高流速制造技术

在一些实施方式中，一种设备前端模块

【技术实现步骤摘要】
高流速、气体净化的侧储存舱装置、组件和方法
[0001]本申请是申请日为
2019
年
10
月
23
日
、
申请号为
201980070450.9、
专利技术名称为“高流速
、
气体净化的侧储存舱装置
、
组件和方法”的专利技术专利申请的分案申请
。


[0002]本申请涉及电子器件制造，并且更具体地涉及设备前端模块
(EFEM)
的侧储存舱装置
、
包括侧储存舱装置的
EFEM
组件
、
和方法
。
[0003]背景
[0004]在多个工艺工具中实现半导体部件制造中的基板的处理，其中基板在基板载具
(
例如前开式晶片标准舱或
FOUP)
中在工艺工具之间行进
。FOUP
可以对接到
EFEM
的前壁，所述
EFEM
包括装载
/
卸载机器人，所述装载
/
卸载机器人可操作来在相应的
FOUP
与一个或多个目的地
(
例如耦接到
EFEM
的与前壁相对的后壁的装载锁定或工艺腔室
)
之间传输基板
。
为了在传递通过
EFEM
的同时保护基板免于污染
/
腐蚀的影响，可以控制
EFEM
>内的环境，例如通过在所述环境中注入适量的非反应性气体
(
例如
N2)
来控制
。
在一些情况下，
EFEM
包括侧储存舱装置，所述侧储存舱装置耦接到所述
EFEM
的侧壁，所述侧储存舱装置用来储存在处理腔室中处理之后返回
(
例如可能用于冷却
)
的基板
。
然而，在一些情况下，现有的
EFEM
和
EFEM
的侧储存舱装置受到某些限制
。
[0005]概述
[0006]在一些实施方式中，提供设备前端模块的侧储存舱装置
。
所述侧储存舱装置可以包括：侧储存包壳，具有表面和开口，所述表面被配置为耦接到所述设备前端模块的设备前端模块主体的侧壁，所述开口被配置为接收来自所述设备前端模块的基板
。
所述侧储存包壳内的侧储存腔室可以包括：复数个支撑构件，被配置为在支撑在所述复数个支撑构件上的基板；充气增压腔室，贴近所述侧储存腔室提供所述充气增压腔室，所述充气增压腔室是与所述侧储存腔室分离的腔室；和排放端口，耦接到所述充气增压腔室
。
排放的气可以从所述侧储存舱装置移除并且不再循环
(recirculate)
到
EFEM
的
EFEM
腔室
。
[0007]在一些实施方式中，提供设备前端模块
。
所述设备前端模块可以包括：设备前端模块主体；和侧储存舱装置，耦接到所述设备前端模块主体的侧壁
。
所述侧储存舱装置可以包括：侧储存包壳，具有表面，所述表面被配置为耦接到所述设备前端主体的侧壁；侧储存舱腔室，位于所述包壳内并且具有复数个竖直隔开的储存构件，每个储存构件各自被配置为支撑基板；充气增压腔室，位于所述包壳内并且包括与所述侧储存舱腔室分离的腔室；挡板，被配置为将所述充气增压腔室与所述侧储存舱腔室分离；和排放端口，耦接到所述充气增压腔室
。
[0008]在一些实施方式中，提供电子器件处理组件
。
所述电子器件处理组件包括设备前端模块
。
所述设备前端模块可以包括：设备前端模块主体，形成设备前端模块腔室；一个或多个装载端口，耦接到所述设备前端模块主体的前壁，每个装载端口均被配置为在所述装载端口处对接基板载具；和侧储存舱装置，耦接到所述设备前端模块主体的侧壁
。
所述侧储存舱装置可以包括：侧储存包壳，限定侧储存舱腔室的腔室壁，并且具有密封表面，所述密
封表面被配置为耦接到所述设备前端模块主体
。
这些腔室壁可以包括：复数个竖直隔开的支撑构件，被配置为在支撑在所述复数个竖直隔开的支撑构件上的基板；充气增压腔室，位于所述侧储存包壳内并且具有与所述侧储存舱腔室分离的腔室；挡板，被配置为将所述充气增压腔室与所述侧储存舱腔室分离；排放端口；排放导管，耦接到所述排放端口；和辅助通风机，耦接到所述排放端口或所述排放导管
。
[0009]在一些实施方式中，提供例如在具有侧储存舱装置的
EFEM
内处理基板的方法
。
所述方法可以包括以下步骤：提供设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块主体和设备前端模块腔室
