一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备制造技术

本发明专利技术公开了一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，包括箱体，箱门，

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备


[0001]本专利技术涉及退火脱氧
，具体为一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备
。

技术介绍

[0002]目前基板在进行加工的过程中需要对其进行退火工序，退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却
。
目的是降低硬度，改善切削加工性；降低残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷
。
准确地说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料
、
非金属材料
。
而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同
。
[0003]目前基板加工的腔室内部可能会存在氧气，当设备通过激光对基板表面进行退火加工时，此时氧气对基板表面进行氧化，从而会降低基板的质量或者改变其性质，进而导致基板质量出现问题
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，包括箱体，箱门，铰接于所述箱体一端，且所述箱门表面固定安装有观察窗，
X
移动导轨，固定安装于所述箱体内壁，且所述
X
移动导轨顶部固定安装有
Y
移动导轨，放置块，固定安装于所述
Y
移动导轨顶部，激光加工装置，固定安装于所述箱体顶部内壁，所述箱体一端固定连接有储气箱，所述储气箱一端固定连接有出气管，所述箱体一端固定连接有进气管，所述进气管外壁固定安装有吸气泵，所述箱体顶部设有脱氧箱，所述脱氧箱内部转动连接有第一转轴，所述第一转轴外壁固定连接有叶轮，所述第一转轴外壁固定连接有小齿轮，所述脱氧箱内部转动连接有第二转轴，所述第二转轴外壁固定连接有大齿轮，所述脱氧箱内部设有脱氧层，所述脱氧层外壁固定连接有固定块，所述脱氧层通过固定块与脱氧箱固定连接
。
[0006]进一步的，所述
Y
移动导轨顶部设有集气箱，所述集气箱外壁等距固定安装有多个喷头，所述集气箱两端对称固定连接有两个支撑杆，所述集气箱通过支撑杆与
Y
移动导轨固定连接，所述出气管一端固定连接有软管，所述软管与集气箱固定连接，所述软管与集气箱相连通，所述出气管外壁固定安装有阀门，通过软管使得
X
移动导轨与
Y
移动导轨带动放置块顶部的基板移动时，此时软管能够正常与集气箱进行连通，从而使得喷头能够一直对准基板，从而保证除氧的质量
。
[0007]进一步的，所述进气管另一端与脱氧箱固定连接，所述进气管另一端朝向叶轮，所述脱氧箱远离进气管的一端固定连接有连通管，所述连通管另一端与储气箱固定连接，所述储气箱内部填充有惰性气体，所述连通管外壁固定安装有单向进气阀，通过将进气管朝
向叶轮，使得吸气泵在通过进气管回收惰性气体的过程中，此时能够不消耗额外能源带动叶轮进行旋转，从而减少后续能源的消耗
。
[0008]进一步的，所述固定块内部开设有第一通槽，所述固定块内部开设有第一安装槽，所述第一通槽与第一安装槽相连通，所述第一安装槽内部设有挡板，所述挡板表面开设有第二通槽，所述大齿轮底部固定连接有挤压块，所述挡板一端贯穿且延伸至第一安装槽外部，所述挡板一端为弧形，所述挤压块与挡板相适配，当叶轮旋转带动小齿轮以及大齿轮进行旋转时，此时大齿轮能够通过带动挤压块挤压挡板，从而使得挡板移动，进而使得挡板不再阻挡第一通槽，进而能够对脱氧层内部的吸氧剂进行更换
。
[0009]进一步的，所述挡板外壁对称固定连接有两个第一滑块，所述固定块内部开设有与第一滑块相适配的第一滑槽，所述挡板通过第一滑块与第一滑槽滑动连接，所述第一安装槽内部固定连接有弹簧，所述弹簧另一端与挡板固定连接，当挤压块随着大齿轮旋转不再挤压挡板时，此时弹簧不再受到压力开始回弹，此时弹簧回弹带动挡板进行复位，从而使得挡板再次堵塞第一通槽，从而防止吸氧机漏出
。
[0010]进一步的，所述脱氧箱顶部固定连接有储料箱，所述储料箱内部设有脱氧剂，所述储料箱底部中心固定连接有出料管，所述出料管底部贯穿且延伸至脱氧层内部，所述储料箱通过出料管与脱氧层相连通，当脱氧层内部的脱氧剂减少时，此时储料箱内部的脱氧剂能够在重力的作用下通过出料管自动添加进入脱氧层内部，进而减少工作人员更换脱氧剂的负担
。
[0011]进一步的，所述脱氧箱底部对称固定连接有两个第一支撑块，所述脱氧箱通过第一支撑块与箱体固定连接，所述脱氧箱底部滑动连接有回收箱，所述脱氧箱底部表面开设有与第二通槽相连通的第三通槽，通过回收箱能够对脱氧剂进行集中回收，从而减少工作人员收集脱氧剂的负担
。
