一种沉积设备零件的清洗维护装置制造方法及图纸

本发明专利技术适用于零件清洗维护相关领域，提供了一种沉积设备零件的清洗维护装置，包括：清洗箱和支撑框，所述支撑框通过第一伸缩缸安装于清洗箱上，所述清洗箱内设有空腔，且清洗箱上还设置有进水口和排水管；清洗仓，所述清洗仓安装于清洗箱内，且清洗仓内还固定安装有多组喷水块，相邻两组喷水块之间形成用于放置零件的放置区域，所述清洗仓上还设置夹持组件与旋转组件；以及用于对零件进行清洗的清洗刷头，所述清洗刷头通过驱动组件转动安装于支撑框上，且驱动组件还通过联动件与旋转组件相连接，本发明专利技术通过清洗仓

【技术实现步骤摘要】
一种沉积设备零件的清洗维护装置


[0001]本专利技术涉及零件清洗维护相关领域，具体是一种沉积设备零件的清洗维护装置
。

技术介绍

[0002]沉积设备是一种用于物理学
、
化学以及材料科学领域等的科学仪器，沉积设备包括有原子层沉积设备
、
薄膜沉积设备
、
化学气相沉积设备以及非晶硅沉积设备等，沉积设备在维护保养过程中，通常需要对部分零件进行清洗
。
[0003]现有的沉积设备零件的清洗维护装置在使用时，通常是将零件放置于清洗腔内用水枪进行冲洗，难以实现对零件的全方位冲洗，且冲洗过程中，零件与零件之间以及零件与清洗腔侧壁之间发生碰撞，易造成零件损伤
。
因此，针对以上现状，迫切需要提供一种沉积设备零件的清洗维护装置，以克服当前实际应用中的不足
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种沉积设备零件的清洗维护装置，旨在解决上述
技术介绍
中的问题
。
[0005]本专利技术是这样实现的，一种沉积设备零件的清洗维护装置，包括：清洗箱和支撑框，所述支撑框通过第一伸缩缸安装于清洗箱上，所述清洗箱内设有空腔，且清洗箱上还设置有进水口和排水管；清洗仓，所述清洗仓安装于清洗箱内，且清洗仓内还固定安装有多组喷水块，相邻两组喷水块之间形成用于放置零件的放置区域，所述清洗仓上还设置夹持组件与旋转组件；夹持组件通过推动零件向旋转组件一侧移动的方式实现对零件的固定，并配合旋转组件能够带动零件转动；以及用于对零件进行清洗的清洗刷头，所述清洗刷头通过驱动组件转动安装于支撑框上，且驱动组件还通过联动件与旋转组件相连接；第一伸缩缸通过带动支撑框向清洗箱一侧移动的方式使得清洗刷头按压到零件上，驱动组件通过带动清洗刷头转动的方式实现对零件的清洗
。
[0006]作为本专利技术进一步的方案：所述旋转组件包括：第一夹块，所述第一夹块通过支撑轴在清洗仓上转动安装有多组，且第一夹块位于放置区域内；第三齿轮，所述第三齿轮固定安装于支撑轴上；以及转动安装于清洗仓上的第三齿圈，且第三齿圈与第三齿轮相啮合，所述第三齿圈与联动件相连接
。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述夹持组件包括：驱动盒，所述驱动盒固定安装于清洗仓内，且驱动盒内设有导油通道；第二夹块，所述第二夹块通过推杆滑动安装于导油通道内，且第二夹块设置有多组，所述第二夹块与推杆转动连接；
弹簧，所述弹簧套设于推杆上；以及导管，所述导管用于导油通道与供油组件之间的连接
。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述驱动组件包括：旋转盒，所述旋转盒通过支架转动安装于支撑框上；电机，所述电机固定安装于支撑框上，且电机的输出轴上固定安装有第一齿轮；第一齿圈，所述第一齿圈固定安装于旋转盒上，且第一齿圈与第一齿轮相啮合；以及用于带动清洗刷头转动的传动组件
。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述传动组件包括：第二齿圈，所述第二齿圈固定安装于旋转盒内；弹性伸缩转轴，所述弹性伸缩转轴转动安装于支架上，且弹性伸缩转轴的一端与清洗刷头固定连接，弹性伸缩转轴的另一端固定安装有第二齿轮，所述第二齿轮与第二齿圈相啮合
。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述联动件包括：至少一组联动杆，所述联动杆固定安装于旋转组件上；以及容纳槽，所述容纳槽在旋转盒上开设有多组
。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述喷水块内部中空，且喷水块上还开设有多组通水孔，所述支架上还设置有与喷水块相连接的抽吸组件
。
