烘干槽及烘干系统技术方案

本实用新型专利技术实施例提供了一种烘干槽及烘干系统。该烘干槽包括槽体以及风机，风机具有进风口以及出风口，槽体具有容纳腔，容纳腔用于容纳待烘干件，槽体的槽壁上设置有安装孔，且安装孔与容纳腔连通，风机安装于安装孔，且进风口朝向容纳腔，槽体的槽壁上还设置有吹风口，且吹风口与容纳腔连通，出风口与吹风口连通，风机用于吸收容纳腔中的气体，将气体导入至吹风口，以使气体重新进入容纳腔，对待烘干件进行吹拂。件进行吹拂。件进行吹拂。

【技术实现步骤摘要】
烘干槽及烘干系统


[0001]本技术涉及硅片烘干
，具体涉及一种烘干槽及烘干系统。

技术介绍

[0002]硅片在进行制绒、水洗后，硅片表面带有液滴，需要先将硅片装在花篮中，再将装有硅片的花篮放置在烘干槽中进行烘干，确保硅片及花篮无水滴携带，以使硅片可以进行下一步的工艺。
[0003]相关技术中，烘干槽上设置有出风孔与进风孔，热风通过进风口进入烘干槽内部，并对烘干槽内的硅片进行吹拂，热风吹拂硅片后再通过出风孔从烘干槽中流出。进入烘干槽的热风进入烘干槽后即从吹风孔流出，很有可能出现气体从烘干槽中流出时温度仍然较高，没有被完全利用的问题，对硅片的烘干效果较差，气体从烘干槽中流出后需要再向烘干槽中导入新的热气对硅片进行烘干，使得烘干时间较长。
[0004]因此，相关技术中烘干槽中的热风利用率较差，烘干槽对硅片的烘干效果较差，使得其对硅片的烘干时间较长的问题出现。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供了一种烘干槽及烘干系统，以解决相关技术中的烘干槽的烘干效果差，烘干时间长问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
[0007]第一方面，本技术实施例提供了一种烘干槽，所述烘干槽包括槽体以及风机，所述风机具有进风口以及出风口，所述槽体具有容纳腔，所述容纳腔用于容纳待烘干件，所述槽体的槽壁上设置有安装孔，且所述安装孔与所述容纳腔连通，所述风机安装于所述安装孔，且所述进风口朝向所述容纳腔，所述槽体的槽壁上还设置有吹风口，且所述吹风口与所述容纳腔连通，所述出风口与所述吹风口连通，所述风机用于吸收所述容纳腔中的气体，将所述气体导入至所述吹风口，以使所述气体重新进入容纳腔，对所述待烘干件进行吹拂。
[0008]可选的，所述槽体包括槽底、第一侧壁以及第二侧壁，所述槽底具有安装面，所述第一侧壁与所述第二侧壁均连接于所述安装面，且所述第一侧壁与所述第二侧壁相对设置，所述第一侧壁与所述第二侧壁之间具有间隙，所述槽底、所述第一侧壁以及所述第二侧壁为所述槽体的槽壁，所述安装面、所述第一侧壁朝向所述第二侧壁的表面以及所述第二侧壁朝向所述第一侧壁的表面为所述容纳腔的腔壁，所述安装孔设置于所述槽底，所述吹风口设置于所述第一侧壁和/或所述第二侧壁。
[0009]可选的，所述烘干槽还包括第一过滤器，所述第一过滤器设置于所述槽体的槽壁，且与所述吹风口连通，所述第一过滤器的第一端与所述出风口连通，所述第一过滤器的第二端与所述吹风口连通，所述第一过滤器用于对所述风机导入所述容纳腔的气体进行过滤。
[0010]可选的，所述烘干槽还包括调节件，所述调节件安装于所述容纳腔的腔壁，所述调
节件设置有通风孔，所述通风孔与所述吹风口的位置相对，在所述容纳腔的腔壁所在的平面上，所述吹风口的投影位于所述通风孔的投影内，所述通风孔的孔壁上设置有多个间隔分布的导向条，且所述导向条相对所述通风孔的孔壁可活动，以使所述导向条与通风孔的孔壁之间的角度可调，所述调节件用于调节所述吹风口导出的气体的流向。
[0011]可选的，所述烘干槽还包括匀流板，所述匀流板连接于所述容纳腔的腔壁，且与所述吹风口位置相对，所述匀流板上间隔设置有多个通孔，在所述槽体的槽壁所在的平面上，所述通孔的投影位于所述吹风口的投影内部，所述匀流板用于使得通过所述第一侧板上的吹风口的气体均匀进入所述容纳腔。
[0012]可选的，所述烘干槽还包括加热件，所述加热件安装于所述槽体的槽壁，所述加热件用于对容纳腔进行加热；
[0013]所述烘干槽还包括检测单元以及控制单元，所述检测单元与所述控制单元电连接，所述控制单元与所述加热件电连接，所述检测单元用于检测所述容纳腔的温度，所述控制单元用于根据所述容纳腔的温度控制所述加热件开启或关闭；
[0014]在所述容纳腔的温度大于预设温度的情况下，所述控制单元控制所述加热件关闭，在所述容纳腔的温度小于预设温度的情况下，所述控制单元控制所述加热件开启。
[0015]可选的，所述槽体为非金属件。
[0016]可选的，所述槽体包括第一槽体以及第二槽体，所述第一槽体位于所述第二槽体内部，且与所述第二槽体连接，所述第一槽体与所述第二槽体之间具有空隙，所述第一槽体的内部空间形成所述容纳腔，所述第一槽体的槽壁形成所述槽体的槽壁，所述风机的出风口位于所述空隙中，所述空隙用于将所述风机的出风口流出的气体导入至所述吹风口。
