氮化硅粉末及其制造方法技术

本发明专利技术提供氮化硅粉末，其中，氟的含量为

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氮化硅粉末及其制造方法、以及氮化硅烧结体及其制造方法


[0001]本公开文本涉及氮化硅粉末及其制造方法
、
以及氮化硅烧结体及其制造方法
。

技术介绍

[0002]氮化硅为强度
、
硬度
、
韧性
、
耐热性
、
耐腐蚀性
、
耐热冲击性等优异的材料，因此被用于压铸机及熔炼炉等各种工业用的部件及汽车部件等
。
还研究了氮化硅基板作为汽车及工作机械等的电力模组等的绝缘基板使用的情况
。
在这样的用途中，要求具有高的散热性
。
因此，专利文献1中，为了得到具有高的导热率的氮化硅烧结体，提出使用减少了杂质的氮化硅粉末的方案
。
[0003]先行技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第
2020/203697
号

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]本公开文本中提供能够制造充分减少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
氮化硅粉末，其中，氟的含量为
600
质量
ppm
以下，并且碳的含量为
0.1
质量％以下，所述氮化硅粉末的
α
化率为
80
％以上
。2.
如权利要求1所述的氮化硅粉末，其中，
α
化率为
90
％以上
。3.
如权利要求1或2所述的氮化硅粉末，其中，
α
化率为
98
％以下
。4.
氮化硅粉末的制造方法，其具有：填充工序，将包含硅粉末
、
且氟化物相对硅粉末
100
质量份而言的含量为1质量份以下的原料粉末以堆积密度成为
0.7g/cm3以上
、
并且所述原料粉末的填充高度成为
15
～
80mm
的方式填充于容器；烧成工序，在包含氮气的气氛中对填充于所述容器的所述原料粉末进行烧成，得到包含氮化硅的...

【专利技术属性】
技术研发人员：野上直嗣，田中稔男，竹田豪，
申请(专利权)人：电化株式会社，
类型：发明
国别省市：