弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及弹性波装置
。

技术介绍

[0002]以往，已知有利用了在包含
LiNbO3或
LiTaO3的压电膜传播的板波的弹性波装置
。
例如，在下述的专利文献1中，公开了一种利用了作为板波的拉姆波的弹性波装置
。
在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电基板
。
压电基板包含
LiNbO3或
LiTaO3。
在压电基板的上表面设置有
IDT(Interdigital Transducer
，叉指换能器
)
电极
。
在
IDT
电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压
。
由此，激励拉姆波
。
在该
IDT
电极的两侧设置有反射器
。
由此，构成利用了板波的弹性波谐振器
。
[0003]在下述的专利文献2公开了梯型滤波器的例子<br/>。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种弹性波装置，具备：支承基板；压电层，设置在所述支承基板上，具有相互对置的第1主面以及第2主面；功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面或所述第2主面；第1布线，设置在所述压电层上，与所述功能电极连接；第2布线，设置在所述压电层上，与所述第1布线对置，并且连接于与所述第1布线不同的电位；以及衰减层，在俯视下设置在所述第1布线与所述第2布线之间，包含密度比所述压电层低的电介质
。2.
根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在俯视下，所述衰减层跨越所述第1布线与所述第2布线之间的整体而设置
。3.
根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，还具备：中间层，设置在所述压电层与所述衰减层之间，所述中间层的声阻抗的值是所述压电层的声阻抗的值与所述衰减层的声阻抗的值之间的值
。4.
根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述压电层的声阻抗比所述中间层的声阻抗高，所述中间层的声阻抗比所述衰减层的声阻抗高
。5.
根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电层是钽酸锂层或铌酸锂层
。6.
根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述功能电极具有：相互对置的第1汇流条
、
第2汇流条；一个以上的第1电极指，与所述第1汇流条连接；以及一个以上的第2电极指，与所述第2汇流条连接
。7.
根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述功能电极是分别具有多个所述第1电极指和所述第2电极指的
IDT
电极
。8.
根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置构成为能够利用板波
。9.
根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置构成为能够利用厚度剪切模式的体波
。10.
根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，在将所述压电层的厚度设为
d
并将相邻的所述第1电极指和所述第2电极指的中心间距离设为
p
的情况下，
d/p
为
0.5
以下
。11.
根据权利要求
10
所述的弹性波装置，其中，
d/p
为
0.24
以下
。12.
根据权利要求9～
11
中的任一项所述的弹性波装置，其中，在从相邻的所述第1电极指和所述第2电极指对置的方向观察时，相邻的所述第1电极指和所述第2电极指相互重叠的区域为激励区域，
在将所述一个以上的第1电极指以及所述一个以上的第2电极指相对于所述激励区域的金属化比设为
MR
时，满足
MR≤1.75(d/p)+0.075。13.
根据权利要求9～
12
中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电层是钽酸锂层或铌酸锂层，构成所述压电层的铌酸锂或钽酸锂的欧拉角处于以下的式
(1)、
...

【专利技术属性】
技术研发人员：井山明洋，石井优太，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：