太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置

【技术实现步骤摘要】
太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置


[0001]本专利技术涉及一种太赫兹波痕量检测技术，尤其涉及一种太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置
。

技术介绍

[0002]近几十年来，太赫兹
(THz)
光谱学受到了相当大的关注，因为它的能量接近于如氢键
、
晶格振动
、
范德华力以及分子的平移和旋转能等分子间相互作用的能量
。
因此，太赫兹成为了测量分子或集合体
(
如晶体和聚合物以及蛋白质
)
的低频模式频谱的有效手段，在生物学与化学领域已经得到了广泛的应用
。
[0003]在太赫兹频率范围内对样品进行光谱测量的一种广泛应用的技术是将粉末状样品与结合介质
(
如聚乙烯粉末
)
混合，将这种混合物压片后放置在光路上
。
该技术简单且成熟，但不适用于痕量的样品和薄膜传感
。
由于太赫兹区波与分子
/
分子间振动模式之间的相互作用较低，因此检测薄膜的分子振动仍然具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：所述指纹谱传感装置基于衬底，在衬底上划设等离子体单元阵列，在等离子体单元阵列中的每个单元中密集布置十字槽晶胞
。2.
根据权利要求1所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：在等离子体单元中，密集布置的十字槽晶胞构成十字槽晶胞互补阵列
。3.
根据权利要求2所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：等离子体单元阵列中等离子体单元的十字槽晶胞的单位长度依据对角单向递变的形式来设置
。4.
根据权利要求3所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：所述对角单向递变为对角递减或对角递增
。5.
根据权利要求3所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：在等离子体单元阵列中，各个等离子体单元中的十字槽晶胞的单位长度在
47
μ
m
至
104
μ
m
的范围内均匀离散设置
。6.
根据权利要求1所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：所述等离子体单元阵列为6×6的阵列
。7.
根据权利要求1所述太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置，其特征在于：在等离子体单元阵列中，每个等离子体单元均是正方形的，其边长为
5mm
，每个等离子体单...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕嘉明，陈麟，朱亦鸣，庄松林，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：