。
所述设备前端模块可以包括：一个或多个装载端口，耦接到所述设备前端模块主体的前壁，每个装载端口均被配置为对接基板载具；和侧储存舱装置，耦接到所述设备前端模块主体的侧壁
。
所述方法可进一步包括以下步骤：在所述侧储存舱中提供侧储存舱腔室和充气增压腔室和排放端口，所述侧储存舱腔室与所述充气增压腔室由挡板分离，所述排放端口耦接到所述充气增压腔室
。
所述方法可进一步包括以下步骤：使净化气体跨储存在所述设备前端模块腔室中的基板流动
、
流动通过所述挡板并且进入所述充气增压腔室
。
所述方法可进一步包括以下步骤：从所述充气增压腔室通过所述排放端口排放所述净化气体
。
[0010]依据本公开内容的这些和其他的实施方式提供许多其他方面和特征
。
根据以下的详细说明
、
权利要求和附图，本公开内容的实施方式的其他特征和方面将变得完全清楚
。
[0011]附图简要说明
[0012]下述的附图仅用于说明的目的，并且不一定是依照比例绘制的
。
这些附图不意欲以任何方式限制本公开内容的范围
。
[0013]图1图示依据本公开内容的包括
EFEM
的电子器件处理组件的示意性俯视图，所述
EFEM
包括耦接到
EFEM
主体的侧壁的侧储存舱装置
。
[0014]图
2A
图示依据本公开内容的一个或多个实施方式的侧储存舱装置的底部的横截面侧视图
。
[0015]图
2B
图示依据本公开内容的一个或多个实施方式的分离构件的主视平面图，所述分离构件包括侧储存舱装置的挡板
。
[0016]图
2C
图示依据本公开内容的一个或多个实施方式的侧储存舱装置的排放装置的横截面部分后视图
。
[0017]图...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种设备前端模块的侧储存舱装置，所述侧储存舱装置包括：侧储存包壳，具有端表面和开口，所述端表面被配置为通过环绕所述开口的密封构件来耦接到所述设备前端模块的主体的侧壁，所述开口被配置为接收来自所述设备前端模块的基板；侧储存腔室，位于所述侧储存包壳内并且具有复数个支撑构件，所述复数个支撑构件被配置为在所述复数个支撑构件上支撑基板；充气增压腔室，贴近所述侧储存腔室提供所述充气增压腔室，所述充气增压腔室是与所述侧储存腔室分离的腔室，其中所述侧储存腔室和所述充气增压腔室由挡板分离；保持包壳，环绕所述侧储存包壳和所述充气增压腔室，所述保持包壳耦接并且密封到所述设备前端模块的所述主体的所述侧壁；和排放端口，耦接到所述充气增压腔室
。2.
如权利要求1所述的侧储存舱装置，其中所述充气增压腔室定位在所述侧储存包壳的与所述开口相对的一侧
。3.
如权利要求1所述的侧储存舱装置，其中所述挡板被适配为带来通过所述侧储存腔室的大体上的气体流均匀性
。4.
如权利要求1所述的侧储存舱装置，进一步包括通过所述挡板形成的一系列的流动通路
。5.
如权利要求4所述的侧储存舱装置，其中所述一系列的流动通路中的至少一些流动通路具有不同的横截面积
。6.
如权利要求4所述的侧储存舱装置，其中所述一系列的流动通路包括定位在所述挡板的一个竖直部分处的一组较大的流动通路和定位在所述挡板的另一个竖直部分处的一组较小的流动通路
。7.
如权利要求6所述的侧储存舱装置，其中所述一组较大的流动通路是以下情况中的至少一种：朝向所述挡板的一端定位，或竖直地背向所述排放端口定位
。8.
如权利要求1所述的侧储存舱装置，其中所述排放端口耦接到所述充气增压腔室的底部
。9.
如权利要求1所述的侧储存舱装置，其中所述挡板包括具有不同横截面积的通过所述挡板的一系列的流动通路，所述一系列的流动通路包括贴近所述充气增压腔室的顶端定位的一组较大的流动通路和贴近所述充气增压腔室的底端定位的一组较小的流动通路
。10.
如权利要求9所述的侧储存舱装置，进一步包括：排放导管，耦接到所述排放端口，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：