光修正系数预测方法技术

本发明专利技术的控制装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光修正系数预测方法、光修正系数预测装置、机械学习方法、机械学习的前处理方法及学习完毕的学习模型


[0001]实施方式的一个方案涉及一种光修正系数预测方法
、
光修正系数预测装置
、
机械学习方法
、
机械学习的前处理方法及学习完毕的学习模型
。

技术介绍

[0002]以往，已知一种进行由物镜等光学系统而产生的像差的修正的技术
。
例如，在下述专利文献1中，记载有一种技术，其为了修正物镜中存在的像差，而使给予用于设定赋予波面调制元件的相位图案的波面形状的泽尼克系数变化为如虚拟像中的激光的点的直径成为最小那样的系数
。
另外，在下述专利文献2中，记载有一种技术，其在修正激光显微镜等光学系统中产生的像差时，将像差的修正量表现为
Zernike
多项式的各函数的相位分布，并通过使各函数的相对相位调制量变化而求出相位调制分布
(profile)
，通过对设置于相位调制元件的电极施加电压而产生该相位调制分布的技术
。
另外，在下述专利文献3中，记载有关于在眼底检查中修正被检眼的像差的技术，将由波面传感器测定的波面模型化为
Zernike
函数而算出各阶数的系数，并基于该系数算出波面修正器件的调制量
。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利特开
2011
‑
133580
号公报
[0006]专利文献2：国际公开
2013/172085
号公报
[0007]专利文献3：日本专利特开
2012
‑
235834
号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]在如上述那样的现有的技术中，存在导出用于进行像差修正的系数时的运算量变多的倾向，存在运算时间也变长的倾向
。
因此，谋求缩短实现像差修正时的运算时间
。
[0010]因此，实施方式的一个方面是鉴于该问题而完成的，其目的在于，提供一种可以较短的运算时间高效地进行光学像差的修正的光修正系数预测方法
、
光修正系数预测装置
、
机械学习方法
、
机械学习的前处理方法及学习完毕的学习模型
。
[0011]用于解决问题的手段
[0012]实施方式的一个方面的光修正系数预测方法具备：以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的强度分布的步骤；计算强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据的步骤；以及通过将成为强度分布的基础的光修正系数与比较数据输入学习模型，而预测光修正系数的步骤，光修正系数用于以强度分布接近目标分布的方式对光进行像差修正
。
[0013]或者，实施方式的另一个方面的光修正系数预测装置具备：取得部，其以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的
强度分布；生成部，其计算强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据；及预测部，其通过将成为强度分布的基础的光修正系数与比较数据输入学习模型，而预测光修正系数，光修正系数用于以强度分布接近目标分布的方式对光进行像差修正
。
[0014]或者，实施方式的另一个方面的机械学习方法具备：以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的强度分布的步骤；计算强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据的步骤；以及通过将成为强度分布的基础的光修正系数与比较数据输入学习模型，而以输出光修正系数的方式，训练学习模型的步骤，光修正系数用于以强度分布接近目标分布的方式对光进行像差修正
。
[0015]或者，实施方式的另一个方面的机械学习的前处理方法是生成输入用于上述方面的机械学习方法的学习模型的数据，具备：以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的强度分布的步骤；计算强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据的步骤；以及将成为强度分布的基础的光修正系数与比较数据连结的步骤
。
[0016]或者，实施方式的另一个方面的学习完毕的学习模型系通过使用上述方面的机械学习方法的训练而构筑的学习模型
。
[0017]根据上述一个方面或另一个方面的任意者，根据观察到由使用光调制器修正了波面的光产生的作用的强度图像，取得沿规定方向的强度分布，并生成该强度分布与目标分布之间的比较数据，将成为利用光调制器进行的修正的基础的光修正系数与该比较数据输入学习模型
。
由此，可对预测能实现如使沿规定方向的强度分布接近目标分布那样的修正的光修正系数的学习模型，输入数据，该数据为从强度图像压缩数据量后的数据，且准确地捕捉了沿规定方向的强度分布
。
其结果，可缩短学习模型的学习时或光修正系数的预测时的运算时间，且可实现高精度的像差修正
。
[0018][
专利技术的效果
][0019]根据本公开的一个方面，可以较短的运算时间高效地进行光学像差的修正
。
附图说明
[0020]图1是第1实施方式的光学系统1的概略结构图
。
[0021]图2是示出图1的控制装置
11
的硬件结构的一例的框图
。
[0022]图3是示出图1的控制装置
11
的功能结构的框图
。
[0023]图4是示出从图1的摄像元件7输入的强度图像的一例的图
。
[0024]图5是通过由图3的取得部
201
取得的强度分布的连结数据而表示的强度分布的图表
。
[0025]图6是示出光学系统1中的学习处理的顺序的流程图
。
[0026]图7是示出光学系统1中的观察处理的顺序的流程图
。
[0027]图8是示出第2实施方式的控制装置
11A
的功能结构的框图
。
[0028]图9是示出第3实施方式的控制装置
11A
的功能结构的框图
。
[0029]图
10
是变化例的光学系统
1A
的概略结构图
。
[0030]图
11
是变化例的光学系统
1B
的概略结构图
。
[0031]图
12
是变化例的光学系统
1C
的概略结构图
。
[0032]图
13
是变化例的光学系统
1D
的概略结构图
。
[0033]图
14
是变化例的光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种光修正系数预测方法，其具备：以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的强度分布的步骤；计算所述强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据的步骤；以及通过将成为所述强度分布的基础的所述光修正系数与所述比较数据输入学习模型，而预测光修正系数的步骤，所述光修正系数用于以所述强度分布接近所述目标分布的方式对所述光进行像差修正
。2.
根据权利要求1所述的光修正系数预测方法，其中，所述光修正系数为赋予所述光的波面的形状的
Zernike
多项式的系数
。3.
根据权利要求1或2所述的光修正系数预测方法，其中，通过将所述强度图像中的像素的亮度值投影于规定坐标，而作为亮度分布，取得所述强度分布
。4.
根据权利要求3所述的光修正系数预测方法，其中，作为投影于规定坐标的像素的亮度值的总和的分布，取得所述强度分布
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的光修正系数预测方法，其中，除所述光修正系数与所述比较数据外，还将影响与所述光相关的像差的参数输入所述学习模型
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的光修正系数预测方法，其中，使用所述学习模型，进一步预测影响与所述光相关的像差的可调整的参数
。7.
一种光修正系数预测装置，其具备：取得部，其以观察到由基于光修正系数使用光调制器修正的光产生的作用的强度图像为对象，取得沿规定方向的强度分布；生成部，其计算所述强度分布的与目标分布的比较结果并生成比较数据；及预测部，其通过将成为所述强度分布的基础的所述光修正系数与所述比较数据输入学习模型，而预测光修正系数，所述光修正系数用于以所述强度分布接近所述目标分布的方式对所述光进行像差修正
。8.
根据权利要求7所述的光修正系数预测装置，其中，所述光修正系数为赋予所述光的波面的形状的
...

【专利技术属性】
技术研发人员：福原诚史，桥本优，铃木和也，兵土知子，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：