[0012]作为本专利技术进一步的方案：所述抽吸组件包括：抽吸盒，所述抽吸盒固定安装于支架上，且抽吸盒内还滑动安装有活塞；用于连通喷水块与抽吸盒的弹性伸缩管，所述弹性伸缩管的一端滑动安装于喷水块内，弹性伸缩管的另一端与抽吸盒固定连接；以及弹性伸缩推拉杆，所述弹性伸缩推拉杆一端固定安装于夹持组件上，弹性伸缩推拉杆另一端与活塞固定连接
。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：所述清洗仓底部还设置有托板，且托板上开设有多组贯穿孔，所述清洗箱内还设置有用于带动托板移动的第二伸缩缸
。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：第一伸缩缸通过带动支撑框远离清洗箱移动的方式，便于将零件放置到清洗仓内，夹持组件通过推动零件向旋转组件一侧移动的方式，实现对零件的固定，第一伸缩缸通过带动支撑框向清洗箱一侧移动的方式，使得清洗刷头按压到零件上，驱动组件通过带动清洗刷头转动的方式实现对零件的清洗，旋转组件通过带动零件转动的方式，使得零件在清洗仓内翻面，通过清洗刷头实现对零件另一面的清洗，进而实现对零件的全面清洗；通过清洗仓
、
夹持组件
、
旋转组件
、
清洗刷头以及驱动组件的配合设置，避免了现有沉积设备零件的清洗维护装置在使用时，通常是将零件放置于清洗腔内用水枪进行冲洗，难以实现对零件的全方位冲洗，且冲洗过程中，零件与零件之间以及零件与清洗腔侧壁之间发生碰撞，易造成零件损伤的问题
。
附图说明
[0015]图1为本专利技术实施例的主视结构示意图
。
[0016]图2为本专利技术实施例的主视剖视结构示意图
。
[0017]图3为本专利技术实施例中清洗仓的局部剖视结构示意图
。
[0018]图4为本专利技术实施例中清洗仓的结构示意图
。
[0019]图5为图4的俯视剖视结构示意图
。
[0020]附图中：1‑
清洗箱，2‑
第一伸缩缸，3‑
进水口，4‑
弹性伸缩管，5‑
清洗刷头，6‑
弹性伸缩转轴，7‑
支撑框，8‑
电机，9‑
旋转盒，
10
‑
弹性伸缩推拉杆，
11
‑
第二伸缩缸，
12
‑
清洗仓，
13
‑
联动杆，
14
‑
容纳槽，
15
‑
第一齿轮，
16
‑
第一齿圈，
17
‑
第二齿圈，
18
‑
抽吸盒，
19
‑
支架，
20
‑
活塞，
21
‑
第二齿轮，
22
‑
托板，
23
‑
导管，
24
‑
排水管，
25
‑
第三齿圈，
26
‑
第一夹块，
27
‑
第三齿轮，
28
‑
支撑轴，
29
‑
喷水块，
30
‑
驱动盒，
31
‑
推杆，...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种沉积设备零件的清洗维护装置，包括清洗箱和支撑框，所述支撑框通过第一伸缩缸安装于清洗箱上，所述清洗箱内设有空腔，且清洗箱上还设置有进水口和排水管，其特征在于，还包括：清洗仓，所述清洗仓安装于清洗箱内，且清洗仓内还固定安装有多组喷水块，相邻两组喷水块之间形成用于放置零件的放置区域，所述清洗仓上还设置夹持组件与旋转组件；夹持组件通过推动零件向旋转组件一侧移动的方式实现对零件的固定，并配合旋转组件能够带动零件转动；以及用于对零件进行清洗的清洗刷头，所述清洗刷头通过驱动组件转动安装于支撑框上，且驱动组件还通过联动件与旋转组件相连接；第一伸缩缸通过带动支撑框向清洗箱一侧移动的方式使得清洗刷头按压到零件上，驱动组件通过带动清洗刷头转动的方式实现对零件的清洗
。2.
根据权利要求1所述的沉积设备零件的清洗维护装置，其特征在于，所述旋转组件包括：第一夹块，所述第一夹块通过支撑轴在清洗仓上转动安装有多组，且第一夹块位于放置区域内；第三齿轮，所述第三齿轮固定安装于支撑轴上；以及转动安装于清洗仓上的第三齿圈，且第三齿圈与第三齿轮相啮合，所述第三齿圈与联动件相连接
。3.
根据权利要求1所述的沉积设备零件的清洗维护装置，其特征在于，所述夹持组件包括：驱动盒，所述驱动盒固定安装于清洗仓内，且驱动盒内设有导油通道；第二夹块，所述第二夹块通过推杆滑动安装于导油通道内，且第二夹块设置有多组，所述第二夹块与推杆转动连接；弹簧，所述弹簧套设于推杆上；以及导管，所述导管用于导油通道与供油组件之间的连接
。4.
根据权利要求1所述的沉积设备零件的清洗维护装置，其特征在于，所述驱动组件包括：旋转盒，所述旋转盒通过支架转动安装于支...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵光辉，李桂臣，朱涛，
申请(专利权)人：山东丰元汇能新能源材料有限公司，
类型：发明
国别省市：