圆盘状基板的制造方法以及圆盘状基板的收纳用工具技术

本发明专利技术提供圆盘状基板的制造方法等，当将工件收纳于工件盒时，工件彼此难以接触，能够抑制工件的损伤，并且容易将工件收纳于工件盒。一种圆盘状基板的制造方法，将收纳用工具安装于工件盒的开口部，借助收纳用工具通过手动作业将工件收纳于工件盒，在收纳之后拆卸该收纳用工具，使用工件盒使工件移动从而制造工件，工件盒形成有多个工件的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片工件，收纳用工具形成有多个工件的插入引导部，该圆盘状基板的制造方法的特征在于，收纳用工具的插入引导部是开口宽度从两端部朝向中央部变大的孔部，工件的边缘部由插入引导部引导并配置于保持引导部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如磁记录介质用玻璃基板等圆盘状基板的制造方法等。
技术介绍
近年来，随着作为记录介质的需要的提高，磁盘等信息记录介质的制造也活跃起 来。此处，作为用作磁盘用基板的圆盘状基板，广泛使用铝基板和玻璃基板。该铝基板在加 工性高且价格低廉这点上有特长，另一方面，玻璃基板在强度、表面的平滑性、平坦性优异 这点上有特长。特别是最近，盘式基板的小型化和高密度化的要求显著提高，从而基板的表 面的粗糙度 小且能够实现高密度化的玻璃基板的关注度变高。专利文献1中公开了如下的盘盒(disc case)，所述盘盒具备盒主体部，该盒主 体部具有对盘进行收纳保持的多个槽部；以及引导部件，该引导部件能够相对于盒主体部 进行装卸，并具有多个引导板，并且引导板彼此之间与盒主体部的槽部对应，各引导板上具 有保护材料，该保护材料相对于盘的磨光性与对该盘在收纳于该盘盒后实施的磨光处理同 等、或者在该磨光处理以下。并且，专利文献2中公开了一种磁盘用玻璃盘的收纳用工具，该收纳用工具是在 将玻璃盘1从上方插入设于侧壁的多个肋的间隙中、从而以竖立状态排列收纳多片玻璃盘 的盘盒中使用的工具，该收纳用工具的特征在于，具备载置于盘盒上的主体和设于主体的 多个引导部，引导部能够对插入玻璃盘时的位置和倾斜进行引导，引导部的间隔是肋的间 隔的整数倍，并且主体能够相对于盘盒在玻璃盘的排列方向上相对移动。日本特开2007-95200号公报日本特开2007-261594号公报然而，在引导板上具有保护材料的盘盒中，需要将盘插入形成于引导板彼此之间 的狭缝状的间隙。为了使盘彼此不会接触从而防止盘的损伤，该间隙整体制作得狭窄。因 此存在难以插入盘的问题。并且，对于具备载置于盘盒上的主体和设于主体的多个引导部的磁盘用玻璃盘的 收纳用工具，其引导部由设于框体的对置的两边的内侧的一对切口部构成。当将磁盘用玻 璃盘收纳于盘盒时，需要通过该切口部插入磁盘，但是存在难以判别插入哪个切口部才能 正确地收纳的问题。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述技术课题而完成的，其目的在于，提供一种圆盘状基板 的收纳用工具，当将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒时，圆盘状基板彼此难以接触，能够抑 制圆盘状基板的损伤，并且容易将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒。为了达成上述目的，在本专利技术的圆盘状基板的制造方法中，其中，将插入辅助部件 安装于圆盘状基板盒的开口部，借助插入辅助部件通过手动作业将圆盘状基板收纳于圆盘 状基板盒，在收纳之后拆卸插入辅助部件，使用圆盘状基板盒使圆盘状基板移动，从而制造圆盘状基板，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中 能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述插入辅助部件形成有多个圆盘状基板的插 入引导部，所述圆盘状基板的制造方法的特征在于，插入辅助部件的插入引导部的开口宽 度从两端部朝向中央部变大，由此，圆盘状基板的边缘部由插入引导部引导，插入作业变得 容易，并且能够以不会对圆盘状基板的表面(两面)造成损伤的方式配置于保持引导部。此处，优选当圆盘状基板被收纳配置于圆盘状基板盒的保持引导部时，圆盘状基 板的边缘部的一部分穿过插入引导部而能够进行目视确认，有时，优选能够在水中将圆盘 状基板收纳于圆盘状基板盒。并且，对于本专利技术的圆盘状基板的收纳用工具，该收纳用工具用于安装在圆盘状 基板盒的开口部并通过手动作业将圆盘状基板收纳于圆盘状基板盒，所述圆盘状基板盒形 成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘 状基板，所述圆盘状基板的收纳用工具的特征在于，圆盘状基板的收纳用工具具有多个开 口宽度从两端部朝向中央部变大 的孔部，该孔部形成为圆盘状基板的边缘部由孔部的两 端部引导并配置于保持引导部。