁净室
(Cl eanRoom)
是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体
。
洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产
、
生化技术
、
生物技术
、
精密机械
、
制药
、
医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度
、
洁净度要求尤其严格
、
故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响
。
现有技术中，通常需要在洁净室的不同位置安装多个环境检测器，一方面增加环境检测成本，另一方面环境检测装置的安装位置需要反复考量否则既占用了洁净室的空间又存在耽误洁净室正常生产的可能性；若依靠人工手持检测设备进行检测，具有如下缺陷：一，人工成本会大大增加洁净室检测成本；二，当洁净室生产环境恶劣时人工检测难以实现；三，由于人员活动会导致部分环境检测数据不准确
。
综合上述因素，借助智能化检测设备去洁净室内部进行实时检测具有十分重要的意义
。
[0003]现有技术中，公开号为“CN208376915U”的一种用于洁净室环境监测的小车底盘，通过小车的底盘底座
、
第一安装板
、
第二安装板
、
第三安装板在竖直空间内的平行式安装大大减小了小车底盘整体体积，通过在小车上设置电源元件
、
激光导航仪
、
检测用电子元件
、
无线路由器等设备，小车底盘与电脑中检测软件可通过网络实现信息的双向传递；小车底盘可代替人工完成环境检测工作，避免人员参与带来的高检测成本及检测数据不准确的现象，其次，小车底盘可以在洁净室中灵活移动，无需多个检测设备的定点安装，节省设备费用投资的同时增大洁净室的可用空间；小车底盘中缓冲组件的设置避免了小车底盘在洁净室车间行走检测的过程中由于路面颠簸带来的检测误差，进一步提高检测数据的可信度
。
[0004]但现有技术仍存在较大缺陷，如：在进行洁净度检测时需要用到光散射粒子计数器对环境中的尘埃进行检测，但光散射粒子计数器长时间使用后镜头处会堆积灰尘，导致检测结果不准确的问题，且现有技术的小车底盘缺乏固定机构，无法在预定位置精准停留以检测该区域的洁净度程度
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种电子车间的洁净度检测机构及其检测系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种电子车间的洁净度检测机构，包括位于电子车间内且在运动轮带动下运动的运动底盘，且运动底盘上端固定安装有光散射粒子计数器，所述运动底盘下方安装有固定座，且固定座在驱动机构驱动下向下运动以顶起运动底盘，且固定座固定连接有向上滑动穿过运动底盘的滑动顶杆，所述运动底盘上方上下滑动设置有向上延伸以伸向光散射粒子
计数器处透光镜头的清理连杆，且清理连杆上端固定连接有挡住透光镜头的弹性清理板，且清理连杆下端固定连接有推压板，且滑动顶杆和位于其上方的清理连杆间连接有第一弹性连接件，且固定座向下顶起运动底盘使得弹性清理板向下离开透光镜头；
[0008]所述运动轮中心处固定连接有传动转轴，且运动底盘上方转动设置有从动轮，且传动转轴通过传动环带带动从动轮转动，所述从动轮外侧呈环向固定安装有若干挤压推板，且挤压推板随从动轮转动以向下推动
、
或向上顶起推压板，以使得弹性清理板向下或向上离开透光镜头
。
[0009]优选的，所述驱动机构包括固定连接在固定座上端的固定座连板
、
固定连接在固定座连板上表面和运动底盘下表面的第二弹性连接件
、
以及磁性相斥且分别安装在固定座连板和运动底盘相互靠近的端面上的磁性板
、
电磁铁
。
[0010]优选的，所述滑动顶杆向上滑动穿过第二弹性连接件
。
[0011]优选的，所述滑动顶杆靠近推压板的上端固定连接有顶杆连板，且第一弹性连接件固定连接在顶杆连板和推压板相互靠近的端面之间
。
[0012]优选的，所述推压板固定连接有向下滑动穿过第一弹性连接件
