半导体元件制造技术

技术编号:39723404 阅读:17 留言:0更新日期:2023-12-17 23:28
本公开提供一种具有光栅结构的半导体元件。该半导体元件包括一第一目标,位于一第一层上且包括根据一第一节距与彼此平均地隔开的多个线部件;以及一第二目标,位于一第二层上且包括根据一第二节距与彼此平均地隔开的多个线部件。该第一层与该第二层不同。该第一目标与该第二目标彼此不重叠。该第一目标被配置以在被一透镜照亮时产生一干涉图案,该透镜包括配置于其上的一光栅。该第二目标被配置以在被该透镜照亮时产生一干涉图案,该透镜包括配置于其上的该光栅。配置于其上的该光栅。配置于其上的该光栅。

【技术实现步骤摘要】
半导体元件


[0001]本申请案主张美国第17/837,051及17/837,712号专利申请案的优先权(即优先权日为“2022年6月10日”),其内容以全文引用的方式并入本文中。
[0002]本公开是关于一种半导体元件。特别是关于一种具有光栅结构的半导体元件。

技术介绍

[0003]半导体元件已运用在各种电子应用上,像是个人电脑、手机、数码相机、以及其他的电子设备。半导体元件的尺寸不断微缩化,以满足对不断增长的计算能力的需求。但是,在微缩化的制程期间会出现各种问题,而且这些问题的频率和影响不断增加。因此,在提高品质、产率、性能、和可靠性以及降低复杂度方面仍然存在挑战。
[0004]上文的“先前技术”说明仅是提供
技术介绍
,并未承认上文的“先前技术”说明揭示本公开的标的,不形成本公开的先前技术,且上文的“先前技术”的任何说明均不应作为本案的任一部分。

技术实现思路

[0005]本公开的一方面提供一种半导体元件,包括一第一目标,位于一第一层上且包括根据一第一节距与彼此平均地隔开的多个线部件;以及一第二目标,位于一第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体元件,包括:一第一目标,位于一第一层上且包括根据一第一节距与彼此平均地隔开的多个线部件;以及一第二目标,位于一第二层上且包括根据一第二节距与彼此平均地隔开的多个线部件;其中该第一层与该第二层不同;其中该第一目标与该第二目标彼此不重叠;其中该第一目标被配置以在被一透镜照亮时产生一干涉图案,该透镜包括配置于其上的一光栅;其中该第二目标被配置以在被该透镜照亮时产生一干涉图案,该透镜包括配置于其上的该光栅。2.如权利要求1所述的半导体元件,其中该第一节距与该第二节距相同。3.如权利要求2所述的半导体元件,其中该第一节距与配置于该透镜上的该光栅的一节距不同。4.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:魏均谚
申请(专利权)人:南亚科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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