此处，优选圆盘状基板的收纳用工具在安装于圆盘状基板盒的开口部之后还能够 卸下，并且，更加优选孔部形成为大致椭圆形状。根据以上述方式构成的本专利技术，与未采用上述结构的情况相比，能够提供成品率 高的圆盘状基板的制造方法等。附图说明图1-1 (a) (d)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序 的图。图1-2 (e) (h)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基板)的制造工序 的图。图2是说明研磨机的构造的图。图3是进一步对托架进行详细说明的图。图4是示出在内周磨光工序中使用的刷的一例的图。图5是对工件盒(work case)和将工件收纳于工件盒时使用的收纳器具进行说明 的图。图6是进一步对应用本实施方式的收纳用工具进行详细说明的图。标号说明10 工件；11 表面；12 开孔；13 外周；30 托架；40 研磨机；50 抛光机；100 工件盒；106 保持引导部；108 开口部；200 收纳用工具；202 孔部；202a 两端部；202b 中央部。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。图1-1 (a) (d)、图1-2 (e) (h)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基 板)的制造工序的图。( 一次研磨(lap)工序)图l-l(a)示出一次研磨工序。在该工序中，首先，利用研磨机(lapping machine)40进行第一次研磨，平滑地磨削作为圆盘状基板的工件10的表面11。此处，图2是对研磨机40的构造进行说明的图。 图2所示的研磨机40具备下盘21a和上盘21b，该下盘21a用于载置工件10，该 上盘21b从上部按压工件10并对工件10施加用于进行研磨所需的压力。此处，在下盘21a的外周部设有齿部42，并且，在下盘21a的中央部设有太阳齿轮 44。进一步，在下盘21a设置有圆盘状的托架30，该托架30在进行研磨时对工件10进行定 位。在图2所示的研磨机40中设置有5个托架30。在该托架30的外周部具备齿部 32，该齿部32与下盘21a的齿部42和太阳齿轮44这两者啮合。并且，在下盘21a和上盘 21b的中心部分别设有用于使下盘21a和上盘21b旋转的旋转轴46a、46b。在该一次研磨工序中，首先利用托架30将工件10载置于研磨机40的下盘21a。图3是进一步对托架30进行详细说明的图。在图3所示的托架30中，如上所述， 在外周部具备齿部32。并且，在托架30中开有多个圆形形状的孔部34，当进行研磨时，工 件10载置在孔部34的内部。该孔部34的直径比工件10的直径稍大。这样，能够抑制进 行研磨时对工件10的外周端的一部分施加过多的应力的情况，因此工件10的外周端难以 损伤。在本实施方式中，孔部34的直径比工件10的直径大例如大约1mm。并且，孔部34大 体上等间隔地排列，在本实施方式的情况下，孔部34例如开有35个。作为托架30的材料例如可以使用通过混入芳香族聚酰胺纤维或玻璃纤维而强化 了的环氧树脂。并且，托架30的厚度制作得比本工序中的工件10的精加工厚度薄，以免在 本工序中当进行研磨时该托架30与上盘21b接触而阻碍研磨。例如，当设工件10的精加 工厚度为Imm时，托架30的厚度比工件10的精加工厚度薄0. 2mm 0. 6mm。在将工件10载置于托架30的孔部34之后，使上盘21b移动直至该上盘21b与工 件10接触，并使研磨机40工作。使用图2对此时的研磨机40的动作进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆盘状基板的制造方法，其中，将插入辅助部件安装于圆盘状基板盒的开口部，借助该插入辅助部件通过手动作业将圆盘状基板收纳于该圆盘状基板盒，在收纳之后拆卸该插入辅助部件，使用该圆盘状基板盒使圆盘状基板移动从而制造圆盘状基板，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述插入辅助部件形成有多个该圆盘状基板的插入引导部，所述圆盘状基板的制造方法的特征在于，所述插入辅助部件的所述插入引导部的开口宽度从两端部朝向中央部变大，由此，所述圆盘状基板的边缘部由该插入引导部引导并配置于所述保持引导部。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田不二夫，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，西铁城精密株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]