、
顶杆连板的导向滑杆
。
[0013]优选的，所述清理连杆上端固定连接有清理连板，且弹性清理板固定连接在清理连板上
。
[0014]优选的，所述运动底盘上固定连接有两个间隔设置的夹持板，且两个夹持板间固定连接有支撑转轴，所述从动轮夹持在两个夹持板之间，且支撑转轴沿从动轮轴线方向转动穿过从动轮
。
[0015]优选的，所述运动轮为多个且两两一组，两两一组的所述运动轮安装在运动底盘两相对侧壁的外侧
、
且之间通过传动转轴固定连接，所述运动底盘下表面固定连接有若干个供传动转轴转动穿过的底盘连板，且传动转轴杆身上固定连接有两两一组的限位环板，且底盘连板夹持在两两一组的限位环板之间
。
[0016]优选的，所述传动转轴和从动轮外侧壁均开设有环形凹槽，且传动环带滑动经过环形凹槽
。
[0017]一种检测系统，包括上述的电子车间的洁净度检测机构，还包括带有信号处理单元的检测系统主体，且检测系统主体的信号处理单元和光散射粒子计数器信号连接
。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0019]本专利技术的电子车间的洁净度检测机构及其检测系统，通过驱动机构带动固定座向下运动以顶起运动底盘，使得到达预定位置的运动底盘保持固定，防止运动底盘抵达预定位置后发生偏移错位
、
导致光散射粒子计数器偏离预定位置的问题，并通过传动转轴
、
传动环带
、
从动轮
、
推压板和挤压推板的配合设置，在运动轮滚动的过程中使得弹性清理板上下滑动以对透光镜头处的灰尘进行清理，避免透光镜头积累过多灰尘而导致光散射粒子计数器测得的洁净度不准确的问题
。
附图说明
[0020]图1为本专利技术整体结构正视示意图；
[0021]图2为本专利技术整体结构正视剖面示意图；
[0022]图3为图2中从动轮结构的放大示意图；
[0023]图4为本专利技术整体结构俯视示意图；
[0024]图5为本专利技术整体结构仰视示意图；
[0025]图6为图5中传动转轴的放大示意图；
[0026]图7为本专利技术中挤压推板向下压迫推压板示意图；
[0027]图8为本专利技术中固定座向下顶起运动底盘示意图；
[0028本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种电子车间的洁净度检测机构，包括位于电子车间内且在运动轮带动下运动的运动底盘，且运动底盘上端固定安装有光散射粒子计数器，其特征在于：所述运动底盘下方安装有固定座，且固定座在驱动机构驱动下向下运动以顶起运动底盘，且固定座固定连接有向上滑动穿过运动底盘的滑动顶杆，所述运动底盘上方上下滑动设置有向上延伸以伸向光散射粒子计数器处透光镜头的清理连杆，且清理连杆上端固定连接有挡住透光镜头的弹性清理板，且清理连杆下端固定连接有推压板，且滑动顶杆和位于其上方的清理连杆间连接有第一弹性连接件，且固定座向下顶起运动底盘使得弹性清理板向下离开透光镜头；所述运动轮中心处固定连接有传动转轴，且运动底盘上方转动设置有从动轮，且传动转轴通过传动环带带动从动轮转动，所述从动轮外侧呈环向固定安装有若干挤压推板，且挤压推板随从动轮转动以向下推动
、
或向上顶起推压板，以使得弹性清理板向下或向上离开透光镜头
。2.
根据权利要求1所述的电子车间的洁净度检测机构，其特征在于：所述驱动机构包括固定连接在固定座上端的固定座连板
、
固定连接在固定座连板上表面和运动底盘下表面的第二弹性连接件
、
以及磁性相斥且分别安装在固定座连板和运动底盘相互靠近的端面上的磁性板
、
电磁铁
。3.
根据权利要求2所述的电子车间的洁净度检测机构，其特征在于：所述滑动顶杆向上滑动穿过第二弹性连接件
。4.
根据权利要求1所述的电子车间的洁净度检测机构，其特征在于：所述滑动顶杆靠近推压板的上端固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱敏，
申请(专利权)人：无锡英弗洛环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：