液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种解决有可能在配线间不能获得充分的绝缘性而发生因迁移等引起的压电体层的破坏的问题的液体喷射头、液体喷射装置及压电器件。设为如下结构，即，在与压力室(12)对置的有源区域(A0)中，振动板(50)、第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)从压力室基板(10)侧依次层叠，压力室(12)的长边方向上的比有源区域(A0)靠外侧的区域包括第一区域(A1)和第二区域(A2)，第一区域中压电体层(70)、第二电极(80)、绝缘层(150)和第一导电层(94、91)在与长边方向交叉的层叠方向上依次层叠，第二区域中压电体层(70)和绝缘层(150)在层叠方向上依次层叠且未层叠第二电极(80)和第一导电层(94、91)。91)。91)。

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件


[0001]本专利技术涉及一种液体喷射头及液体喷射装置、以及压电器件，所述液体喷射头具有包括第一电极、压电体层和第二电极的压电元件、通过压电元件的驱动而振动的振动板、和划分出通过振动板的振动而对液体施加压力的压力室的压力室基板，所述压电器件具有压电元件和振动板。

技术介绍

[0002]作为压电器件之一的液体喷射头的代表例，可列举出喷射油墨滴的喷墨式记录头。作为喷墨式记录头，已知一种如下的记录头，例如具备形成有与喷嘴连通的压力室的压力室基板、和隔着振动板而被设置在该压力室基板的一面侧的压电元件，并通过利用压电元件而使振动板位移而使压力室内的油墨产生压力变化，从而从喷嘴喷射油墨滴。
[0003]此外，作为压电元件，已知一种具备被形成在振动板上的第一电极、在第一电极上由具有机电转换特性的压电材料形成的压电体层、和被设置在压电体层上的第二电极的压电元件(例如，参照专利文献1)。
[0004]在专利文献1中，公开了一种具备多个压电元件且这些多个压电元件被并排设置成一列的结构。各压电元件具备压电体层被作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体喷射头，其特征在于，具有：压电元件，其包括第一电极、压电体层和第二电极；第一导电层，其与所述第二电极电连接；绝缘层，其由绝缘材料形成；振动板，其通过所述压电元件的驱动而振动；压力室基板，其划分出通过所述振动板的振动而对液体施加压力的压力室，在与所述压力室对置的有源区域中，所述振动板、所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极从所述压力室基板侧依次层叠，所述压力室的长边方向上的比所述有源区域靠外侧的区域包括：第一区域，其中所述压电体层、所述第二电极、所述绝缘层和所述第一导电层在与所述长边方向交叉的层叠方向上依次层叠；第二区域，其中所述压电体层和所述绝缘层在所述层叠方向上依次层叠，并且未层叠所述第二电极和所述第一导电层。2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一导电层的厚度厚于所述第二电极的厚度。3.如权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二区域中的所述绝缘层的与所述压力室基板相反的一侧的端面位于，比所述第一区域中的所述绝缘层的与所述压力室基板相反的一侧的端面靠所述压力室基板侧处。4.如权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，所述压电体层的厚度在所述第二区域中薄于所述第一区域。5.如权利要求3或4所述的液体喷射头，其特征在于，所述压力室的长边方向上的比所述有源区域靠外侧的区域包括第三区域，所述第三区域中所述绝缘层和与所述第一电极电连接的第二导电层在所述层叠方向上进行层叠，在所述压力室的长边方向上，所述第二区域位于所述第一区域与所述第三区域之间。6.如权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二导电层的厚度厚于所述第一电极的厚度。7.如权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于，所述压力室的长边方向上的比所述有源区域靠外侧的区域包括第四区域，所述第四区域中所述压电体层、所述第二电极和所述第一导电层在所述层叠方向上依次进行层叠，在所述压力室的长边方向上，所述第一区域位于所述第四区域与所述第二区域之间。8.如权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎泰志，森政贵，平井荣树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：