一种制造技术

本申请涉及一种

【技术实现步骤摘要】
一种VMB气体分流箱


[0001]本申请涉及半导体制造
，尤其是涉及一种
VMB
气体分流箱
。

技术介绍

[0002]特气是指易燃易爆
、
有毒
、
有腐蚀性
、
纯度特别高的特种气体，特气被广泛应用于半导体
、
微电子和相关的太阳能电池等高科技产业中，为保障实际使用过程中的特气安全性，通常会使用到特气分流箱
(VMB)
对特种气体进行储存
、
输送以及分配
。
[0003]VMB
（
ValveManifoldBox
阀件分流箱）它是一种内嵌多支分发管和排气管的箱子，它能把特殊气体从单一的来源分配到多个应用点处，主要应用于
SiH4、NH3、N2O
等有毒性，有腐蚀性，易燃易爆等危险性气体的传输分配
。
[0004]然而，当需要更换输送的特种气体时，通常为在进气管路中注入氮气，通过氮气吹扫的方式对进气管理清理，由于进气管路较长，导致进入管路中会残留上批次输送的特种气体，进而导致进气管路的清扫效果较为一般
。

技术实现思路

[0005]为提高对进气管路的清扫效果，本申请提供一种
VMB
气体分流箱
。
[0006]本申请提供的一种
VMB
气体分流箱采用如下的技术方案：一种
VMB
气体分流箱，包括箱体
、
安装板r/>、
进气管路和吹扫管路，所述进气管路和吹扫管路均设置在安装板上，所述安装板设置在箱体内，所述吹扫管路上设置有第一管路和第二管路，所述第一管路和第二管路均与进气管路连通，所述吹扫管路包括进气管道和出气管道，所述进气管道与第一管路连通，所述出气管道与第二管路连通，所述出气管道的一个端口用于连接真空发生器
、
另一个端口用于连接外部气体排放回收系统
。
[0007]可选的，所述进气管路包括第一管道和设置在第一管道上的多个第二管道，所述第一管道和第二管道连通，所述第一管道用于输入特种气体，所述第一管道另一端封闭设置，所述第二管道用于输送特种气体至引用点位；所述第一管路和第二管路的数量与第二管道的数量一致，所述进气管道和第二管道通过第一管路连通，所述出气管道和第二管道通过第二管路连通
。
[0008]可选的，所述第一管路和第二管路的中部均设置有阀门，所述阀门用于进气管路输送特种气体时
、
对第一管路和第二管路关闭以及对进气管路清扫时
、
对第一管路和第二管路开启
。
[0009]可选的，所述箱体上开设有操作口，所述安装板位于箱体正对操作口的内壁上，所述安装板滑动设置在箱体内，所述安装板沿垂直于操作口所在平面的方向滑动，所述箱体内设置有驱动件，所述驱动件用于驱使安装板带动进气管路和吹扫管路从操作口移出
。
[0010]可选的，所述驱动件包括滑动设置在正对操作口内壁上的驱动杆组，所述驱动杆组包括两根驱动杆体，两根所述驱动杆体的端部滑动设置在箱体内壁，所述驱动杆体的滑动方向沿水平方向，所述安装板铰接在驱动杆体背离箱体内壁的端部，所述安装板与驱动
杆体的铰接轴线沿竖直方向，两根所述驱动杆体沿其中线对称排布，所述驱动件还包括用于驱使两根驱动杆体相互靠近或背离的滑动件；所述箱体正对操作口的内壁还设置有限位件，所述限位件使安装板沿垂直于操作口的方向移动
。
[0011]可选的，所述滑动件包括双向丝杠
、
滑块和电机，所述双向丝杠沿水平方向，所述滑块螺纹连接在双向丝杠两侧，所述驱动杆体铰接在滑块上，所述电机用于驱动双向丝杠转动
。
[0012]可选的，所述电机固定设置在箱体外，所述电机输出轴的长度方向垂直于操作口且垂直于双向丝杠的长度方向，所述电机输出轴上且位于箱体内的一侧设置有第一锥齿轮，所述双向丝杠上设置有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮
。
[0013]可选的，所述限位件包括固定设置在箱体内壁上的伸缩杆，所述伸缩杆位于正对操作口的内壁，所述伸缩杆沿垂直于所在内壁的方向伸缩，所述安装板固定设置在伸缩杆的端部
。
[0014]可选的，所述箱体正对操作口的内壁固定设置有固定杆，所述固定杆的长度方向垂直于操作口所在平面，所述安装板上开设有供固定杆插接的插接孔
。
[0015]可选的，所述固定杆上滑动设置有限位球，所述限位球的滑动方向垂直于固定杆的长度方向，所述安装板挂接在固定杆上后，所述限位球位于安装板的外侧且抵接在安装板的板面上
。
[0016]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.
