【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟翘片检测装置及检测方法
[0001]本专利技术涉及光学检测
，尤其涉及一种石墨舟翘片检测装置及检测方法
。
技术介绍
[0002]在目前晶体硅太阳能电池的制造过程中，通常采用石墨舟作为载具，将硅片放置在石墨舟内，并通过管式
PECVD
的方式在硅片上生长出氧化铝或氮化硅薄膜
。
硅片与石墨舟一般采用立式卡点的接触方式放置在石墨舟中，硅片与石墨舟片的贴合状态会影响镀膜过程中射频状态，若出现翘片
、
缺片
、
叠片等情况，会导致电极导通，出现高频报警，从而影响硅片的成膜质量
。
在卸片过程中，若石墨舟内的硅片与石墨舟片贴合异常，会导致碎片及划伤等异常，在上下片过程中漏吸漏插会导致硅片工艺异常，导致返工处理
。
[0003]因此，在进行镀膜工序之前，需要对石墨舟中的硅片进行翘片检测，现有技术中，通常先使用光源对石墨舟进行打光，之后使用检测相机对石墨舟表面进行拍摄，之后将采集的结果传输至分析软件中进行检测，识别石墨
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种石墨舟翘片检测装置，包括：检测机架，定义检测机架的长度方向为前后方向，宽度方向为左右方向，检测机架顶部的左右两侧各设有一排检测相机，检测机架底部的左右两侧各设有一排条形光源；所述检测机架的下方设有沿左右方向延伸的输送轨道，所述输送轨道上沿左右方向滑动装配有安装框，所述安装框内放置有石墨舟，所述条形光源用于朝向石墨舟的表面打光，所述拍摄相机用于拍摄石墨舟表面的图像并将图像传输至检测系统；其特征在于，所述条形光源包括灯壳与安装在灯壳内的发光体与控制器；所述灯壳的其中一个壁面为透光面，所述透光面位于靠近石墨舟的一侧，所述发光体位于灯壳内靠近透光面的一侧，所述控制器位于灯壳内远离透光面的一侧；所述发光体用于朝向所述透光面打光以使光线穿过所述透光面照在石墨舟上；所述灯壳的外侧壁上设有多个散热片，所述的多个散热片背离所述灯壳的一侧安装有多个散热风机，所述的多个散热风机用于朝向所述散热片吹风或吸风以带走散热片处的热量
。2.
根据权利要求1所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，所述的多个散热片沿前后方向延伸且沿灯壳上对应侧壁的宽度方向等间隔分布，所述的多个散热风机的风口正对于所述散热片，所述的多个散热风机沿前后方向间隔分布
。3.
根据权利要求2所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，位于外侧的两散热片的外表面上设有沿前后方向延伸的安装滑槽，所述安装滑槽处连接有风机支架，所述风机支架呈倒
U
字形，其包括水平安装板以及连接在水平安装板的两端的竖直连接板，竖直连接板的底部设有朝向风机支架的内侧弯折的插接板，所述插接板插设在对应的安装滑槽内，以使所述风机支架滑动装配在所述安装滑槽上；所述水平安装板上设有上下贯穿的安装口，所述散热风机安装在所述安装口内；所述竖直连接板上设有螺纹穿孔，连接螺栓穿过所述螺纹穿孔以使所述风机支架固定在所述散热片上
。4.
根据权利要求1‑3中任一项所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，所述检测机架的左右两侧分别设有多根沿上下方向延伸的连接柱，所述条形光源位置可调的安装在所述连接柱的底部
。5.
根据权利要求4所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，所述连接柱的底部设有连接板，连接板在上下方向上位置可调的安装在所述连接柱上；所述灯壳的侧壁上连接有调节板，所述调节板角度可调的安装在所述连接板的底部
。6.
根据权利要求5所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，所述连接柱及连接板上均设有多个沿上下方向等间隔分布的穿孔，连接螺栓穿过连接板及连接柱上相互对应的穿孔以将所述连接板固定在所述连接柱上；所述调节板铰接在所述连接板的底部，所述连接板和所述调节板的其中一块板上设有以铰接轴为中心轴线的弧形长条孔，另一块板上设有以铰接轴为中心轴线沿圆周方向等间隔分布的多个连接孔，连接螺栓穿过弧形长条孔及对应的连接孔将所述调节板固定在所述连接板上
。7.
根据权利要求6所述的一种石墨舟翘片检测装置，其特征在于，所述条形光源的前后两侧均设有呈
L
形的手柄杆，所述手柄杆背离条形光源的一端设有接头，所述手柄杆内穿设有接线，所述接线一端与接头连接，另一端与所述控制器及发光体连接，以在所述接头插入
电源时为所述控制器及所述发光体供电
。8.
根据权利要求1‑3中任一项所述的一种石墨舟翘片...
【专利技术属性】
技术研发人员：尚小强，敖源希，郭建，
申请(专利权)人：苏州威华智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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