高可靠性电流源型感应加热电源系统及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种高可靠性电流源型感应加热电源系统及装置，应用于感应加热领域，所述电源系统由

【技术实现步骤摘要】
高可靠性电流源型感应加热电源系统及装置


[0001]本申请涉及感应加热领域，尤其涉及一种高可靠性电流源型感应加热电源系统及装置
。

技术介绍

[0002]随着国产半导体行业的迅速发展，大家越来越重视半导体制造设备使用电源的可靠性和稳定性
。
感应加热电源是半导体制造设备中关键的电源设备
。
传统感应加热电源还是以单机的形式进行大功率输出，通过设置在谐振电路中的感应加热线圈实现感应加热
。
一旦单机任何部位发生报警或故障，整体传统感应加热电源就会停止功率输出，导致被加热原料异常冷却，进而导致原料报废
。
因此提高感应加热电源系统的可靠性是感应加热电源系统主要研究方向之一
。
[0003]N+X
并联冗余备份方式能够极大的提高整个电源系统的可靠性
。
但是传统电流源型感应加热电源无法直接并联来实现
N+X
并联冗余备份
。
其原因为：传统电流源型感应加热电源并联位置在内部电感之后，传统电流源型感应加热电源的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高可靠性电流源型感应加热电源系统，其特征在于，所述感应加热电源系统的原边由
N+X
个相同的感应加热电源并联组成，
N
和
X
均为正整数，所述感应加热电源包括：整流单元，用于将交流电转换为直流电；逆变桥单元，用于将所述整流单元输出的直流电转换为交流方波信号；可变电感单元，用于和所述感应加热电源系统的加热线圈
、
补偿电容组成谐振网络，以及，通过改变电感保证所述谐振网络的谐振频率和所述感应加热电源系统的最大输出功率不变；脱离开关，用于连接所述感应加热电源和所述感应加热电源系统；控制单元，用于读取所述整流单元的第一状态
、
所述逆变桥单元的第二状态
、
所述可变电感单元的第三状态，以及，根据所述第一状态
、
所述第二状态以及所述第三状态控制所述可变电感单元和所述脱离开关的工作状态
。2.
如权利要求1所述的感应加热电源系统，其特征在于，所述可变电感单元包括一个第一电感
、X
个第二电感及连接所述
X
个第二电感的
X
个切换开关
。3.
如权利要求2所述的感应加热电源系统，其特征在于，所述第一电感的电感感量设置为第一感量，所述
X
个第二电感的电感感量设置为第二感量，所述第一感量是所述第二感量的
N
倍，所述可变电感单元通过所述
X
个切换开关和所述
X
个第二电感的组合调节所述感应加热电源系统的等效原边电感感量保持不变，以使所述谐振网络的谐振频率和所述感应加热电源系统的最大输出功率保持不变
。4.
如权利要求3所述的感应加热电源系统，其特征在于，所述可变电感单元通过所述
X
个切换开关和所述
X
个第二电感的组合调节所述感应加热电源系统的等效原边电感感量保持不变，包括：所述可变电感单元中所述
X
个第二电感分别与连接所述
X
个第二电感的
X
个切换开关并联，所述可变电感单元中所述
X
个第二电感串联；所述控制单元控制所述
X
个第二电感所对应的所述
X
个切换开关的工作状态，从而调节接入所述可变电感单元中的所述
X
个第二电感...

【专利技术属性】
技术研发人员：智增辉，付加友，踪成林，明邦海，李晨光，
申请(专利权)人：上海盛迪瓦特电气有限公司，
类型：发明
国别省市：