一种掩膜板清洗装置及清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种掩膜板清洗装置及清洗方法，掩膜板清洗装置包括：载板结构

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板清洗装置及清洗方法


[0001]本专利技术涉及光伏电池制造装备领域，特别是涉及一种掩膜板清洗装置及清洗方法
。

技术介绍

[0002]在光伏电池制造装备领域，采用接近式曝光工艺，需要通过掩膜板筛选光线以对电池片进行图形化
。
图形化过程中，掩膜板由于长时间暴露在空气中，掩膜板表面会沉积大量灰尘，另外，图形化过程中，会有少量的胶体凝固在掩膜板表面上的有效工作区域内
。
为了保证图形化的工艺精度，图形化过程中掩膜板表面的光洁度要求较高，因此需要定时对掩膜板表面进行清洗
。
[0003]目前的掩膜板清洗装置主要存在以下问题：第一，大部分掩膜板清洗装置采用超声波协助清洗，但是超声波频率大，掩膜板在工作的过程中会出现概率性的损坏；第二，大多数掩膜板清洗装置采用单面清洗，清洗完第一个面之后，由人工或者机器进行翻面，接着清洗第二面，工序步骤多，清洗效率低，且在翻面的过程可能会造成掩膜板的损坏；第三，清洗工艺较为复杂，需要设置多路管道，导致掩膜板清洗装置结构繁琐冗余且成本高<br/>。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述掩膜板清洗装置包括：载板结构，所述载板结构用于承载待清洗的掩膜板；旋转结构，所述旋转结构包括夹爪固定结构和驱动件，所述夹爪固定结构用于夹装固定所述载板结构，所述驱动件用于带动所述载板结构做旋转运动；操作液容器，所述操作液容器存放有或用于存放清洗所述掩膜板的操作液，所述操作液包括清洗液及冲洗液，所述操作液容器包括独立设置的第一操作液容器及第二操作液容器，所述第一操作液容器存放有或用于存放清洗所述掩膜板的所述清洗液，所述第二操作液容器存放有或用于存放冲洗所述掩膜板的所述冲洗液；清洗管道；喷嘴结构，所述喷嘴结构包括第一喷嘴结构及第二喷嘴结构，所述第一喷嘴结构及所述第二喷嘴结构均包括若干个在同一平面设置的喷嘴，所述第一操作液容器分别通过所述清洗管道连接并连通所述第一喷嘴结构及所述第二喷嘴结构，和
/
或，所述第二操作液容器分别通过所述清洗管道连接并连通所述第一喷嘴结构及所述第二喷嘴结构，所述第一喷嘴结构位于所述载板结构的上方且能够向所述载板结构承载所述掩膜板的区域喷洒所述操作液，所述第二喷嘴结构位于所述载板结构的下方且能够向载板结构承载所述掩膜板的区域喷洒所述操作液
。2.
根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述掩膜板清洗装置还包括气源，存放有或用于存放吹干所述掩膜板的气体，所述气源可通过所述清洗管道与所述喷嘴结构连通，所述喷嘴结构用于向所述掩膜板喷吹来自所述气源中的所述气体，所述第一喷嘴结构向所述掩膜板上表面喷吹气体，所述第二喷嘴结构向所述掩膜板下表面喷吹气体，以吹干所述掩膜板
。3.
根据权利要求2所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述清洗管道上还设置有气体加热装置，以加热来自所述气源中的气体
。4.
根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述掩膜板清洗装置还包括过滤器，所述过滤器的进出口分别与所述操作液容器和所述喷嘴结构连通，所述过滤器用于过滤所述操作液中的杂质
。5.
根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述操作液容器与所述喷嘴结构之间设置有泵；或，所述操作液容器分别与空气压缩机及所述喷嘴结构连通
。6.
根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述载板结构包括均中部镂空设置的下载板及上载板，所述下载板的中部镂空设置形成镂空区域，所述镂空区域的四周边沿形成边缘部分，所述边缘部分的内壁上设置有限位结构，所述限位结构的表面为波浪状结...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，姚宇，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州太阳井新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：