[0017]第二方面，本技术实施例还提供了一种烘干系统，所述烘干系统包括风泵、加热器以及上述第一方面中任一所述的烘干槽，所述风泵与所述加热器的第一端连接，所述加热器第二端与所述容纳腔连接，所述风泵用于向所述加热器导入气体，所述加热器用于加热所述气体，以使加热后的气体进入所述容纳腔。
[0018]可选的，所述烘干系统还包括第二过滤器，所述第二过滤器的一端连接于所述加热器，所述第二过滤器的另一端连接于所述容纳腔，所述第二过滤器用于对加热后的气体进行过滤。
[0019]在本技术实施例中，烘干槽包括槽体以及风机，槽体具有容纳腔，可以将待烘干件置于容纳腔中，以使烘干槽可以对带烘干件进行烘干。槽体的槽壁上设置有安装孔，风机安装于安装孔中，由于安装孔与容纳腔连通，且风机的进风口朝向容纳腔，因此，风机可以吸取容纳腔中的气体，并使得气体可以从风机的出风口流出。槽体的槽壁上还设置有吹风口，由于吹风口与容纳腔连通，且吹风口还与出风口连通，因此风机出风口的气体可以通过吹风口进入容纳腔中，以对容纳腔中的待烘干件进行吹拂。也即是，风机可以从容纳腔中吸收气体，并将气体再次导入容纳腔中对待烘干件进行吹拂，使得气体可以重新进入容纳腔对硅片进行吹拂，可以实现容纳腔中的气体的循环，从而烘干槽可以较好的利用容纳腔中的气体对待烘干件进行烘干，风机的设置还可以加速烘干槽中气体流动，可以使得烘干槽对待烘干件的烘干效果较好，进而可以缩短烘干时间。
附图说明
[0020]图1表示本技术实施例提供的一种烘干槽的示意图；
[0021]图2表示本技术实施例提供的一种烘干系统的示意图。
[0022]附图标记：
[0023]100：烘干槽；10：槽体；20：风机；11：容纳腔；12：安装孔；13：槽底；14：第一侧壁；15：第二侧壁；30：第一过滤器；16：第一槽体；17：第二槽体；200：烘干系统；201：风泵；202：加热器；203：第二过滤器。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本技术的至少一个实施例中。因此，在整个说明书本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干槽，其特征在于，所述烘干槽包括槽体以及风机，所述风机具有进风口以及出风口，所述槽体具有容纳腔，所述容纳腔用于容纳待烘干件，所述槽体的槽壁上设置有安装孔，且所述安装孔与所述容纳腔连通，所述风机安装于所述安装孔，且所述进风口朝向所述容纳腔，所述槽体的槽壁上还设置有吹风口，且所述吹风口与所述容纳腔连通，所述出风口与所述吹风口连通，所述风机用于吸收所述容纳腔中的气体，将所述气体导入至所述吹风口，以使所述气体重新进入容纳腔，对所述待烘干件进行吹拂。2.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述槽体包括槽底、第一侧壁以及第二侧壁，所述槽底具有安装面，所述第一侧壁与所述第二侧壁均连接于所述安装面，且所述第一侧壁与所述第二侧壁相对设置，所述第一侧壁与所述第二侧壁之间具有间隙，所述槽底、所述第一侧壁以及所述第二侧壁为所述槽体的槽壁，所述安装面、所述第一侧壁朝向所述第二侧壁的表面以及所述第二侧壁朝向所述第一侧壁的表面为所述容纳腔的腔壁，所述安装孔设置于所述槽底，所述吹风口设置于所述第一侧壁和/或所述第二侧壁。3.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述烘干槽还包括第一过滤器，所述第一过滤器设置于所述槽体的槽壁，且与所述吹风口连通，所述第一过滤器的第一端与所述出风口连通，所述第一过滤器的第二端与所述吹风口连通，所述第一过滤器用于对所述风机导入所述容纳腔的气体进行过滤。4.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述烘干槽还包括调节件，所述调节件安装于所述容纳腔的腔壁，所述调节件设置有通风孔，所述通风孔与所述吹风口的位置相对，在所述容纳腔的腔壁所在的平面上，所述吹风口的投影位于所述通风孔的投影内，所述通风孔的孔壁上设置有多个间隔分布的导向条，且所述导向条相对所述通风孔的孔壁可活动，以使所述导向条与通风孔的孔壁之间的角度可调，所述调节件用于调节所述吹风口导出的气体的流向。5.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述烘干...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭鑫，蔡伦，龚瑞卿，党颖，
申请(专利权)人：一道新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：