[0012]进一步的，所述集气箱顶部固定连接有安装箱，所述安装箱内部开设有第二安装槽，所述安装箱顶部转动连接有转盘，所述转盘底部贯穿且延伸至安装箱内部，所述转盘底部固定连接有第一锥齿轮，所述第二安装槽内部对称转动连接有两个第三转轴，所述第三转轴外壁固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮外壁啮合有链条，所述集气箱内部对称转动连接有两个滚珠丝杆，所述滚珠丝杆外壁固定连接有第二齿轮，所述滚珠丝杆外部套设有相适配的丝杆螺母滑块，所述丝杆螺母滑块远离第二齿轮的一端固定连接有橡胶塞，通过调节橡胶塞的位置能够改变喷气喷头的数量，进而使得工作人员能够根据基板的大小对喷气喷头的数量进行调节，从而保证惰性气体的集中性，从而保证除氧的质量
。
[0013]进一步的，两个所述第三转轴靠近第一锥齿轮的一端均固定连接有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，两个所述第三转轴外壁均转动连接有第二支撑块，所述第二支撑块与安装箱固定连接，所述链条贯穿且延伸至集气箱内部，所述第一齿轮通过链条与第二齿轮传动连接，通过第一锥齿轮
、
第二锥齿轮
、
第一齿轮
、
链条以及第二齿轮之间的传动连接，使得工作人员通过旋转转盘时能够同时带动两个橡胶塞同时移动，从而方便工作人员调节橡胶塞的位置
。
[0014]进一步的，所述丝杆螺母滑块一端对称固定连接有两个延长杆，所述丝杆螺母滑块通过延长杆与橡胶塞固定连接，所述橡胶塞外壁尺寸与集气箱内部尺寸相适配，所述丝杆螺母滑块与集气箱滑动连接，通过丝杆螺母滑块
、
延长杆以及橡胶塞之间的配合使用，使
得丝杆螺母滑块在移动的过程中，橡胶塞能够同时进行平稳的移动，从而使得工作人员能够通过调节丝杆螺母滑块的位置调节橡胶塞，从而方便橡胶塞堵塞喷头
。
[0015]与现有技术相比，本专利技术所达到的有益效果是：
[0016]1、
本专利技术通过叶轮
、
挡板
、
挤压块以及弹簧的配合使用，首先通过脱氧剂能够对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，包括箱体
(1)
；箱门
(2)
，铰接于所述箱体
(1)
一端，且所述箱门
(2)
表面固定安装有观察窗；
X
移动导轨
(3)
，固定安装于所述箱体
(1)
内壁，且所述
X
移动导轨
(3)
顶部固定安装有
Y
移动导轨
(4)
；放置块
(5)
，固定安装于所述
Y
移动导轨
(4)
顶部；激光加工装置
(6)
，固定安装于所述箱体
(1)
顶部内壁；其特征在于：所述箱体
(1)
一端固定连接有储气箱
(7)
，所述储气箱
(7)
一端固定连接有出气管
(8)
，所述箱体
(1)
一端固定连接有进气管
(9)
，所述进气管
(9)
外壁固定安装有吸气泵
(10)
，所述箱体
(1)
顶部设有脱氧箱
(11)
，所述脱氧箱
(11)
内部转动连接有第一转轴
(12)
，所述第一转轴
(12)
外壁固定连接有叶轮
(13)
，所述第一转轴
(12)
外壁固定连接有小齿轮
(14)
，所述脱氧箱
(11)
内部转动连接有第二转轴
(15)
，所述第二转轴
(15)
外壁固定连接有大齿轮
(16)
，所述脱氧箱
(11)
内部设有脱氧层
(17)
，所述脱氧层
(17)
外壁固定连接有固定块
(18)
，所述脱氧层
(17)
通过固定块
(18)
与脱氧箱
(11)
固定连接
。2.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，其特征在于：所述
Y
移动导轨
(4)
顶部设有集气箱
(19)
，所述集气箱
(19)
外壁等距固定安装有多个喷头
(20)
，所述集气箱
(19)
两端对称固定连接有两个支撑杆
(21)
，所述集气箱
(19)
通过支撑杆
(21)
与
Y
移动导轨
(4)
固定连接，所述出气管
(8)
一端固定连接有软管
(22)
，所述软管
(22)
与集气箱
(19)
固定连接，所述软管
(22)
与集气箱
(19)
相连通，所述出气管
(8)
外壁固定安装有阀门
(23)。3.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，其特征在于：所述进气管
(9)
另一端与脱氧箱
(11)
固定连接，所述进气管
(9)
另一端朝向叶轮
(13)
，所述脱氧箱
(11)
远离进气管
(9)
的一端固定连接有连通管
(24)
，所述连通管
(24)
另一端与储气箱
(7)
固定连接，所述储气箱
(7)
内部填充有惰性气体，所述连通管
(24)
外壁固定安装有单向进气阀
(25)。4.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备，其特征在于：所述固定块
(18)
内部开设有第一通槽
(26)
，所述固定块
(18)
内部开设有第一安装槽
(27)
，所述第一通槽
(26)
与第一安装槽
(27)
相连通，所述第一安装槽
(27)
内部设有挡板
(28)
，所述挡板
(28)
表面开设有第二通槽
(29)
，所述大齿轮
(16)
底部固定连接有挤压块
(30)
，所述挡板
(28)
一端贯穿且延伸至第一安装槽
(27)
外部，所述挡板
(28)
一端为弧形，所述挤压块
(30)
与挡板
(28)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱汪龙，朱玲，李磊，李耘，
申请(专利权)人：江苏先进技电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：