垂直度和角度可调力控位移平台制造技术

本实用新型专利技术涉及运动平台技术领域，尤其涉及垂直度和角度可调力控位移平台

【技术实现步骤摘要】
垂直度和角度可调力控位移平台


[0001]本技术涉运动平台
，尤其涉及垂直度和角度可调力控位移平台
。

技术介绍

[0002]芯片检测探针台
、Micro LED
芯片转印等设备，需要核心运动平台具有小角度调整，精准对位后实现均匀压力控制，这就需要对平台具有非常高的垂直度要求
。
现有方法是通过旋转和直线平台的高精度制造装配，通过旋转位移和垂直运动的高精度控制来实现精密对位和压力控制，造价高，并且在出现压力偏差时无法通过垂直度调整来实现均匀压力控制
。
另外，探针台
、
转印等操作，操作工艺都是与接触压力控制有关，可是现有的机构都是通过精密位移来实现，因此导致了对位移控制的高精度要求，进一步提高了制造成本
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的现有的机构都是通过精密位移来实现，因此导致了对位移控制的高精度要求高，设备制造成本高的问题，提出一种垂直度和转角可调，带有力控的运动平台组合，降低制造难度，实现压力的均匀和精准控的力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
垂直度和角度可调力控位移平台，包括支座
(1)
，其特征在于，还包括：所述支座
(1)
的底部还连接有多组厚度调节模组
(6)
；所述厚度调节模组
(6)
包括双柔性铰链
(61)
，所述双柔性铰链
(61)
上开设有中部通孔，且中部通孔内连接有锁紧螺钉
(63)
，所述双柔性铰链
(61)
上还连接有用于调节双柔性铰链
(61)
之间缝隙的锁定螺钉
(62)。2.
根据权利要求1所述的垂直度和角度可调力控位移平台，其特征在于，还包括转动安装在支座
(1)
顶部一侧的旋转轴承
(2)
，所述旋转轴承
(2)
内的顶部轴承转动连接有连接框架
(3)
，所述连接框架
(3)
内设置有力控驱动模组
(4)
，所述力控驱动模组
(4)
包括位于连接框架
(3)
内的驱动台
(43)
以及用于推动驱动台
(43)
的驱动组件；所述旋转轴承
(2)
的一侧设置有用于驱动角度调整的角度调节模组
(5)
；所述角度调节模组
(5)
包括安装在支座
(1)
上方的第二驱动电机
(51)
，所述第二驱动电机
(51)
的输出端连接直线运动模组
。3.
根据权利要求2所述的垂直度和角度可调力控位移平台，其特征在于，所述驱动组件包括安装在连接框架
(3)
和旋转轴承
(2)
内部的第一驱动电机
(41)
，所述第一驱动电机
(41)
的输出端连接有丝杆
(42)
，所述丝杆
(42)
的顶部与驱动台
(43)
连接
。4.
根据权利要求3所述的垂直度和角度可调力控位移平台，其特征在于，所述丝杆
(42)
的外圈套设连接有丝杠螺母，丝杠螺母的顶部连接有多个连接件用于与驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，许逸伦，张驰，
申请(专利权)人：佛山市华道超精科技有限公司，
类型：新型
国别省市：