合并装置和光学系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种合并装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】合并装置和光学系统


[0001]本专利技术涉及一种合并装置，该合并装置包括：供各一个输入光束入射的至少两个输入端以及供各一个输出光束出射的一个或多个输出端，其中，合并装置构造为通过输入光束中的两个输入光束的相干合并
(Kombination)
形成各一个
(
或各个
)
输出光束
。

技术介绍

[0002]通常相互相干的输入光束以及在相干合并中形成的一个或多个输出光束典型地是激光束
。
在此所描述的合并装置优选地构造为将输入光束共线地叠加，其中，特别地，可以进行全等叠加以形成相应的输出光束
。
[0003]激光辐射与要加工的物体
(
工件
、
目标
、
基底等
)
的相互作用取决于大量的激光参数，例如波长
、
强度或功率
、
脉冲持续时间
、
重复率
、
脉冲形状
、
或比如光束形状等其他参数r/>。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种合并装置
(3)
，包括：至少两个输入端
(E1，
E2，
……
)
，所述至少两个输入端用于各一个输入光束
(1.1
，
1.2
，
……
)
的入射，以及一个或多个输出端
(A1，
A2，
……
)
，所述一个或多个输出端用于各一个输出光束
(2.1
，
2.2
，
……
)
的出射，其中，所述合并装置
(3)
构造为用于，通过所述输入光束
(1.1
，
1.2
，
……
)
中的两个输入光束的相干合并形成各一个输出光束
(2.1
，
2.2
，
……
)
，其特征在于，所述合并装置
(3)
构造为基于所述两个输入光束
(1.1
，
1.2
，
……
)
的各个相位的相对相位位置设置相应的输出光束
(2.1
，
2.2
，
……
)
的偏振态
、
特别是偏振方向
(R)
，由所述两个输入光束通过相干合并形成所述相应的输出光束
(2.1
，
2.2
，
……
)。2.
根据权利要求1所述的合并装置，所述合并装置确切地具有两个输入端
(E1，
E2)
和一个输出端
(A1)
，其中，所述合并装置包括偏振分束器
(4)
以及相移元件
、
特别是
λ
/4
延迟装置
(5)
，所述偏振分束器用于将在所述输入端
(E1，
E2)
处入射的所述两个输入光束
(1.1
，
1.2)
相干地合并成所述输出光束
(2.1)
，所述相移元件在光束路径中布置在所述偏振分束器
(4)
后方
、
用于产生所述输出光束
(2.1)
的线性偏振
。3.
根据权利要求1所述的合并装置，所述合并装置确切地具有两个输入端
(E1，
E2)
和一个输出端
(A1)
，其中，所述合并装置包括干涉仪
、
特别是马赫
‑
曾德尔干涉仪
(9)
，所述干涉仪具有用于传播第一部分光束
(Ta)
的第一光束通道
(12a)
和用于传播第二部分光束
(Tb)
的第二光束通道
(12b)
，其中，所述干涉仪
(9)
具有分束元件
(10)、
合并元件
(11)、
以及优选地至少一个偏振影响装置
(13)
，所述分束元件用于将所述两个输入光束
(1.1
，
1.2)
分束成两个部分光束
(Ta
，
Tb)
，所述合并元件用于将所述两个部分光束
(Ta
，
Tb)
相干地合并成所述输出光束
(2.1)
，所述至少一个偏振影响装置用于特别是以固定预给定的方式影响所述部分光束
(Ta
，
Tb)
中的至少一个部分光束的偏振态
、
特别是偏振方向
(R1
，
R2)。4.
根据权利要求1所述的合并装置，所述合并装置具有多于两个的输入端
(E1，
……
，
E
2N
；
E1，
……
，
E
N
)
和多于一个的输出端
(A1，
……
，
A
N
)
并且构造为用于，通过在这些多于两个的输入端
(E1，
……
，
E
2N
；
E1，
……
，
E
N
)
处入射的所述输入光束
(1.1
，
……
，
1.N)
中的各两个输入光束的相干合并形成在输出端
(A1，
……
，
A
N
)
处出射的相应的输出光束
(2.1
，
……
，
2.N)。5.
根据权利要求4所述的合并装置，所述合并装置具有以下数量的输入端
(E1，
……
，
E
2N
)
，所述数量是输出端
(A1，
……
，
A
N
)
的数量的两倍，所述合并装置构造为用于，将在所述输入端
(E1，
……
，
E
2N
)
处入射的所述输入光束
(E1，
……
，
E
2N
)
中的各两个输入光束相干地合并成相应的输出光束
(A1，
……
，
A
N
)。6.
根据权利要求5所述的合并装置，为了将在所述输入端
(E1，
……
，
E
2N
)
处入射的所述输入光束
(1.1
，
……
，
1.N)
中的各两个输入光束相干地合并成相应的输出光束
(2.1
，
……
，
2.N)
，所述合并装置具有优选地所有输入光束
(1.1
，
……
，
1.N)
的公共的偏振分束器
(4)
，并且，为了产生所述相应的输出光束
(2.1
，
……
，
2.N)
的线性偏振，所述合并装置具有相移元件
、
优选地所有输出光束
(2.1
，
……
，
2.N)
的公共的相移元件
、
特别是
λ
/4
延迟装置
(5)
，所述
相移元件在光束路径中布置在所述偏振分束器
(4)
后方
。7.
根据权利要求6所述的合并装置，所述合并装置构造为向所述偏振分束器
(4)
提供要合并的各两个输入光束
(1.1
，
1.N+1
；
1.2
，
1.N+2
；
……
)
，所述要合并的各两个输入光束具有两个相互垂直的偏振方向
(R1
，
R2)
，其中，所述合并装置
(3)
优选地在光束路径中在所述偏振分束器
(4)
前方具有偏振旋转装置
(7)
，所述偏振旋转装置用于使在所述偏振分束器
(4)
处合并而形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：通快激光与系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：