特种气体输送更换时，启动真空发生器，真空发生器工作时，在出气管道处产生负压，同时，在进气管道的进气口输入氮气，在负压的作用下，驱使氮气沿进气管道流动至第一管道内，并通过第一管道进入进气管路中，氮气进入进气管路后带动残留在进气管路内的特种气体流动，氮气携带特种气体沿进气管路流动至第二管路内，并经过第二管路流动至出气管道内，随后通过出气管道流动至外部气体排放回收系统内，完成进气管路的清扫，在上述过程中，通过负压带动氮气在进气管路内流动，提高了对进气管路内特种气体的清除效果；同时，在负压的作用下，使得残留在进气管路内的特种气体沿进气管道流动，从而通过出气管道排出，进一步提高了对进气管路内特种气体的清除效果
。
附图说明
[0017]图1是本申请实施例一种
VMB
气体分流箱的整体结构示意图；图2是本申请实施例一种
VMB
气体分流箱中箱体内部结构示意图；图3是本申请实施例一种
VMB
气体分流箱中安装板的结构示意图；图4是本申请实施例一种
VMB
气体分流箱中箱体的剖视图；图5是图4的侧视图；图6是图5中
A
部分的放大示意图
。
[0018]附图标记说明：
1、
箱体；
2、
安装板；
3、
进气管路；
31、
第一管道；
32、
第二管道；
4、
吹扫管路；
41、
进气管道；
42、
出气管道；
5、
第一管路；
6、
第二管路；
7、
压力表；
8、
阀门；
9、
操作口；
10、
箱门；
11、
透视窗口；
12、
驱动件；
121、
驱动杆体；
122、
双向丝杠；
123、
滑块；
124、
电机；
125、
第一锥齿轮；
126、
第二锥齿轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
VMB
气体分流箱，其特征在于：包括箱体
(1)、
安装板
(2)、
进气管路
(3)
和吹扫管路
(4)
，所述进气管路
(3)
和吹扫管路
(4)
均设置在安装板
(2)
上，所述安装板
(2)
设置在箱体
(1)
内，所述吹扫管路
(4)
上设置有第一管路
(5)
和第二管路
(6)
，所述第一管路
(5)
和第二管路
(6)
均与进气管路
(3)
连通，所述吹扫管路
(4)
包括进气管道
(41)
和出气管道
(42)
，所述进气管道
(41)
与第一管路
(5)
连通，所述出气管道
(42)
与第二管路
(6)
连通，所述出气管道
(42)
的一个端口用于连接真空发生器
、
另一个端口用于连接外部气体排放回收系统
。2.
根据权利要求1所述的一种
VMB
气体分流箱，其特征在于：所述进气管路
(3)
包括第一管道
(31)
和设置在第一管道
(31)
上的多个第二管道
(32)
，所述第一管道
(31)
和第二管道
(32)
连通，所述第一管道
(31)
用于输入特种气体，所述第一管道
(31)
另一端封闭设置，所述第二管道
(32)
用于输送特种气体至引用点位；所述第一管路
(5)
和第二管路
(6)
的数量与第二管道
(32)
的数量一致，所述进气管道
(41)
和第二管道
(32)
通过第一管路
(5)
连通，所述出气管道
(42)
和第二管道
(32)
通过第二管路
(6)
连通
。3.
根据权利要求1所述的一种
VMB
气体分流箱，其特征在于：所述第一管路
(5)
和第二管路
(6)
的中部均设置有阀门
(8)
，所述阀门
(8)
用于进气管路
(3)
输送特种气体时
、
对第一管路
(5)
和第二管路
(6)
关闭以及对进气管路
(3)
清扫时
、
对第一管路
(5)
和第二管路
(6)
开启
。4.
根据权利要求1所述的一种
VMB
气体分流箱，其特征在于：所述箱体
(1)
上开设有操作口
(9)
，所述安装板
(2)
位于箱体
(1)
正对操作口
(9)
的内壁上，所述安装板
(2)
滑动设置在箱体
(1)
内，所述安装板
(2)
沿垂直于操作口
(9)
所在平面的方向滑动，所述箱体
(1)
内设置有驱动件
(12)
，所述驱动件
(12)
用于驱使安装板
(2)
带动进气管路
(3)
和吹扫管路
(4)
从操作口
(9)
移出
。5.
根据权利要求4所述的一种
VMB
气体分流箱，其特征在于：所述驱动件
...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖东雷，贾厚成，李虎，张丽娟，
申请(专利权)人：上海韩科建设工程有限公司，
类型：发明
国别省市：