片上自由曲面反射透镜及其形成方法技术

本公开涉及片上自由曲面反射透镜及其形成方法

【技术实现步骤摘要】
片上自由曲面反射透镜及其形成方法、光电子器件


[0001]本公开涉及微纳光电子元器件
，特别是涉及片上自由曲面反射透镜及其形成方法
、
光电子器件
。

技术介绍

[0002]随着无人驾驶
、
虚拟现实
、
增强现实等技术的快速发展，对光学传感器
、
成像设备等微型化光学元件的需求逐渐增加，出现了超透镜，实现了芯片级的微型化透镜
。
[0003]超透镜又称超构透镜，是一种二维平面透镜结构，是由超表面
(
具有亚波长厚度的平面二维超材料
)
聚焦光的光学元件制成
。
超透镜能够将光聚焦或折射，实现对光信号的检测
、
成像等功能
。
[0004]然而，在微型化光学元件的进程中，目前的超透镜聚焦效率较低并且尺寸上也不占据优势
。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对光学元件聚焦效率较低并且尺寸上也不占据优势的问题，提供一种片上自由曲面反射透镜及其形成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
用于形成片上自由曲面反射透镜的方法，其特征在于，包括：形成堆叠于衬底层的具有入射端
、
反射面及出射端的波导层，所述入射端和所述反射面沿垂直于堆叠方向的第一方向相对设置，所述反射面和所述出射端沿垂直于所述堆叠方向的第二方向相对设置，所述反射面用于将从所述入射端入射的光反射向所述出射端，其中，形成所述反射面的步骤包括：形成形状为自由曲面的所述反射面，且所述反射面用于将处在由所述第一方向和所述第二方向限定的面内的光聚焦；及形成覆盖所述波导层的上包层
。2.
根据权利要求1所述的用于形成片上自由曲面反射透镜的方法，其中，形成所述反射面的步骤包括：形成被垂直于所述堆叠方向的面截取的自由曲线，所述自由曲线包括依次连接的多个圆弧段
。3.
根据权利要求2所述的用于形成片上自由曲面反射透镜的方法，其中，由所述出射端向所述入射端，所述自由曲线的曲率半径逐渐减小；所述圆弧段的弧度相同
。4.
根据权利要求1所述的用于形成片上自由曲面反射透镜的方法，其中，形成聚光效率大于
90
％的反射面
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的用于形成片上自由曲面反射透镜的方法，其中，形成所述反射面的步骤包括：形成曲率半径不同的多个圆弧柱面，所述圆弧柱面平行于所述堆叠方向

【专利技术属性】
技术研发人员：高阳，张磊，张萌徕，焦文婷，刘玲玲，王盼，尹坤，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：