样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法，涉及激光聚焦检测技术领域，其装置包括：激光位移传感器，用于测量样品架上样品靶的靶面与其之间的第一距离；处理器用于确定样品靶沿预设运动方向从第一位置移动到第二位置的第二距离；确定激光位移传感器在第一位置和第二位置时的第一距离之间的差值；确定第二夹角；确定第一乘积，以及第二乘积；根据第一乘积

【技术实现步骤摘要】
样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法


[0001]本专利技术涉及激光聚焦检测
，尤其涉及一种样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法
。

技术介绍

[0002]脉冲激光经透镜聚焦到固体靶材表面，被作用的靶材熔融气化产生高温高密且包含大量高电荷态离子的激光等离子体
。
[0003]脉冲激光等离子体实验并不是在一次脉冲下进行的，多次实验过程中，需要保持每次重复的脉冲激光产生等离子体的条件必须相同，而为了避免脉冲激光重复烧蚀靶面同一位置形成烧蚀坑，需要一定次数的脉冲激光打靶后移动靶面，使脉冲激光在不同延迟时间和不同空间位置处烧蚀样品靶面新的位置
。
[0004]移动样品靶时，若样品靶的靶面方向与样品靶的运动方向不一致，每次样品靶移动后，产生等离子体的条件，即激光聚焦时光束与靶面的角度和距离就会发生改变，进而对不同元素种类电荷态离子的产额造成极大影响，导致重复探测时，光谱强度出现变化，进而对实验结果产生影响
。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种样品靶面激光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置，其特征在于，包括：激光位移传感器，用于测量样品架上样品靶的靶面与所述激光位移传感器之间的第一距离；处理器，与所述激光位移传感器连接，用于确定所述样品靶沿脉冲激光等离子体实验中的预设运动方向从第一位置移动到第二位置的第二距离；确定所述激光位移传感器在所述样品靶位于所述第一位置和所述第二位置时测量得到的第一距离之间的差值；确定所述激光位移传感器的光束与所述预设运动方向的垂直面之间的第二夹角；确定所述差值与所述第二夹角的正弦值的第一乘积，以及所述差值与所述第二夹角的余弦值的第二乘积；根据所述第一乘积
、
所述第二乘积和所述第二距离，确定所述靶面与所述样品靶在脉冲激光等离子体实验中的预设运动方向之间的第一夹角，根据所述第一夹角生成第一控制指令；控制器，所述控制器与所述处理器连接，且与所述样品架连接，所述控制器用于根据所述第一控制指令控制所述样品架转动，使得所述靶面和预设运动方向平行
。2.
根据权利要求1所述的样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置，其特征在于，所述处理器具体用于：确定所述样品靶沿所述预设运动方向移动的每个第二距离对应的第二乘积；对多个所述第二距离对应的第二乘积进行拟合，得到拟合函数；在所述拟合函数为线性函数的情况下，根据所述第一距离确定所述靶面与所述样品靶在脉冲激光等离子体实验中的预设运动方向之间的第一夹角
。3.
根据权利要求1所述的样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置，其特征在于，所述处理器具体用于：确定所述样品靶沿所述预设运动方向移动的多行或多列中每个第二距离对应的第二乘积；对每行或每列中多个所述第二距离对应的第二乘积进行拟合，得到每行或每列对应的拟合函数；在至少一个所述拟合函数为线性函数的情况下，根据所述第一距离确定所述靶面与所述样品靶在脉冲激光等离子体实验中的预设运动方向之间的第一夹角
。4.
根据权利要求1‑3任一所述的样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置，其特征在于，所述处理器还用于：在所述控制器根据所述第一控制指令控制所述样品架转动后，确定每个第一距离对应的第二乘积；在所述第二乘积不为0的情况下，根据所述第二乘积生成第二控制指令；所述控制器还用于：根据所述第二控制指令控制所述样品架移动，使得所述第二乘积为
0。5.
根据权利要求1‑...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏茂根，杨超，曹世权，杨克德，孙对兄，尤鹏飞，梁西银，董晨钟，
申请(专利权)人：西北师范大学，
类型：发明
国别省市：