纳米磁性液体微致动泵制造技术

一种纳米磁性液体微致动泵，包括由键合层键合的上基片、中基片和下基片，上基片的内侧设有三个凹槽，上基片与中基片之间间隔有微管道，中基片上设有与上基片三个凹槽相对应的三个磁性液体工作腔，中基片与下基片之间设有弹性薄膜，弹性薄膜内分别设有出口阀的磁性液体、微致动体的磁性液体和入口阀的磁性液体；对应上基片内侧的左凹槽顶部内设有入口阀微型电磁线圈，对应上基片内侧的中凹槽顶部内两侧分别设有微致动体左侧电磁线圈和微致动体右侧电磁线圈，对应上基片内侧的右凹槽顶部内设有出口阀微型电磁线圈。通过控制微型电磁线圈交替通电与断电，使入口阀和出口阀开启或关闭以及使磁性液体微致动体向左、向右或复原，实现对微管道内液体的输送。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及纳米磁性液体材料和MEMS(微机电系统)的交叉
，尤其 是一种使用纳米磁性液体作为致动介质的微泵。
技术介绍
纳米磁性液体(magnetic fluid)也称磁流体或铁磁流体，它是通过表面活性剂将 纳米级磁性颗粒均勻地分散于某种液态载体之中，所形成的一种稳定的“固液”两相胶体悬 浮液。磁性液体不但保持了载液的流动性，而且在外加磁场作用下能迅速地被磁化，当外磁 场取消后磁性又能立即消失，表现出优良的超顺磁性，是一种理想的液体磁性材料。磁性液体最突出的特性是能够接受外加磁场的作用和控制，并且其许多物理性质 随外磁场的变化而有较大变化，在航天、电子、机械、能源、化工、仪表、环保、医疗等许多领 域都能提供一些新颖的解决方案，甚至在旋转轴密封、减振器阻尼、角度传感器等方面已有 成熟的产品问世。近年来，以微加工技术为基础的MEMS研究进展迅速，由此带动了微流体系统的发 展。在生物医学分析、化学分析、医药分析等领域，均需要可以向微系统提供微量样本且可 精确控制流量(PL/min级)的微型泵。作为分析系统中的一个关键部件，微型泵的应用大 大缩短了系统分析的时间。自从美国斯坦福大学的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：它包括由键合层（８）键合为一体的上基片（５）、中基片（６）和下基片（７），上基片（５）的内侧设有左、中、右三个凹槽，上基片（５）与中基片（６）之间间隔有微管道（１６），中基片（６）上设有与上基片（５）三个凹槽相对应的左、中、右三个磁性液体工作腔（１０、１２、１４），中基片（６）与下基片（７）之间设有一层可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔（１０、１２、１４）进入左、中、右三个凹槽的弹性薄膜（１５），可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔（１０、１２、１４）的弹性薄膜（１５）内分别设有出口阀的磁性液体（９）、微致动体的磁性液体（１１）和入口阀的磁性液体（１...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘同冈，候友夫，刘书进，吴健，夏聪，王松，钱子航，刘桐，
申请(专利权)人：中国矿业大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]