一种铝合金背板的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种铝合金背板的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：

【技术实现步骤摘要】
一种铝合金背板的制备方法


[0001]本专利技术涉及靶材组件制备
，具体涉及一种铝合金背板的制备方法
。

技术介绍

[0002]靶材作为一种镀膜材料，广泛用于液晶显示器面板
、
大规模集成电路及光盘产业等领域
。
靶材的种类较多，包括纯金属靶材
、
合金靶材
、
无机非金属靶材以及复合靶材
。
而背板则是用于支承溅射中使用的溅射靶并将溅射靶固定于溅射装置的构件，在磁控溅射镀膜过程中，靶材必须同时承受背面冷却水和正面的真空负压，因此，背板的强度尤其重要
。
另外，靶材背板同时承担导电的作用，因此对背板具有较高的强度和导电要求
。
[0003]CN 111644738A
公开了一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空
、
脱气及热等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种铝合金背板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)
将铝合金圆铸锭进行预热处理，得到预热铸锭；
(2)
对步骤
(1)
所得预热铸锭进行锻打处理，然后依次进行第一拔长处理
、
第一墩粗处理
、
第二拔长处理以及第二墩粗处理，得到背板坯料；
(3)
将步骤
(2)
所得背板坯料依次进行热轧处理与热处理，得到所述铝合金背板
。2.
根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤
(1)
所述预热处理的温度为
400
‑
450℃
；优选地，步骤
(1)
所述预热处理的时间为
15
‑
30min。3.
根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤
(2)
所述锻打处理采用空气锤进行；优选地，步骤
(2)
所述锻打处理至预热铸锭呈长方体状；优选地，所述呈长方体状预热铸锭的高度为
300
‑
350mm
，宽度为
300
‑
350mm
，厚度为
80
‑
120mm。4.
根据权利要求1‑3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤
(2)
所述第一拔长处理至预热铸锭原始高度的
300
‑
350
％；优选地，步骤
(2)
所述第一墩粗处理至第一拔长处理所得高度的
50
‑
70
％；优选地，步骤
(2)
所述第二拔长处理至第一墩粗处理所得高度的
150
‑
200
％；优选地，步骤
(2)
所述第二墩粗处理至第二拔长处理所得高度的
20
‑
30
％；优选地，步骤
(2)
所述第二墩粗处理之后进行水冷却处理
。5.
根据权利要求1‑4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤
(3)
所述热轧处理的温度为
390
‑
410℃
；优选地，步骤
(3)
所述热轧处理的时间为
15
‑
30min。6.
根据权利要求1‑5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤
(3)
所述热轧处理的总变形量为
25
‑
35
％；优选地，步骤
(3)
所述热轧处理中每道次下压量为3‑
5mm。7.
根据权利要求1‑6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤
(3)
所述热处理包括依次进行的第一热处理与第二热处理
。8.
根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，周敏，陈勇军，周友平，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：