一种用于石英外套管安装夹具制造技术

技术编号:39559446 阅读:9 留言:0更新日期:2023-12-01 11:03
本实用新型专利技术涉及石英管安装辅助工具技术领域,尤其为一种用于石英外套管安装夹具,包括固定环,固定环上设有调节装置,调节装置包括调节螺栓、固定板、橡胶块、限位块以及限位环,固定环的上下以及左右端均设有调节螺栓,调节螺栓位于固定环内连接设有固定板,固定板远离调节螺栓的一端设有橡胶块,调节螺栓与固定板连接处设有限位块,固定板与限位块位置对应处设有限位环,本实用新型专利技术在固定环四周增设固定板和调节螺栓,通过螺栓转动抵住固定板对石英外管进行挤压和固定,可以适用于不同石英外管的固定,通过限位环的设置,使螺栓与固定板进行卡合,避免螺栓转动带动固定板转动的现象。象。象。

【技术实现步骤摘要】
一种用于石英外套管安装夹具


[0001]本技术涉及石英管安装辅助工具
,具体为一种用于石英外套管安装夹具。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的发展,使用HVPE法制备氮化镓衬底取得极大的进展,HVPE设备由单片机向多片机发展,反应腔的尺寸也相应增大,其石英外套管安装直径突破200mm以上,重量超过25kg,高度或长度大于1.2米,安装时,需要多人协同安装,可控性很差,安装精度不易保证,安装效率低;且石英材质易碎、表面光滑,存在一定的安全隐患。
[0003]经检索,中国专利号CN205057874U公开了一种用于石英外套管安装的夹具,包括导轨承重框架、夹板、缓冲垫、定位杆,夹板包含滑动夹板和固定夹板;在导轨承重框架两侧边内侧设有凸型导轨,与此相对应的夹板两侧边设有凹型导槽,凸型导轨与凹型导槽紧密贴合,使滑动夹板沿导轨滑动自如;定位杆穿过导轨承重框架的无凸型导轨侧边中心处的定位杆孔,定位杆顶端与滑动夹板一端为固定连接;定位杆为圆柱结构,在其表面有调位螺纹并装有两颗定位螺母,通过调节调位螺纹可调整滑动夹板所处位置,通过锁紧定位螺母可固定滑动夹板所处位置;缓冲垫牢靠贴合于滑动夹板、固定夹板内侧的U型弧面上。本技术的夹具可提高安装的准确度和便利性。
[0004]上述专利产品的夹具可提高安装的准确度和便利性,上述专利产品中通过调节一侧夹板实现固定,实际中石英管为圆形,仅通过一侧的夹板固定会存在滑落风险,固定不牢。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于石英外套管安装夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]一种用于石英外套管安装夹具,包括固定环,所述固定环上设有调节装置,所述调节装置包括调节螺栓、固定板、橡胶块、限位块以及限位环,所述固定环的上下以及左右端均设有调节螺栓,所述调节螺栓位于所述固定环内连接设有固定板,所述固定板远离所述调节螺栓的一端设有橡胶块,所述调节螺栓与所述固定板连接处设有限位块,所述固定板与所述限位块位置对应处设有限位环。
[0008]作为本技术优选的方案,所述限位块位于所述限位环内,所述限位块与所述限位环活动连接,所述限位块与所述调节螺栓固定连接,所述限位环与所述固定板固定连接。
[0009]作为本技术优选的方案,所述调节螺栓贯穿所述固定环,所述调节螺栓与所述固定环通过螺纹连接。
[0010]作为本技术优选的方案,所述固定环其中一侧连接设有安装板,所述安装板
呈矩形设置,所述安装板靠近四个拐角处均设有固定螺孔。
[0011]作为本技术优选的方案,所述固定环与所述安装板固定连接。
[0012]作为本技术优选的方案,所述固定板呈弧形设置,四个所述固定板彼此之间均不连接,所述橡胶块呈点状设置在所述固定板表面。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是:针对上述专利产品中通过调节一侧夹板实现固定,实际中石英管为圆形,仅通过一侧的夹板固定会存在滑落风险,固定不牢的问题,本申请采用了安装组件,在固定环四周增设固定板和调节螺栓,通过螺栓转动抵住固定板对石英外管进行挤压和固定,可以适用于不同石英外管的固定,通过限位环的设置,使螺栓与固定板进行卡合,避免螺栓转动带动固定板转动的现象。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构立体图;
[0015]图2为本技术调节装置结构立体图;
[0016]图3为本技术固定环结构平面图;
[0017]图4为本技术调节装置结构平面放大图。
[0018]图中:1、安装板;101、固定螺孔;2、固定环;3、调节装置;301、调节螺栓;302、固定板;303、橡胶块;304、限位块;305、限位环。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。给出了本技术的若干实施例。但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0021]需要说明的是,当元件被称为“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0022]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0023]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种用于石英外套管安装夹具,包括固定环2,所述固定环2上设有调节装置3,所述调节装置3包括调节螺栓301、固定板302、橡胶块303、限位块304以及限位环305,所述固定环2的上下以及左右端均设有调节螺栓301,所述调节螺栓301位于所述固定环2内连接设有固定板302,所述固定板302远离所述调
节螺栓301的一端设有橡胶块303,所述调节螺栓301与所述固定板302连接处设有限位块304,所述固定板302与所述限位块304位置对应处设有限位环305看,所述限位块304位于所述限位环305内,所述限位块304与所述限位环305活动连接,所述限位块304与所述调节螺栓301固定连接,所述限位环305与所述固定板302固定连接,所述调节螺栓301贯穿所述固定环2,所述调节螺栓301与所述固定环2通过螺纹连接。
[0024]需要说明的是,本实施例中,安装人员用螺钉穿过固定螺孔101,把整个装置夹具牢靠固定在叉车的车臂上,将石英外管放置在固定环2中间,拧动四个调节螺栓301,使固定板302抵住石英管进行固定,最后移动叉车把外套管夹持到合适位置。
[0025]通过限位环305的设置,使调节螺栓301与固定板302进行卡合,避免调节螺栓301转动带动固定板302转动的现象。
[0026]实施例,请参照图1

3,所述固定环2其中一侧连接设有安装板1,所述安装板1呈矩形设置,所述安装板1靠近四个拐角处均设有固定螺孔101,所述固定环2与所述安装板1固定连接,所述固定板302呈弧形设置,四个所述固定板302彼此之间均不连接,所述橡胶块303呈点状设置在所述固本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于石英外套管安装夹具,包括固定环(2),其特征在于:所述固定环(2)上设有调节装置(3),所述调节装置(3)包括调节螺栓(301)、固定板(302)、橡胶块(303)、限位块(304)以及限位环(305),所述固定环(2)的上下以及左右端均设有调节螺栓(301),所述调节螺栓(301)位于所述固定环(2)内连接设有固定板(302),所述固定板(302)远离所述调节螺栓(301)的一端设有橡胶块(303),所述调节螺栓(301)与所述固定板(302)连接处设有限位块(304),所述固定板(302)与所述限位块(304)位置对应处设有限位环(305)。2.根据权利要求1所述的一种用于石英外套管安装夹具,其特征在于:所述限位块(304)位于所述限位环(305)内,所述限位块(304)与所述限位环(305)活动连接,所述限位块(304)与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王铁新
申请(专利权)人:辽宁盛新航半导体材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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