用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备，包括：照明模块、收集模块及图像处理器。照明模块产生具有处于第一波段及第二波段中的波长的光源光对半导体芯片进行照明。收集模块包括第一图像传感器及第二图像传感器，第一图像传感器接收自半导体芯片反射的处于第一波段中的光，而第二图像传感器接收自半导体芯片反射的处于第二波段中的光。图像处理器处理半导体芯片的第一图像且处理半导体芯片的第二图像，以基于缺陷计数的预定值来使半导体芯片合格。本实用新型专利技术可帮助改善半导体芯片的缺陷侦测。半导体芯片的缺陷侦测。半导体芯片的缺陷侦测。

【技术实现步骤摘要】
用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备


[0001]本技术涉及一种用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备。

技术介绍

[0002]本技术实施例是有关于一种使半导体芯片处理合格的方法、光学检查设备及检查方法。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备，所述光学检查设备包括：照明模块，产生具有处于第一波段及第二波段中的波长的光源光对半导体芯片进行照明，所述照明模块包括沿第一光学路径布置的第一光学组件及沿第二光学路径布置的第二光学组件，所述第一光学组件对处于所述第一波段中的光源光的第一光学参数进行调整，而所述第二光学组件对处于所述第二波段中的光源光的第二光学参数进行调整；收集模块，包括第一图像传感器及第二图像传感器，所述第一图像传感器接收由于利用来自所述照明模块的光源光对所述半导体芯片进行照明而自所述半导体芯片反射的处于所述第一波段中的光，而所述第二图像传感器接收由于利用来自所述照明模块的光源光对所述半导体芯片进行照明而自所述半导体芯片反射的处于所述第二波段中的光；以及图像处理器，处理根据自所述第一图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于使半导体芯片处理合格的光学检查设备，其特征在于，所述光学检查设备包括：照明模块，产生具有处于第一波段及第二波段中的波长的光源光对半导体芯片进行照明，所述照明模块包括沿第一光学路径布置的第一光学组件及沿第二光学路径布置的第二光学组件，所述第一光学组件对处于所述第一波段中的光源光的第一光学参数进行调整，而所述第二光学组件对处于所述第二波段中的光源光的第二光学参数进行调整；收集模块，包括第一图像传感器及第二图像传感器，所述第一图像传感器接收由于利用来自所述照明模块的光源光对所述半导体芯片进行照明而自所述半导体芯片反射的处于所述第一波段中的光，而所述第二图像传感器接收由于利用来自所述照明模块的光源光对所述半导体芯片进行照明而自所述半导体芯片反射的处于所述第二波段中的光；以及图像处理器，处理根据自所述第一图像传感器获得的数据生成的所述半导体芯片的第一图像，且处理根据自所述第二图像传感器获得的数据生成的所述半导体芯片的第二图像，以基于缺陷计数的预定值来使所述半导体芯片合格。2.根据权利要求1所述的光学检查设备，其特征在于，所述第一光学组件包括第一中性密度滤波器、第一偏振器及第一光圈板中的至少一者，而所述第二光学组件包括第二中性密度滤波器、第二偏振器及第二光圈板中的至少一者。3.根据权利要求1所述的光学检查设备，其特征在于，所述照明模块还包括：组合光学组件，对通过所述第一光学组件之后的处于所述第一波段中的光源光与通过所述第二光学组件之后的处于所述第二波段中的光源光进行组合。4.根据权利要求3所述的光学检查设备，其特征在于，所述照明模块还包括：共用光源，发射具有处于所述第一波段与所述第二波段二...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世昌，黄修慧，钟弘毅，陈建辉，陈晓萌，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：