热管理系统技术方案

一种热管理系统

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热管理系统


[0001]本技术涉及用于与真空泵送系统一起使用的热管理系统
。

技术介绍

[0002]热管理系统在各种不同的应用中实施以控制设备的温度
。
热管理系统可以例如向在操作期间生成过多热的装置提供冷却，从而提高可靠性并防止故障
。
[0003]作为示例，热管理系统可以用于控制包括干式真空泵的泵送系统的温度
。
干式真空泵或干式泵是在主泵送级中不使用任何液体来产生真空或在泵内提供冷却以维持特定的所需操作温度的泵
。
干式真空泵用于各种不同的工业
(
例如，半导体制造
)。

技术实现思路

[0004]热管理系统可以包括阀，例如电磁阀，用于控制冷却液体
(
诸如水
)
通过各种管道
(
即导管
)
的流动
。
本专利技术人已经认识到，传统热管理系统中的阀往往容易受到各种因素的损坏，这些因素包括但不限于液压冲击
(
即水击<br/>)。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种热管理系统，其特征在于，所述热管理系统包括：多个导管，所述多个导管流体连接在一起并且被构造成允许冷却流体从其流过，所述多个导管包括冷却流体入口，所述冷却流体入口被构造成接收所述冷却流体的供应；一个或多个阀，其沿着所述多个导管中的一个或多个定位，并且构造成控制所述冷却流体通过所述多个导管中的所述一个或多个的流动；以及限制器，所述限制器沿着所述多个导管中的一个或多个定位，所述限制器定位在所述冷却流体入口与所述一个或多个阀之间，并且所述限制器构造成减小所述冷却流体的压力，使得所述一个或多个阀处的所述冷却流体的压力小于所述冷却流体入口处的所述冷却流体的供应压力
。2.
根据权利要求1所述的热管理系统，其中，所述限制器位于所述冷却流体入口处，或者所述冷却流体入口与所述限制器的入口之间的导管的长度小于或等于约
15cm。3.
根据权利要求1或2所述的热管理系统，其中，所述限制器包括：第一导管，所述第一导管包括第一端和与所述第一端相对的第二端；第二导管，所述第二导管包括第一端和与所述第一端相对的第二端；以及第三导管，所述第三导管包括第一端和与所述第一端相对的第二端；所述第一导管的所述第二端流体地连接到所述第二导管的所述第一端；所述第二导管的第二端流体地连接到所述第三导管的第一端；所述第一导管具有第一直径；所述第二导管具有第二直径；所述第三导管具有第三直径；以及所述第二直径小于所述第一直径和所述第三直径
。4.
根据权利要求3所述的热管理系统，其中，所述第一直径为约
6mm
，所述第二直径为约
3mm
，并且所述第三直径为约
6mm。5.
根据权利要求1或2所述的热管理系统，其中，对于所述一个或多个阀中的每一个，所述限制器的出口与该阀的入口之间的导管的长度小于或等于约
50cm。6.
根据权利要求1或2所述的热管理系统，其中，所述多个导管包括多个永久冷却管线，每个永久冷却管线是所述热管理系统的所述冷却流体入口与冷却流体出口之间的导管，其中，所述一个或多个阀不沿着所述多个永久冷却管线中的任一者定位
。7.
根据权利要求1或2所述的热管理系统，其中，所述一个或多个阀是电磁阀
。8.
一种系统，其特征在于，所述系统包括：一个或多个部件，其在操作中产生过多的热；以及根据权利要求1至7中任一项所述的热管理系统，其中所述热管理系统被构造成向所述一个或多个部件提供冷却
。9.
根据权利要求8所述的系统，其中所述系统是真空泵送系统，并且所述一个或多个部件包括一个或多个真空泵
。10.
根据权利要求9所述的系统，其中，所述一个或多个真空泵包括干式真空泵和机械增压泵，所述机械增压泵机械地联接到所述干式真空泵，使得在操作中，所述机械增压泵增...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁承均，尹成友，柳煐贤，
申请(专利权)人：爱德华兹韩国有限公司，
类型：新型
国别省市：